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富鋯的Cr-Zr-N合金涂層、鍍膜制品、在硬質(zhì)涂層方面的應(yīng)用及制備方法與流程

文檔序號(hào):40452833發(fā)布日期:2024-12-27 09:17閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種富鋯的cr-zr-n合金涂層,其特征在于,所述cr-zr-n合金涂層含有cr-zr-n合金材料,所述cr-zr-n合金材料的化學(xué)式為(crxzrynz)ma,m為摻雜元素,其中,x、y、z和a各自獨(dú)立地為原子比,15.0≤x≤53.8,30.0≤y≤78.8,6.2≤z≤35.5,且0≤a/(x+y+z+a)≤0.05。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的cr-zr-n合金涂層,其特征在于,64.5-y≤x≤93.8-y且15.0≤x≤1.93y-23.4。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的cr-zr-n合金涂層,其特征在于,15.0≤x≤53.8,33.7≤y≤78.8且6.2≤z<28.0。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的cr-zr-n合金涂層,其特征在于,72-y<x≤93.8-y且15.0≤x<2.5y-44.6。

5.根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的cr-zr-n合金涂層,其特征在于,x、y和z三者之和為100。

6.根據(jù)權(quán)利要求1~5中任一項(xiàng)所述的cr-zr-n合金涂層,其特征在于,所述cr-zr-n合金涂層滿足如下兩個(gè)特征:

7.根據(jù)權(quán)利要求1~6中任一項(xiàng)所述的cr-zr-n合金涂層,其特征在于,所述cr-zr-n合金涂層的厚度為dmin~6μm,其中,dmin選自10nm~50nm。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的cr-zr-n合金涂層,其特征在于,dmin為10nm、20nm、25nm、30nm、40nm或50nm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1~6中任一項(xiàng)所述的cr-zr-n合金涂層,其特征在于,所述摻雜元素為非金屬元素、金屬元素或者其組合;

10.根據(jù)權(quán)利要求1~9中任一項(xiàng)所述的cr-zr-n合金涂層,其特征在于,0≤a/(x+y+z+a)≤0.02。

11.一種鍍膜制品,其特征在于,包括基體以及權(quán)利要求1~11中任一項(xiàng)所述的cr-zr-n合金涂層;其中,所述cr-zr-n合金涂層位于所述基體的至少一側(cè)。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的鍍膜制品,其特征在于,所述基體的表面材質(zhì)為合金、單質(zhì)型金屬和無(wú)機(jī)非金屬材料中的一種;

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的鍍膜制品,其特征在于,所述基體的表面材質(zhì)為輕合金中的一種或不銹鋼合金中的一種;

14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的鍍膜制品,其特征在于,滿足如下特征中的一個(gè)或多個(gè):

15.權(quán)利要求1~10中任一項(xiàng)所述cr-zr-n合金涂層用作硬質(zhì)涂層至少一部分層的應(yīng)用,或者權(quán)利要求11~14所述的鍍膜制品在制備具有硬質(zhì)涂層的產(chǎn)品中的應(yīng)用。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的應(yīng)用,其特征在于,所述硬質(zhì)涂層還為耐腐蝕涂層。

17.一種cr-zr-n合金涂層的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:采用氣相沉積技術(shù)將所述cr-zr-n合金涂層的組成元素按照預(yù)設(shè)原子比沉積于基體的至少一部分表面,形成權(quán)利要求1~10中任一項(xiàng)所述cr-zr-n合金涂層。

18.如權(quán)利要求17所述的制備方法,其特征在于,所述cr-zr-n合金涂層的制備方法包括如下步驟:在通入包含氬氣和含氮?dú)怏w的混合氣體的條件下,使用包括鉻和鋯的一種或多種靶材,在所述基體的至少一部分表面上濺射沉積所述cr-zr-n合金涂層的組成元素,形成所述cr-zr-n合金涂層。

19.如權(quán)利要求18所述的制備方法,其特征在于,滿足如下特征中的一個(gè)或多個(gè):

20.一種cr-zr-n合金材料,其特征在于,所述cr-zr-n合金材料如權(quán)利要求1-6、9-10任一項(xiàng)中所定義。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及富鋯的Cr?Zr?N合金涂層、鍍膜制品、應(yīng)用及制備方法。該Cr?Zr?N合金涂層含有化學(xué)式為(Cr<subgt;x</subgt;Zr<subgt;y</subgt;N<subgt;z</subgt;)M<subgt;a</subgt;的Cr?Zr?N合金材料,M為摻雜元素,x、y、z和a各自獨(dú)立地為原子比,15.0≤x≤53.8,30.0≤y≤78.8,6.2≤z≤35.5,且0≤a/(x+y+z+a)≤0.05。該富鋯的Cr?Zr?N合金涂層具有高含量的鋯,并通過(guò)三種元素的配比優(yōu)化,兼具有高硬度和優(yōu)異的耐腐蝕能力,可用作鍍膜制品中硬質(zhì)涂層的至少一部分。

技術(shù)研發(fā)人員:王偉,黃峰,譚志,董悅,梁嘉敏
受保護(hù)的技術(shù)使用者:維達(dá)力實(shí)業(yè)(深圳)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2024/12/26
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