技術(shù)編號：11722854
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種阻蒸器用阻蒸臺，具體是指一種阻蒸器用防震式多位阻蒸臺。背景技術(shù)阻蒸鍍膜一般是通過加熱靶材使其表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來，并且使靶材的原子團(tuán)或離子沉降在基片表面，通過成膜過程(散點－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。阻蒸臺是阻蒸器中用于對靶材加熱的組件，目前多采用的阻蒸臺為一位式阻蒸臺，這種阻蒸臺只能對一種靶材進(jìn)行加熱，對不同的靶材進(jìn)行加熱時，則需要對蒸發(fā)舟進(jìn)行清理后重新放置需加熱的靶材，而不能連續(xù)的對不同的靶材進(jìn)行加熱，很大程度上降低了阻蒸器的工作效率。因此，提高一...
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