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一種多工位真空爐均勻加熱及溫控系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:11767843閱讀:來源:國知局

技術特征:

技術總結
本發(fā)明公開了一種多工位真空爐均勻加熱及溫控系統(tǒng),包括鐘罩,其特征在于,所述鐘罩的內(nèi)壁的頂端通過第一螺栓連接有若干頂部加熱器,所述頂部加熱器的中心通過第二螺栓連接有中心加熱器,所述鐘罩側壁內(nèi)側通過第三螺栓連接有若干第一側壁加熱器,所述鐘罩底部側壁通過第四螺栓連接有若干第二側壁加熱器,所述頂部加熱器、中心加熱器、第一側壁加熱器和第二側壁加熱器分別集成K型熱電偶,所述K型熱電偶通過補償導線與PID溫控儀一端相連接,所述PID溫控儀另一端通過固態(tài)繼電器分別與頂部加熱器、中心加熱器、第一側壁加熱器和第二側壁加熱器相連接。本發(fā)明有益效果:通過PID溫控儀控溫,溫度控制準確,從而達到較高的溫度均勻性。

技術研發(fā)人員:高貴斌
受保護的技術使用者:北京中科科美科技股份有限公司
技術研發(fā)日:2017.05.04
技術公布日:2017.10.20
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