技術特征：

技術總結
本發(fā)明公開了一種自動換靶的反應電子束蒸發(fā)儀的應用方法，包括以下步驟：1)由控制單元控制控制第一機械泵、第二機械泵和第三機械泵啟動，先由第一機械泵、第二機械泵和第三機械泵分別對真空鍍膜腔、進入腔和出入腔以及備用靶材腔進行初抽真空；2)控制單元控制第一真空泵、第二真空泵和第三真空泵啟動，分別繼續(xù)對真空鍍膜腔、進入腔和出入腔以及備用靶材腔進行抽真空，直到真空達到10?5Pa，3)當需要鍍膜時，由控制單元將模式切換為自動，然后啟動電子槍，待電子槍穩(wěn)定后，待用；4)設置蒸鍍薄膜的參數(shù)，將基片放在基底架上，并將基底架放置在第一料架上；5)由控制單元控制完成一個鍍膜周期；6)循環(huán)操作上述步驟。

技術研發(fā)人員：張榮生
受保護的技術使用者：無錫南理工科技發(fā)展有限公司
技術研發(fā)日：2017.07.24
技術公布日：2017.10.20