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一種內(nèi)壁鍍膜介電管的真空鍍膜設(shè)備的制作方法

文檔序號:12304663閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本實用新型提供一種內(nèi)壁鍍膜介電管的真空鍍膜設(shè)備,涉及支架技術(shù)領(lǐng)域,包括殼體,殼體內(nèi)設(shè)有支撐臺,支撐臺上方設(shè)有真空室、油擴散泵、前級真空泵和預(yù)抽真空泵,真空室中間設(shè)有鍍膜桿,真空室底端設(shè)有承載臺,鍍膜桿插在承載臺上;油擴散泵、前級真空泵和預(yù)抽真空泵對應(yīng)連接配合用于抽離真空室內(nèi)的氣體;支撐臺下方設(shè)有配電裝置,配電裝置通過一控制器與承載臺電性連接,控制器還與一微處理器連接,微處理器分別與一用于檢測真空室內(nèi)溫度的溫度傳感器、一用于檢測真空室內(nèi)真空度的真空度檢測儀和一顯示器電性連接;本實用新型能穩(wěn)定有效地對介電管內(nèi)壁鍍膜,實時監(jiān)測鍍膜加熱過程,增加了安全性。

技術(shù)研發(fā)人員:陳海順
受保護的技術(shù)使用者:陳海順
文檔號碼:201720322749
技術(shù)研發(fā)日:2017.03.29
技術(shù)公布日:2017.10.27

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