技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種磁控濺射儀，包括濺射室、預(yù)處理室、磁力傳遞桿、機(jī)械泵、分子泵和冷卻水管，濺射室和處理室之設(shè)有閥板，預(yù)處理室和磁力傳遞桿相連，預(yù)處理室還與機(jī)械泵和分子泵相連，分子泵與冷卻水管相連，冷卻水管進(jìn)水處設(shè)有水位檢測開關(guān)，所述水位檢測開關(guān)包括殼體、殼體內(nèi)設(shè)有水管，水管上設(shè)有一受其內(nèi)水壓可上下運(yùn)動(dòng)的活塞，活塞上端部設(shè)有一具有導(dǎo)電能力的頂針，頂針上方設(shè)有一具有導(dǎo)電能力的彈片，頂針和彈片串接在分子泵的電源線的L線上，這種磁控濺射儀在使用過程中，活塞受到水的壓強(qiáng)作用向上浮起，頂針與彈片連通，分子泵通電正常工作，反之活塞受重力影響而落下，頂針和彈片斷開，分子泵就停止工作，防止分子泵被燒毀。

技術(shù)研發(fā)人員：侯則良
受保護(hù)的技術(shù)使用者：福建省諾?？萍紙@發(fā)展有限公司
文檔號碼：201720046804
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.16
技術(shù)公布日：2017.09.19