近，由于存在與流量傳感器26或壓力傳感器27連接的噴射孔18a，故可直接通過該流量傳感器26或壓力傳感器27確認(rèn)凹部19的插入狀況。
[0079]即，在工件W的凹部19和托架7的接合部20錯位，工件W接觸接合部20的上方的場合，在工件W和右靜壓墊2之間產(chǎn)生托架7的厚度寬的間隙，在該部分為呈沒有工件W的狀態(tài)。因此，噴射孔18a無阻力地噴射壓縮空氣，通過流量傳感器26或壓力傳感器27可容易地確認(rèn)凹部19的嵌合是否成功。
[0080]如果在凹部19接觸接合部20的狀態(tài)下，由于流量傳感器26或壓力傳感器27無法確認(rèn)工件W的吸引保持，一邊每次按照一定角度旋轉(zhuǎn)托架7，一邊繼續(xù)插入動作。此時，工件W在送出機(jī)構(gòu)9側(cè)呈被真空吸附的固定狀態(tài)，所以如果托架7僅僅旋轉(zhuǎn)凹部19和結(jié)合部20的錯開量，則凹部19可與接合部20 —致，可將工件W嵌入托架7內(nèi)。
[0081]如果工件W嵌合于托架7內(nèi)，則工件W的整體以非接觸的方式吸引保持于右靜壓墊2，由于流量傳感器26和壓力傳感器27的輸出發(fā)生變化，所以可確認(rèn)工件W的吸引保持。
[0082]另外，如果即使將托架7旋轉(zhuǎn)，流量傳感器26或壓力傳感器27也無法確認(rèn)工件W的吸引保持，則存在工件W側(cè)有損傷等的凹部19和接合部20錯位以外的原因，所以停止自動周期并向操作者通報發(fā)生異常。
[0083]—旦工件W被吸引保持于右靜壓墊2，在確認(rèn)出該吸引保持的基本同時或確認(rèn)吸引保持之后上解除送入機(jī)構(gòu)8對工件W的真空吸附，像圖9所示的那樣，使送入機(jī)構(gòu)8退出到機(jī)器外。
[0084]像這樣在磨削前搬入工件W時，在通過送入機(jī)構(gòu)8的吸附盤37和右靜壓墊2夾持工件W的狀態(tài)下，經(jīng)過右靜壓墊2的非接觸狀態(tài)下的吸引保持，通過從送入機(jī)構(gòu)8到右靜壓墊2的交接，不會在托架7內(nèi)發(fā)生工件W傾斜并脫落的情況。另外，即使送入機(jī)構(gòu)8退出到機(jī)器外，工件W也不會從右靜壓墊2上脫落。而且，雖然在右靜壓墊2側(cè)吸附并保持工件W，但是可防止右靜壓墊2導(dǎo)致的工件W的損傷。
[0085]像圖10所示的那樣，一旦送入機(jī)構(gòu)8向機(jī)器外退出，左靜壓墊I向前進(jìn)保持位置Xl前進(jìn)，并且通過一對靜壓墊1、2從兩側(cè)面夾持工件W，然后停止從右靜壓墊2的噴射孔18噴出的壓縮空氣，接觸吸引保持。在該狀態(tài)下，托架7內(nèi)的工件W像圖10所示的那樣，呈通過一對靜壓墊1、2從兩側(cè)被夾持的狀態(tài)，因此不會有在托架7內(nèi)發(fā)生傾斜、從托架7脫落的情況。
[0086]像圖11所示的那樣，通過一對靜壓墊1、2夾持工件W之后，從各靜壓墊1、2向工件W側(cè)供給靜壓水，通過靜壓水從兩側(cè)靜壓支持工件W。而且，一邊使靜壓支持狀態(tài)的工件W與托架7 —體地旋轉(zhuǎn)，如圖12所示的那樣，使一對磨削磨石5、6從磨削位置向前進(jìn)端Yl側(cè)依次磨削前進(jìn)，通過各磨削磨石5、6磨削工件W的兩側(cè)面。
[0087]—旦工件W的磨削完成，像圖13所示的那樣，左右的磨削磨石5、6退后至后退端Y2，接著停止托架7的旋轉(zhuǎn)。此時托架7停止在基準(zhǔn)停止位置。這是為了使工件W相對于托架7的插入變得容易。而且，一旦托架7停止在基準(zhǔn)停止位置，停止來自兩個靜壓墊1、2的靜壓水供給，解除工件W的靜壓支持。此時，在工件W和兩側(cè)的靜壓墊1、2之間存在水，由于該水的表面張力，工件W處于附著于兩側(cè)的靜壓墊1、2的狀態(tài)。
[0088]停止來自各靜壓墊1、2的靜壓水供給的基本同時、或在供給停止之后馬上從右靜壓墊2的噴射孔18向工件W側(cè)噴射壓縮空氣，通過此時的伯努利效應(yīng)所致的負(fù)壓，像圖14所示的那樣，在右靜壓墊2側(cè)以非接觸的方式吸引保持兩靜壓墊1、2之間的工件W。
[0089]因此，由于工件W在右靜壓墊2上為固定狀態(tài)，所以即使此后左靜壓墊I向后退位置X2后退，托架7內(nèi)的磨削后的工件W也不會傾斜和脫落。另外，雖然將工件W固定在右靜壓墊2上，但是通過壓縮空氣將工件W吸引保持在右靜壓墊2側(cè)，由于工件W在右靜壓墊2上呈非接觸狀態(tài)，所以可防止工件W的損傷。
[0090]工件W —旦被吸引保持于右靜壓墊2側(cè)，流量傳感器26或壓力傳感器27通過壓縮空氣的流量或壓力的變化，可確定右靜壓墊2對工件W的吸引保持。
[0091]另，與向右靜壓墊2側(cè)的工件W的吸引保持的基本同時、或在吸引保持之后，馬上像圖14所示的那樣，從左靜壓墊I向工件W側(cè)供給靜壓水。通過該靜壓水的供給，在與左靜壓墊I之間靜壓水、磨削水等的水的表面張力不會對工件W產(chǎn)生影響，另外將工件W推向右靜壓墊2側(cè)，輔助該吸附支持。
[0092]因此左靜壓墊I的工件W的分離較容易，另外通過噴射壓縮空氣時的伯努利效應(yīng)所產(chǎn)生的負(fù)壓，可確實(shí)地在右靜壓墊2側(cè)吸引工件W。因此，通過右靜壓墊2可迅速地吸引磨削后的工件W，使縮短磨削周期成為可能。另外，由于利用了靜壓水，故沒有必要使用用于表面張力的解除的專用機(jī)器。
[0093]在通過右靜壓墊2吸引保持工件W后，像圖14的雙點(diǎn)劃線所示的那樣，左靜壓墊I從前進(jìn)保持位置Xl退后到后退位置X2。即使在該左靜壓墊I后退時，也從左靜壓墊I供給靜壓水，由此通過左靜壓墊I之間的水的表面張力，工件W不會從右靜壓墊2脫離，可確實(shí)地維持右靜壓墊2對工件W的吸引保持。此外，在左靜壓墊I后退至可無視表面張力的影響的時刻，停止來自左靜壓墊I的靜壓水的供給。
[0094]此后，像圖15所示的那樣，如果左靜壓墊I向后退位置X2后退，則送出機(jī)構(gòu)9插入到托架7和左靜壓墊I之間。而且使送出機(jī)構(gòu)9向工件W側(cè)移動，像圖16所示的那樣，在右靜壓墊2側(cè)以非接觸方式呈吸引保持狀態(tài)的工件W與送出機(jī)構(gòu)9的吸附盤38接觸，在通過該送出機(jī)構(gòu)9和右靜壓墊2從兩側(cè)夾持工件W之后，進(jìn)行從右靜壓墊2到送出機(jī)構(gòu)9的工件W的交接。
[0095]在使送出機(jī)構(gòu)9的吸附盤38接觸時，相對于右靜壓墊2為非接觸狀態(tài)的工件W，在吸附盤38的接觸時的沖擊、壓力等不直接接觸右靜壓墊2的位置，停止送出機(jī)構(gòu)9的移動進(jìn)行定位。
[0096]在交接該工件W時，像圖17所示的那樣，停止來自右靜壓墊2的噴射孔18的壓縮空氣，解除工件W的吸引保持。而且，在解除該吸引保持的基本同時或解除該吸引保持之后，馬上通過送出機(jī)構(gòu)9的吸附盤38對工件W進(jìn)行真空吸附。由此，可容易并且確實(shí)地在右靜壓墊2和送出機(jī)構(gòu)9之間交接工件W。
[0097]另外，在解除該右靜壓墊2的吸引保持的基本同時或解除該吸引保持之后，馬上像圖18所示的那樣，從右靜壓墊2向工件W供給靜壓水，使送出機(jī)構(gòu)9向左靜壓墊I側(cè)移動，從托架7中取出工件W，向機(jī)器外送出。
[0098]像這樣，一邊從右靜壓墊2向工件W側(cè)供給靜壓水，一邊從托架7中取出工件W，因此不會有右靜壓墊2和工件W之間的表面張力的影響，能容易地從右靜壓墊2分離出工件W。因此，即使磨削后的工件W較薄，也可在確實(shí)地防止其損傷的同時，縮短磨削的周期的時間。
[0099]另，從右靜壓墊2的靜壓水的供給一直持續(xù)到工件W和右靜壓墊2之間的表面張力沒有影響為止，此后停止供給。
[0100]如果磨削后的工件W的送出結(jié)束，一邊依次重復(fù)同樣的動作，一邊依次磨削各工件W。
[0101]像這樣，利用從右靜壓墊2的噴射孔18向工件W側(cè)噴射壓縮空氣時的伯努利效應(yīng)所產(chǎn)生的負(fù)壓，在和右靜壓墊2之間打開縫隙的非接觸狀態(tài)下，在右靜壓墊2側(cè)吸引保持工件W，由此可確實(shí)地防止工件W的磨痕、吸附痕、缺陷等其他損傷的產(chǎn)生。
[0102]另外，由于從右靜壓墊2的噴射孔18噴射壓縮空氣而吸引保持工件W，所以可防止從噴射孔18向流量傳感器26、壓力傳感器27等混入磨削水、靜壓水，不必?fù)?dān)心上述混入所導(dǎo)致的流量傳感器26、壓力傳感器27的破損。此外，由于不需要包含真空泵的真空管路，可在削減設(shè)備成本的同時減少這些設(shè)備機(jī)器等的維護(hù)等的工夫。
[0103]進(jìn)一步地，從右靜壓墊2的噴射孔18噴射壓縮空氣而吸引保持工件W，通過流量傳感器26、壓力傳感器27檢測壓縮空氣的流量、壓力的變化，可容易地掌握工件W是否被吸引保持，可確實(shí)地進(jìn)行工件W的交接。
[0104]在將工件W插入托架7時，在工件W的凹部19和托架7的接合部20干涉而無法將工件W插入到托架7的場合，旋轉(zhuǎn)托架7，但是此時的工件W的凹部19和托架7的接合部20發(fā)生接觸并旋轉(zhuǎn)。但是，在通過右靜壓墊2以非接觸狀態(tài)吸引保持工件W的方式的場合，由于右靜壓墊2和工件W之間存在間隙，與現(xiàn)有的右靜壓墊2對工件W的真空吸附相比較，可減小工件W的凹部19和托架7的接合部20的接觸力，能減少凹部19的沖擊、摩擦，并能提尚凹部19的壽命。
[0105]圖19表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式。在該實(shí)施方式中，在右靜壓墊2的用于磨削磨石6的缺口部4的周緣部上，基本等距地配置有多個噴射孔18，例如3個噴射孔18，在右靜壓墊2的外周部分內(nèi)側(cè)的遠(yuǎn)離該缺口部4的部分，沒有配置噴射孔18。
[0106]也可在該場合，通過噴射來自噴射孔18的規(guī)定壓力的壓縮空氣，在右靜壓墊2側(cè)以非接觸狀態(tài)吸引保持工件W。因此，噴射孔18的位置不限于右靜壓墊2的外周部分，也可配置于用于磨削磨石6的缺口部4的周緣部等的其他位置。當(dāng)然，噴射孔18也可同時設(shè)置于右靜壓墊2的外周部分和缺口部4的周緣部。
[0107]另外，在該場合也優(yōu)選與第I實(shí)施方式同樣地在接合部20的附近設(shè)置噴射孔18a。