本技術涉及弧源，具體為一種可以螺旋調節(jié)的弧源。

背景技術：

1、真空鍍膜機的弧源工作原理是在真空條件下,采用低電壓、大電流的電弧放電技術,利用氣體放電使靶材蒸發(fā)并使被蒸發(fā)物質與氣體都發(fā)生電離。離子鍍膜裝置中，一般都采用平面大弧源以及小弧源進行多弧離子鍍膜。平面大弧源基本采用線圈結構，通過電磁感應，生成可控制的磁場，束縛離子轟擊靶材表面形成熔池，完成鍍膜過程。小弧源多數(shù)采用單個的柱狀磁鐵產(chǎn)生的磁場，完成上述過程。而在調節(jié)弧源于弧靶之間的間距使并不便捷，且在弧源主體拆卸檢修時并不便捷的問題。

技術實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種可以螺旋調節(jié)的弧源，解決了在調節(jié)弧源于弧靶之間的間距使并不便捷，且在弧源主體拆卸檢修時并不便捷的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種可以螺旋調節(jié)的弧源，包括外殼，所述外殼的內部滑動連接有弧源主體，所述弧源主體的下端固定連接有安裝套，所述安裝套的內部通過軸承連接有螺紋桿，所述外殼的下端接觸有安裝板，所述安裝板上固定連接有螺紋套，所述螺紋套的內部通過螺紋連接有螺紋桿，所述安裝板上固定連接有連接板，所述連接板的內部滑動連接有滑塊，所述滑塊的一端固定連接有支撐板，所述支撐板的內部通過軸承連接有螺紋桿，所述螺紋桿上固定連接有旋鈕，所述旋鈕與支撐板接觸，所述外殼上固定連接有安裝塊，所述安裝塊上設置有限位機構。

3、優(yōu)選的，所述限位機構包括導向塊、導向桿、彈簧、卡塊、卡槽、推塊，所述安裝塊的內部滑動連接有導向塊，所述導向塊上固定連接有導向桿，所述安裝塊的內部滑動連接有導向桿，所述導向桿的外側設置有彈簧，所述導向塊的下端固定連接有卡塊，所述卡塊與安裝塊接觸，通過限位機構的設計，可方便對外殼進行拆卸。

4、優(yōu)選的，所述彈簧的一端與導向塊接觸，所述彈簧的另一端與安裝塊接觸，通過彈簧的設計，可帶動卡塊對安裝塊進行限位。

5、優(yōu)選的，所述安裝板上開設有卡槽，所述卡槽的內部滑動連接有卡塊，通過卡塊的設計，可對安裝塊起限位作用。

6、優(yōu)選的，所述導向塊的一端固定連接有推塊，所述推塊與安裝塊接觸，通過推塊的設計，可方便移動導向塊。

7、與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的有益效果如下：

8、1、本實用新型通過設置有支撐板、螺紋桿、螺紋套、安裝套等部件，可通過轉動螺紋桿，使螺紋桿與螺紋套發(fā)生螺紋運動，從而使螺紋桿帶動弧源主體移動，可在調節(jié)弧源主體與弧靶之間的位置時更加便捷，解決了在調節(jié)弧源于弧靶之間的間距使并不便捷的問題。

9、2、本實用新型通過設置有安裝塊、安裝板、卡塊、彈簧等部件，可通過移動導向塊，使導向塊帶動卡塊在安裝板上的卡槽內滑動，使卡塊不再與安裝板卡接，便可解除對安裝塊的限位，便可使外殼與安裝板分離，解決了在弧源主體拆卸檢修時并不便捷的問題。

技術特征：

1.一種可以螺旋調節(jié)的弧源，包括外殼(1)，其特征在于：所述外殼(1)的內部滑動連接有弧源主體(2)，所述弧源主體(2)的下端固定連接有安裝套(3)，所述安裝套(3)的內部通過軸承連接有螺紋桿(4)，所述外殼(1)的下端接觸有安裝板(5)，所述安裝板(5)上固定連接有螺紋套(51)，所述螺紋套(51)的內部通過螺紋連接有螺紋桿(4)，所述安裝板(5)上固定連接有連接板(52)，所述連接板(52)的內部滑動連接有滑塊(53)，所述滑塊(53)的一端固定連接有支撐板(55)，所述支撐板(55)的內部通過軸承連接有螺紋桿(4)，所述螺紋桿(4)上固定連接有旋鈕(6)，所述旋鈕(6)與支撐板(55)接觸，所述外殼(1)上固定連接有安裝塊(7)，所述安裝塊(7)上設置有限位機構(8)。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種可以螺旋調節(jié)的弧源，其特征在于：所述限位機構(8)包括導向塊(81)、導向桿(82)、彈簧(83)、卡塊(84)、卡槽(85)、推塊(86)，所述安裝塊(7)的內部滑動連接有導向塊(81)，所述導向塊(81)上固定連接有導向桿(82)，所述安裝塊(7)的內部滑動連接有導向桿(82)，所述導向桿(82)的外側設置有彈簧(83)，所述導向塊(81)的下端固定連接有卡塊(84)，所述卡塊(84)與安裝塊(7)接觸。

3.根據(jù)權利要求2所述的一種可以螺旋調節(jié)的弧源，其特征在于：所述彈簧(83)的一端與導向塊(81)接觸，所述彈簧(83)的另一端與安裝塊(7)接觸。

4.根據(jù)權利要求2所述的一種可以螺旋調節(jié)的弧源，其特征在于：所述安裝板(5)上開設有卡槽(85)，所述卡槽(85)的內部滑動連接有卡塊(84)。

5.根據(jù)權利要求2所述的一種可以螺旋調節(jié)的弧源，其特征在于：所述導向塊(81)的一端固定連接有推塊(86)，所述推塊(86)與安裝塊(7)接觸。

技術總結
本技術屬于弧源技術領域，具體涉及一種可以螺旋調節(jié)的弧源，包括外殼，所述外殼的內部滑動連接有弧源主體，所述弧源主體的下端固定連接有安裝套，所述安裝套的內部通過軸承連接有螺紋桿，所述外殼的下端接觸有安裝板，所述安裝板上固定連接有螺紋套，所述螺紋套的內部通過螺紋連接有螺紋桿，所述安裝板上固定連接有連接板，所述連接板的內部滑動連接有滑塊。本技術通過設置有支撐板、螺紋桿、螺紋套、安裝套等部件，可通過轉動螺紋桿，使螺紋桿與螺紋套發(fā)生螺紋運動，從而使螺紋桿帶動弧源主體移動，可在調節(jié)弧源主體與弧靶之間的位置時更加便捷，解決了在調節(jié)弧源于弧靶之間的間距時并不便捷的問題。

技術研發(fā)人員：曾曉荔
受保護的技術使用者：深圳鑫佳豪真空鍍膜設備有限公司
技術研發(fā)日：20231123
技術公布日：2024/12/19