本發(fā)明涉及一種阻蒸器用阻蒸臺，具體是指一種阻蒸器用防震式多位阻蒸臺。

背景技術(shù)：

阻蒸鍍膜一般是通過加熱靶材使其表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來，并且使靶材的原子團或離子沉降在基片表面，通過成膜過程(散點－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。阻蒸臺是阻蒸器中用于對靶材加熱的組件，目前多采用的阻蒸臺為一位式阻蒸臺，這種阻蒸臺只能對一種靶材進行加熱，對不同的靶材進行加熱時，則需要對蒸發(fā)舟進行清理后重新放置需加熱的靶材，而不能連續(xù)的對不同的靶材進行加熱，很大程度上降低了阻蒸器的工作效率。

因此，提高一種既能同時放置多種靶材，又能連續(xù)的對不同的靶材進行加熱的阻蒸臺便是當(dāng)務(wù)之急。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有的阻蒸臺不能同時放置多種靶材，因此不能連續(xù)的對不同的靶材進行加熱的缺陷，提供一種阻蒸器用防震式多位阻蒸臺。

本發(fā)明的目的通過下述技術(shù)方案現(xiàn)實：一種阻蒸器用防震式多位阻蒸臺，主要由電極盤，設(shè)置在電極盤上并與電極盤電連接的蒸發(fā)舟，與蒸發(fā)舟一一對應(yīng)設(shè)置并與蒸發(fā)舟電連接的從電極耳組成；所述從電極耳上還設(shè)置有與電極盤相連接的彈性組件；所述電極盤上設(shè)有多個蒸發(fā)舟。

所述電極盤上設(shè)有加強筋。

所述彈性組件包括與從電極耳相連接的絕緣墊，設(shè)置在絕緣墊上的安裝板，以及一端與安裝板相連接、以及一端與安裝板相連接、另一端分別與加強筋和電極盤相連接的彈性件。

所述電極盤上設(shè)有與蒸發(fā)舟一一配合的安裝槽，所述蒸發(fā)舟的一端通過電極壓塊連接在電極盤上、其另一端通過從電極壓塊連接在從電極耳上。

所述電極盤上分別設(shè)置有電極壓塊安裝孔、加強筋安裝孔和彈性件安裝孔，所述加強筋安裝孔上設(shè)有與電極盤上的彈性件安裝孔相對應(yīng)的通孔。

所述電極盤為鋼盤。

所述彈性件為彈簧鋼片。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點及有益效果：

(1)本發(fā)明的電極盤上設(shè)有多個蒸發(fā)舟，因此，本發(fā)明能同時放置多種靶材，并通過轉(zhuǎn)動電極盤能對不同的靶材進行加熱，本發(fā)明很好的解決了一位式阻蒸盤不能同時放置多種靶材，并且不能連續(xù)的對不同靶材進行加熱的問題，從而提高了阻蒸器的工作效率，有效的減小了操作者的工作量。

(2)本發(fā)明在從電極耳與阻蒸盤之間設(shè)置了彈性組件，該彈性組件能使從電極耳快速的復(fù)位，防止了蒸發(fā)舟在受熱后出現(xiàn)變形或斷裂，從而有效的提高了蒸發(fā)舟的使用壽命。

(3)本發(fā)明的具有結(jié)構(gòu)簡單、設(shè)計合理和生產(chǎn)成本低等優(yōu)點。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的俯視圖。

圖2為本發(fā)明的剖視圖。

圖3為本發(fā)明的電極盤的結(jié)構(gòu)示意圖。

上述附圖中，附圖標記對應(yīng)的部件名稱如下：

1—電極盤，2—絕緣墊，3—從電極耳，4—安裝板，5—從電極壓塊，6—電極壓塊，7—蒸發(fā)舟，8—彈性件，9—加強筋，101—安裝槽，102—電極壓塊安裝孔，103—安裝凹槽，104—彈性件安裝孔，105—加強筋安裝孔，106—槽孔。

具體實施方式

下面結(jié)合實施例對本發(fā)明作進一步地詳細說明，但本發(fā)明的實施方式并不限于此。

實施例

如圖1～3所示，本發(fā)明公開了一種阻蒸器用防震式多位阻蒸臺，主要由電極盤1，設(shè)置在電極盤1上并與電極盤1電連接的蒸發(fā)舟7，與蒸發(fā)舟7一一對應(yīng)設(shè)置并與蒸發(fā)舟7電連接的從電極耳3組成。其中，所述電極盤1如圖1所示，本發(fā)明在電極盤1上設(shè)有六個蒸發(fā)舟7。同時，如圖1、2所示，在所述的從電極耳3與電極盤1之間設(shè)有彈性組件，該彈性組件如圖1所示，其包括絕緣墊2，安裝板4，以及彈性件8。

實施時，本發(fā)明所述的電極盤1優(yōu)先采用了耐高溫、導(dǎo)電性能強的鋼盤來實現(xiàn)，本發(fā)明將電極盤1設(shè)置為圓形，如圖1～3所示，在電極盤1上設(shè)置了與蒸發(fā)舟7一一配合的安裝槽101，該安裝槽101的數(shù)量可根據(jù)蒸發(fā)舟7的數(shù)量進行調(diào)整。電極盤1上還設(shè)置了多個電極壓塊安裝孔102、彈性件安裝孔104和加強筋安裝孔105。該電極盤1上還設(shè)置有用于安裝電極輸入桿的安裝凹槽103，在該安裝凹槽103的底部設(shè)有用于安裝固定螺釘?shù)牟劭?06，該槽孔106用于安裝對電極輸入桿進行固定的螺釘。所述的蒸發(fā)舟7優(yōu)先采用了耐高溫的鎢舟，該蒸發(fā)舟7安裝在電極盤1的安裝槽101內(nèi)，蒸發(fā)舟7的一端通過電極壓塊6連接在電極盤1上，其而另一端則通過從電極壓塊5連接在與電極盤1相配合的從電極耳3上，電極壓塊6通過與電極盤1上的電極壓塊安裝孔102相配合的螺釘固定在電極盤1上，從電極壓塊5同樣通過螺釘固定在從電極耳3上，這樣便于蒸發(fā)舟7的安裝或更換。

所述電極盤1長期在高溫下工作其硬度容易降低，為了防止電極盤1的硬度降低后使整個阻蒸臺出現(xiàn)變形的問題，本發(fā)明在電極盤1的底部設(shè)置了多條加強筋9，該加強筋9通過與電極盤1的加強筋安裝孔105螺紋相連接的螺釘固定在電極盤1上。所述加強筋9本發(fā)明優(yōu)先設(shè)置為六條，該六條連接在一起，加強筋9的數(shù)量可根據(jù)需要進行調(diào)整，該加強筋9上設(shè)置了與電極盤1的安裝槽103相配合使用的穿心孔，并且該加強筋9上還設(shè)有與電極盤1上的彈性件安裝孔104相對應(yīng)的通孔。外部的電極輸入桿則貫穿加強筋9上的通孔后安裝在電極盤1的安裝槽103上，并通過螺釘貫穿安裝槽103上的槽孔106后將外部的電極輸入桿固定在安裝槽103內(nèi)。

所述從電極耳3與從電極外部引入裝置中的夾緊件相連接，而從電極外部引入裝置的夾緊件在夾緊從電極耳3時會使從電極耳3的位置發(fā)生變化，如果夾緊件張開時從電極耳3不能及時復(fù)位，與從電極耳3相連接的蒸發(fā)舟7便容易出現(xiàn)變形或斷裂。本發(fā)明為了防止蒸發(fā)舟7變形或斷裂，在從電極耳3與電極盤1之間設(shè)置了彈性組件。該彈性組件能在從電極外部引入裝置中的夾緊件張開時，使從電極耳3快速的復(fù)位，從而有效的防止了蒸發(fā)舟7出現(xiàn)變形或斷裂。

所述彈性組件如圖1、2所示，其包括絕緣墊2，安裝板4，以及彈性件8。其中，所述的絕緣墊2優(yōu)先采用了陶瓷材料制成的絕緣墊，該絕緣墊2通過螺釘固定設(shè)置在從電極耳3的底部，安裝板4則通過螺釘固定設(shè)置在絕緣墊2上。安裝板4本發(fā)明采用了金屬材料制成的安裝板，該安裝板4則用于安裝彈性件8，彈性件8通過螺釘安裝在安裝板4上，且該彈性件8的一端通過螺釘安裝在安裝板4上，而另一端通過貫穿強筋9上的通孔后與電極盤1上的彈性件安裝孔104螺紋連接的螺釘固定設(shè)置在加強筋9上。所述彈性件8本發(fā)明優(yōu)先采用了具有較強的彈性的彈簧鋼片制成，所述從電極耳3可延電極盤1與彈性件8的連接端上下擺動。該彈性件8能在從電極外部引入裝置的夾緊件張開時，通過彈性件8所具有的彈性使與從電極耳3相連接的蒸發(fā)舟7快速的復(fù)位，從而防止了蒸發(fā)舟7在受熱后出現(xiàn)變形，并且有效的提高了蒸發(fā)舟7的使用壽命。

本發(fā)明具體實施時，將外部輸入電極桿貫穿加強筋9上的通孔后安裝在電極盤1的安裝槽103上，將不同的靶材分別放置在多位阻蒸器上的六個蒸發(fā)舟7內(nèi)，并將從電極耳3連接在從電極外部引入裝置的夾緊件上，開啟電源，蒸發(fā)舟7得電，蒸發(fā)舟7開始對靶材進行加熱；當(dāng)蒸發(fā)器停止工作時，彈性組件則能快速的使從電極耳3復(fù)位，即彈性組件能快速的使蒸發(fā)舟7快速的復(fù)位，從而很好的防止了蒸發(fā)舟7受熱后變形。

當(dāng)人們需對多位阻蒸臺上的其它位置的蒸發(fā)舟7內(nèi)的靶材進行加熱時，只需轉(zhuǎn)動電極盤1，使與所需加熱的蒸發(fā)舟7相對應(yīng)的從電極耳3連接在從電極外部引入裝置的夾緊件上，便能實現(xiàn)對需蒸發(fā)的靶材進行蒸發(fā)，不需要關(guān)閉阻蒸器后重新放置所需的靶材。從而使本發(fā)明實現(xiàn)了對不同靶材連續(xù)加熱的優(yōu)點，很好的解決了現(xiàn)有的一位式阻蒸盤不能同時放置多種靶材，和不能連續(xù)的對不同靶材進行加熱的問題，有效的減小了操作者的工作量，很好的提高了阻蒸器的工作效率。

如上所述，便可很好的實現(xiàn)本發(fā)明。