1.一種磁控濺射儀，包括濺射室、預處理室、磁力傳遞桿、機械泵、分子泵和冷卻水管，濺射室和處理室之設有閥板，預處理室和磁力傳遞桿相連，預處理室還與機械泵和分子泵相連，分子泵與冷卻水管相連，冷卻水管進水處設有水位檢測開關，其特征在于：所述水位檢測開關包括殼體、殼體內(nèi)設有水管，水管上設有一受其內(nèi)水壓可上下運動的活塞，活塞上端部設有一具有導電能力的頂針，頂針上方設有一具有導電能力的彈片，頂針和彈片串接在分子泵的電源線的L線上。
2.根據(jù)權利要求1所述一種磁控濺射儀，其特征在于：所述殼體和活塞均為絕緣體。