本實(shí)用新型涉及加工制造技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種非球面元件表面波紋平滑拋光工具。

背景技術(shù)：

先進(jìn)軍事光學(xué)系統(tǒng)、大型天文望遠(yuǎn)鏡工程、極紫外光刻機(jī)工程、強(qiáng)激光工程等光學(xué)系統(tǒng)對(duì)光學(xué)元件的中頻段位相誤差、表面粗糙度和亞表面粗糙度等均提出了遠(yuǎn)遠(yuǎn)超越古典光學(xué)系統(tǒng)的要求，它們對(duì)光學(xué)元件的精度指標(biāo)要求基本接近加工的極限。因此，基于計(jì)算機(jī)控制光學(xué)表面成形(Computer Controlled Optical Surfacing，CCOS)原理的各種子口徑拋光技術(shù)應(yīng)運(yùn)而生。

其中，基于CCOS原理的子口徑拋光技術(shù)與傳統(tǒng)的手工拋光工藝相比，其確定性高、面形收斂快，并且對(duì)工藝師的技術(shù)水平和經(jīng)驗(yàn)基本沒(méi)有依賴性。然而，子口徑拋光技術(shù)在快速去除被加工表面低頻面形誤差的同時(shí)，往往也將誤差的空間尺度變得更小，從而造成較多的小尺度位相誤差。

經(jīng)研究發(fā)現(xiàn)，任意疊加到激光束中的“波紋”或周期性結(jié)構(gòu)，無(wú)論是對(duì)光束振幅還是相位的擾動(dòng)，都將破壞高功率光學(xué)系統(tǒng)的性能。特別地，由光學(xué)元件制造過(guò)程引入的小尺度的相位擾動(dòng)，在強(qiáng)光非線性效應(yīng)的影響下將獲得很大的增益，經(jīng)過(guò)長(zhǎng)的傳輸距離后，轉(zhuǎn)化為大的強(qiáng)度調(diào)制，惡化系統(tǒng)輸出的光束質(zhì)量，嚴(yán)重時(shí)甚至?xí)?dǎo)致光學(xué)元件的激光破壞。

目前，研究表明大口徑非球面元件加工中拋光工具與元件不吻合是引入中頻誤差的原因之一，拋光工具的優(yōu)化設(shè)計(jì)是能夠解決這一問(wèn)題的有效辦法。另外，在保證拋光工具與元件吻合的情況下，調(diào)控工具剛度可以獲得更好的波紋去除效果。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本實(shí)用新型的目的在于提供一種非球面元件表面波紋平滑拋光工具，既可與待加工非球面元件的表面相吻合，又可對(duì)非球面表面波紋進(jìn)行去除。

為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型較佳實(shí)施例提供一種非球面元件表面波紋平滑拋光工具，所述非球面元件表面波紋平滑拋光工具包括轉(zhuǎn)接部件、工具底座、粘彈性柔性介質(zhì)、柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘、橡膠囊以及設(shè)置于所述橡膠囊表面的拋光模層；

所述非球面元件表面波紋平滑拋光工具通過(guò)所述轉(zhuǎn)接部件連接于拋光機(jī)床；所述工具底座可拆卸連接于所述轉(zhuǎn)接部件，所述工具底座為圓環(huán)狀；所述柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘可活動(dòng)地內(nèi)嵌于所述工具底座，所述橡膠囊蓋合于所述工具底座，使所述工具底座、柔性介質(zhì)調(diào)節(jié)螺釘與橡膠囊之間形成密封腔；所述密封腔內(nèi)填充滿所述粘彈性柔性介質(zhì)。

優(yōu)選地，在上述非球面元件表面波紋平滑拋光工具中，所述柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘?shù)闹醒朐O(shè)置有內(nèi)六角孔，所述柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘?shù)耐庋卦O(shè)置有第一外螺紋，所述工具底座的內(nèi)周面設(shè)置有與所述第一外螺紋契合的第一內(nèi)螺紋，使所述柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘可相對(duì)所述工具底座旋入或旋出，改變所述密封腔的大??；所述密封腔的高度變化范圍為0～18mm。

優(yōu)選地，在上述非球面元件表面波紋平滑拋光工具中，所述工具底座內(nèi)緣的上端面設(shè)置有階梯狀限位件，所述橡膠囊蓋合于所述階梯狀限位件。

優(yōu)選地，在上述非球面元件表面波紋平滑拋光工具中，所述非球面元件表面波紋平滑拋光工具還包括橡膠囊鎖緊螺母，所述橡膠囊鎖緊螺母套設(shè)于所述橡膠囊，并將所述橡膠囊固定于所述工具底座。

優(yōu)選地，在上述非球面元件表面波紋平滑拋光工具中，所述工具底座的外周面設(shè)置第二外螺紋，所述橡膠囊鎖緊螺母的內(nèi)側(cè)壁設(shè)置有與所述第二外螺紋相契合的第二內(nèi)螺紋，所述橡膠囊鎖緊螺母套設(shè)于所述橡膠囊并與所述工具底座的外周面旋合。

優(yōu)選地，在上述非球面元件表面波紋平滑拋光工具中，所述橡膠囊鎖緊螺母的外沿設(shè)置有多個(gè)卡槽。

優(yōu)選地，在上述非球面元件表面波紋平滑拋光工具中，所述轉(zhuǎn)接部件、工具底座、柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘及橡膠囊鎖緊螺母由鋁制作而成，所述轉(zhuǎn)接部件、工具底座及柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘經(jīng)減重處理制成。

優(yōu)選地，在上述非球面元件表面波紋平滑拋光工具中，所述拋光模層由表面具有特氟龍涂層的成型模具制成，所述成型模具為間隔設(shè)置有多個(gè)方形孔的圓盤。

優(yōu)選地，在上述非球面元件表面波紋平滑拋光工具中，所述拋光模層由瀝青制成，包括多個(gè)矩形凸起。

優(yōu)選地，在上述非球面元件表面波紋平滑拋光工具中，所述轉(zhuǎn)接部件與所述工具底座通過(guò)螺釘連接。

本實(shí)用新型實(shí)施例提供的非球面元件表面波紋平滑拋光工具，在工具底座、柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘和橡膠囊形成的密封腔中添加粘彈性柔性介質(zhì)，通過(guò)選取不同種類的粘彈性柔性介質(zhì)以及對(duì)粘彈性柔性介質(zhì)的厚度進(jìn)行調(diào)節(jié)，可以實(shí)現(xiàn)非球面元件表面波紋平滑拋光工具與待加工元件表面的吻合，還可以改變待加工元件表面波紋高低點(diǎn)之間存在的壓強(qiáng)差，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)待加工元件表面波紋的去除，最終實(shí)現(xiàn)待加工元件中頻誤差的抑制。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，應(yīng)當(dāng)理解，以下附圖僅示出了本實(shí)用新型的某些實(shí)施例，因此不應(yīng)被看作是對(duì)范圍的限定，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他相關(guān)的附圖。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種非球面元件表面波紋平滑拋光工具的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種轉(zhuǎn)接部件的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種工具底座的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘?shù)慕Y(jié)構(gòu)示意圖。

圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種橡膠囊以及拋光模層的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種成型模具的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖7為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種橡膠囊鎖緊螺母的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖8為圖7所示橡膠囊鎖緊螺母的安裝示意圖。

圖標(biāo)：100-非球面元件表面波紋平滑拋光工具；110-轉(zhuǎn)接部件；111-圓盤主體；1111-底面；1112-側(cè)壁；1113-凸塊；1114-第一固定孔；112-轉(zhuǎn)接軸；120-工具底座；121-第二固定孔；122-階梯狀限位件；130-柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘；131-內(nèi)六角孔；140-橡膠囊；141-中空?qǐng)A柱；1411-表面；1412-第一倒角；142-圓環(huán)；150-拋光模層；160-橡膠囊鎖緊螺母；161-第一側(cè)面；162-第二側(cè)面；163-第二倒角；164-卡槽；200-成型模具；210-方形孔。

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清除、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型的一部分實(shí)施例，而非全部的實(shí)施例。通常在此處附圖中描述和示出的本實(shí)用新型實(shí)施例的組件可以以各種不同的配置來(lái)布置和設(shè)計(jì)。

因此，以下對(duì)在附圖中提供的本實(shí)用新型的實(shí)施例的詳細(xì)描述并非旨在限制要求保護(hù)的本實(shí)用新型的范圍，而是僅僅表示本實(shí)用新型的選定實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

應(yīng)注意到：相似的標(biāo)號(hào)和字母在下面的附圖中表示類似項(xiàng)，因此，一旦某一項(xiàng)在一個(gè)附圖中被定義，則在隨后的附圖中不需要對(duì)其進(jìn)行進(jìn)一步定義和解釋。

請(qǐng)參閱圖1，是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種非球面元件表面波紋平滑拋光工具100。所述非球面元件表面波紋平滑拋光工具100包括轉(zhuǎn)接部件110、工具底座120、粘彈性柔性介質(zhì)、柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘130、橡膠囊140以及設(shè)置于所述橡膠囊140表面1411的拋光模層150。

其中，所述非球面元件表面波紋平滑拋光工具100通過(guò)所述轉(zhuǎn)接部件110連接于所述拋光機(jī)床，所述工具底座120為圓環(huán)142狀，并且可拆卸地連接于所述轉(zhuǎn)接部件110。所述柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘130可活動(dòng)地內(nèi)嵌于所述工具底座120，所述橡膠囊140蓋合于所述工具底座120，使所述工具底座120、柔性介質(zhì)調(diào)節(jié)螺釘與橡膠囊140之間形成密封腔，所述密封腔內(nèi)填充滿粘彈性柔性介質(zhì)。

在本實(shí)施例中，所述工具底座120與所述柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘130為圓盤狀，所述橡膠囊140與所述拋光模層150具有圓形輪廓，也即沿所述橡膠囊140和拋光模層150的邊緣繪制而成的曲線為圓形。所述工具底座120、柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘130、橡膠囊140與拋光模層150的中心位于同一直線上。

應(yīng)當(dāng)理解，此處所述的“位于同一直線”并非指嚴(yán)格地處于同一直線上，當(dāng)所述工具底座120、柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘130、橡膠囊140與拋光模層150的中心之間的水平距離處于本領(lǐng)域技術(shù)能夠接納的誤差范圍內(nèi)時(shí)，也應(yīng)將所述工具底座120、柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘130、橡膠囊140與拋光模層150的中心視作位于同一直線。

請(qǐng)參閱圖2，是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種轉(zhuǎn)接部件110的結(jié)構(gòu)示意圖?？蛇x地，所述轉(zhuǎn)接部件110可以包括圓盤主體111和轉(zhuǎn)接軸112，所述轉(zhuǎn)接軸112垂直固定于所述圓盤主體111的圓心所在位置。所述圓盤主體111包括底面1111以及圍設(shè)于所述底面1111的側(cè)壁1112，所述側(cè)壁1112的內(nèi)側(cè)設(shè)置有多個(gè)凸塊1113，每個(gè)所述凸塊1113與所述底面1111平行的一面開設(shè)有第一固定孔1114。其中，所述多個(gè)凸塊1113可以等間距設(shè)置，每個(gè)所述凸塊1113沿所述圓盤主體111的環(huán)向的邊緣為弧形，并可以與所述圓盤主體111的圓周相平行。

需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中，所述轉(zhuǎn)接部件110與所述非球面元件表面波紋平滑拋光工具100所應(yīng)用的拋光機(jī)床的轉(zhuǎn)軸的具體連接方式和尺寸相匹配，圖2所示僅為示例，本實(shí)施例對(duì)此不做限制。

請(qǐng)參閱圖3，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種工具底座120的結(jié)構(gòu)示意圖?？蛇x地，所述工具底座120可以柱狀圓環(huán)142，所述工具底座120的內(nèi)緣可以與所述多個(gè)凸塊1113平行于所述圓盤主體111的邊沿相平。所述工具底座120與每個(gè)所述凸塊1113上的第一固定孔1114相對(duì)的位置開設(shè)有與第二固定孔121，如此，可以使用螺釘穿過(guò)所述第一固定孔1114和第二固定孔121實(shí)現(xiàn)所述轉(zhuǎn)接部件110與工具底座120的固定。

可選地，所述工具底座120的內(nèi)緣上端面設(shè)置有階梯狀限位件122，實(shí)施時(shí)，所述橡膠囊140蓋合于所述階梯狀限位件122，如此，可以避免所述橡膠囊140相對(duì)所述工具底座120發(fā)生移動(dòng)。

可選地，請(qǐng)參閱圖4，是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘130的結(jié)構(gòu)示意圖。所述柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘130為圓盤狀，柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘130的大小與所述工具底座120的內(nèi)圓的大小相契合，使所述柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘130能夠活動(dòng)地內(nèi)嵌于所述工具底座120。

可選地，所述柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘130的中央設(shè)置有內(nèi)六角孔131，所述柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘130的外沿設(shè)置有第一外螺紋，所述工具底座120的內(nèi)周面設(shè)置有第一內(nèi)螺紋，所述第一內(nèi)螺紋與所述第一外螺紋相契合，使所述柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘130可相對(duì)所述工具底座120旋入或旋出。由于所述橡膠囊140與所述工具底座120的相對(duì)位置不變，通過(guò)改變所述柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘130的位置，即可改變所述密封腔的大小。由于所述粘彈性柔性介質(zhì)填充滿所述密封腔，因而，所述密封腔高度的改變，即可實(shí)現(xiàn)所述粘彈性柔性介質(zhì)厚度的改變。

其中，所述粘彈性柔性介質(zhì)厚度的改變范圍為0～18mm，也即，所述密封腔的高度變化范圍為0～18mm。

請(qǐng)參閱圖5，是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種橡膠囊140及拋光模層150的結(jié)構(gòu)示意圖。可選地，所述橡膠囊140可以為鍋蓋狀，由橡膠材料制成，其厚度可以為2mm。所述橡膠囊140可以一端開口的中空?qǐng)A柱141，以及設(shè)置于所述開口外沿的圓環(huán)142，所述圓環(huán)142與所述開口所在平面相平。所述中空?qǐng)A柱141背離所述工具底座120的表面1411的邊緣設(shè)置有第一倒角1412，所述拋光模層150設(shè)置于該表面1411。所述拋光模層150包括多個(gè)矩形凸起，所述矩形凸起間隔設(shè)置于該表面1411。

其中，所述中空?qǐng)A柱141的背離所述工具底座120的表面1411直徑可以為111mm，所述第一倒角1412的半徑可以為6mm，所述橡膠囊140內(nèi)腔深10mm。

實(shí)施時(shí)，所述橡膠囊140蓋合于所述工具底座120，也即，所述圓環(huán)142背離所述中空?qǐng)A柱141的一面與所述工具底座120相互貼合。

在本實(shí)施例中，所述拋光模層150可以由圖6所示的成型模具200制成。所述成型模具200為開設(shè)有多個(gè)方形孔210的圓盤，所述成型模具200的表面1411可以具有特氟龍涂層。由于所述拋光模層150所用材料為瀝青，所述特氟龍涂層的設(shè)置可以避免制作成型的拋光模層150與成型模具200粘結(jié)，從而便于將制作成型的拋光模層150完整地從成型模具200脫開。

可選地，所述非球面元件表面波紋平滑拋光工具100還包括橡膠囊鎖緊螺母160。請(qǐng)結(jié)合參閱圖7和圖8，圖7為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種橡膠囊鎖緊螺母160的結(jié)構(gòu)示意圖，圖8是橡膠囊鎖緊螺母160的安裝示意圖。

可選地，所述橡膠囊鎖緊螺母160可以包括相互連接的第一側(cè)面161和第二側(cè)面162，所述第一側(cè)面161與所述第二側(cè)面162相互垂直。所述第一側(cè)面161為圓環(huán)142狀，所述第二側(cè)面162為圓筒狀，也即，所述第一側(cè)面161和第二側(cè)面162構(gòu)成的整體形如環(huán)形角鋼。

其中，所述第一側(cè)面161與所述第二側(cè)面162相接的位置設(shè)置有第二倒角163，所述第二倒角163所在圓周間隔設(shè)置有多個(gè)卡槽164，所述多個(gè)卡槽164可以等間距設(shè)置，其具體數(shù)量可以根據(jù)需要進(jìn)行靈活設(shè)置，例如，可以為4個(gè)，本實(shí)施例對(duì)此不做限制。如此，在拆卸所述橡膠囊鎖緊螺母160便于將其擰動(dòng)。

實(shí)施時(shí)，所述橡膠囊鎖緊螺母160套設(shè)于所述橡膠囊140。所述第一側(cè)面161的內(nèi)緣與所述中空?qǐng)A柱141的外側(cè)壁1112相互接觸，所述第二側(cè)面162背向所述卡槽164的一面與所述工具底座120的外周面相互接觸。根據(jù)實(shí)際需求，所述第二側(cè)面162背向所述卡槽164的一面可以設(shè)置有第二內(nèi)螺紋，所述工具底座120的外周面可以設(shè)置有第二外螺紋，如此，當(dāng)所述橡膠囊鎖緊螺母160套設(shè)于所述橡膠囊140時(shí)，所述第二內(nèi)螺紋可以與所述第二外螺紋相互旋合，從而將所述橡膠囊140固定于所述工具底座120。

需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中，所述轉(zhuǎn)接部件110、工具底座120、柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘130及橡膠囊鎖緊螺母160均可以由鋁材料制作而成，并且所述轉(zhuǎn)接部件110、工具底座120及柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘130均可以進(jìn)行減重處理，如此可以減輕整體重量。

在本實(shí)施例中，通過(guò)改變本實(shí)用新型提供的非球面元件表面波紋平滑拋光工具100中粘彈性柔性介質(zhì)的種類及厚度，使所述非球面元件表面波紋平滑拋光工具與待加工非球面元件的表面相吻合，并且對(duì)非球面表面波紋進(jìn)行去除。

實(shí)施時(shí)，通過(guò)改變所述非球面元件表面波紋平滑拋光工具100中粘彈性柔性介質(zhì)的種類及厚度，可以使所述非球面元件表面波紋平滑拋光工具100適應(yīng)于由于非球面形貌造成的低階彎曲，也即，使所述非球面元件表面波紋平滑拋光工具能夠與非球面待加工元件的表面相吻合。應(yīng)當(dāng)理解，本實(shí)施例中，所述元件表面波紋去除方法同樣適用于具有平面或球面的待加工元件。

此外，通過(guò)改變所述非球面元件表面波紋平滑拋光工具100中粘彈性柔性介質(zhì)的種類及厚度，還可以對(duì)面形誤差中的波紋進(jìn)行去除，也即保證待加工元件的表面波紋高低點(diǎn)之間存在壓強(qiáng)差。

其中，光學(xué)元件表面高低點(diǎn)間的壓強(qiáng)差可以根據(jù)計(jì)算式進(jìn)行計(jì)算，P_sub表示待加工元件表面高低點(diǎn)之間的壓強(qiáng)差，ε表示波紋幅值，L表示粘彈性柔性介質(zhì)的厚度，E′表示儲(chǔ)能模量，δ表示相位角。

在采用所述非球面元件表面波紋平滑拋光工具100對(duì)待加工元件進(jìn)行拋光時(shí)，在加工一定時(shí)間后，可以計(jì)算所述待加工元件表面波紋幅值變化量，所述波紋幅值變化量可以通過(guò)計(jì)算式ΔPV＝K·V·P_sub·Δt進(jìn)行計(jì)算，其中，K為比例常數(shù)，用于表征除壓力、速度因素外對(duì)波紋去除量有影響的因素。V表示拋光模層150與待加工元件之間的相對(duì)速度，Δt表示加工時(shí)長(zhǎng)。

綜上所述，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的非球面元件表面波紋平滑拋光工具100，在工具底座120、柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘130及橡膠囊140形成的密封腔內(nèi)填充滿粘彈性柔性介質(zhì)，如此，可以通過(guò)改變所述柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘130的位置，實(shí)現(xiàn)所述粘彈性柔性介質(zhì)厚度的改變，從而使所述非球面元件表面波紋平滑拋光工具100與待加工元件的表面1411相吻合。此外，通過(guò)改變所述粘彈性柔性介質(zhì)的種類的厚度，還可以改變待加工元件表面波紋高低點(diǎn)之間的壓強(qiáng)差，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)待加工元件表面波紋去除，以及對(duì)外加工元件中頻誤差的抑制。

在本實(shí)用新型的描述中，需要說(shuō)明的是，術(shù)語(yǔ)“上”、“下”，“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，或者是該實(shí)用新型產(chǎn)品使用時(shí)慣常擺放的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。

在本實(shí)用新型的描述中，還需要說(shuō)明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“設(shè)置”、“安裝”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本實(shí)用新型中的具體含義。

在本實(shí)用新型中，除非另有規(guī)定，第一特征在第二特征之上或之下可以包括第一和第二特征直接接觸，也可以包括第一和第二特征不是直接接觸而是通過(guò)它們之間的另外的特征接觸。而且，第一特征在第二特征之上、上方和上面包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或僅僅表示第一特征的水平高度在高于第二特征。第一特征在第二特征之下、下方和下面包括第一特征在第二特征的正下方和斜下方，或僅僅表示第一特征的水平高度小于第二特征。

以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本實(shí)用新型可以有各種更改和變化。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。