本發(fā)明涉及顯示器制作領(lǐng)域，特別涉及一種蒸發(fā)源。

背景技術(shù)：

有機(jī)發(fā)光二極管(OLED，Organic Light-Emitting Diode)顯示技術(shù)與傳統(tǒng)的液晶顯示器(LCD，Liquid Crystal Display)顯示方式不同，無(wú)需背光燈，采用非常薄的有機(jī)材料涂層，當(dāng)有電流通過(guò)時(shí)，有機(jī)材料就會(huì)發(fā)光?，F(xiàn)有OLED器件的制作是通過(guò)蒸鍍?cè)O(shè)備通過(guò)真空蒸鍍完成的。

真空蒸鍍是指在高真空環(huán)境下對(duì)鍍膜材料進(jìn)行加熱，使其升華并在基板上成膜?，F(xiàn)有大尺寸用線(xiàn)性蒸發(fā)源，坩堝存放于蒸發(fā)源內(nèi)，蒸鍍過(guò)程中在坩堝外部對(duì)坩堝進(jìn)行加熱，形成的鍍膜材料蒸氣從噴射口噴出。

現(xiàn)有蒸鍍?cè)O(shè)備一般分為兩種，如圖1所示為第一種蒸鍍?cè)O(shè)備，圖1所示蒸發(fā)設(shè)備的蒸發(fā)源在高真空環(huán)境中連續(xù)蒸鍍時(shí)，有機(jī)材料50裝載在坩堝30內(nèi)，在加熱絲40的加熱下，有機(jī)材料氣化經(jīng)過(guò)內(nèi)板20，而后從噴嘴10噴出，在基板上進(jìn)行成膜。在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，需要進(jìn)行連續(xù)數(shù)天時(shí)間加熱，由于長(zhǎng)時(shí)間加熱，導(dǎo)致有機(jī)材料熱裂解，從而影響OLED器件的性能，導(dǎo)致不良產(chǎn)生。

如圖2所示為第二種蒸鍍?cè)O(shè)備，圖2所示蒸鍍?cè)O(shè)備的蒸發(fā)源在高真空環(huán)境中連續(xù)蒸鍍時(shí)，有機(jī)材料5裝載在坩堝6內(nèi)，在加熱絲4的加熱下，有機(jī)材料氣化經(jīng)過(guò)傳輸腔3和內(nèi)板2，而后從噴嘴1噴出，在基板上進(jìn)行成膜。在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，需要進(jìn)行連續(xù)數(shù)天時(shí)間加熱，由于長(zhǎng)時(shí)間加熱，導(dǎo)致有機(jī)材料熱裂解，從而影響OLED器件的性能，導(dǎo)致不良產(chǎn)生。

綜上可知，現(xiàn)有的蒸鍍?cè)O(shè)備在進(jìn)行真空蒸鍍過(guò)程中因長(zhǎng)時(shí)間加熱，容易導(dǎo)致有機(jī)材料熱裂解，從而影響OLED器件的性能，導(dǎo)致不良產(chǎn)生。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的一個(gè)目的在于提供一種蒸發(fā)源，其防止有機(jī)材料因長(zhǎng)時(shí)間加熱而裂解，提高OLED器件的產(chǎn)量和良率，改善OLED器件性能。

為解決上述問(wèn)題，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例提供了一種蒸發(fā)源，所述蒸發(fā)源包括：

殼體，所述殼體包括相對(duì)設(shè)置的第一端、第二端以及位于所述第一端和第二端之間的傳輸腔；

坩堝，用于放置蒸發(fā)材料，當(dāng)所述蒸發(fā)材料放置于所述坩堝內(nèi)時(shí)，所述蒸發(fā)材料在所述坩堝內(nèi)的表面形成一加熱面，所述坩堝設(shè)置在所述殼體內(nèi)，且位于所述第二端，所述坩堝和傳輸腔連通；

噴嘴，用于噴射所述蒸發(fā)材料蒸發(fā)所形成的氣體，所述噴嘴設(shè)置在所述第一端，所述噴嘴和傳輸腔連通；

第一加熱絲，用于對(duì)所述加熱面加熱，所述第一加熱絲直接固定在所述殼體內(nèi)，且所述第一加熱絲位于所述坩堝和噴嘴之間；

升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)可活動(dòng)的連接在所述殼體上，所述升降機(jī)構(gòu)和坩堝固定連接，所述升降機(jī)構(gòu)通過(guò)和所述殼體的可活動(dòng)連接控制所述坩堝運(yùn)動(dòng)，使得所述第一加熱絲和加熱面兩者的位置產(chǎn)生變化，以改變所述第一加熱絲對(duì)所述蒸發(fā)材料加熱而產(chǎn)生的蒸發(fā)速率。

在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的蒸發(fā)源中，所述蒸發(fā)源還包括：

第一檢測(cè)器，所述第一檢測(cè)器設(shè)置在所述坩堝位置處，用于檢測(cè)所述坩堝位置處的蒸發(fā)速率；當(dāng)所述第一檢測(cè)器檢測(cè)到所述坩堝位置處的蒸發(fā)速率與第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率不同時(shí)，驅(qū)動(dòng)所述升降機(jī)構(gòu)控制所述坩堝運(yùn)動(dòng)。

在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的蒸發(fā)源中，所述蒸發(fā)源還包括：

第二檢測(cè)器，所述第二檢測(cè)器設(shè)置在所述噴嘴位置處，用于檢測(cè)所述噴嘴噴射氣體的速率；當(dāng)所述第二檢測(cè)器檢測(cè)到所述噴嘴噴射氣體的速率與第二預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率不同時(shí)，驅(qū)動(dòng)所述升降機(jī)構(gòu)控制所述坩堝運(yùn)動(dòng)。

在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的蒸發(fā)源中，所述升降機(jī)構(gòu)控制所述坩堝運(yùn)動(dòng)的方向與所述加熱面垂直。

在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的蒸發(fā)源中，所述蒸發(fā)源還包括固定在所述坩堝內(nèi)的用于為所述蒸發(fā)材料加熱的第二加熱絲。

在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的蒸發(fā)源中，所述蒸發(fā)源還包括：

第三加熱絲，所述第三加熱絲固定在所述傳輸腔內(nèi)，用于為處于所述傳輸腔中的氣體加熱。

在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的蒸發(fā)源中，所述傳輸腔包括相互連通的第一傳輸腔和第二傳輸腔，所述第一傳輸腔靠近所述坩堝，且直接和所述坩堝連通；所述第二傳輸腔靠近所述噴嘴，且直接和所述噴嘴連通；所述第三加熱絲一部分設(shè)置在所述第一傳輸腔內(nèi)，所述第三加熱絲另一部分設(shè)置在所述第二傳輸腔內(nèi)。

在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的蒸發(fā)源中，所述蒸發(fā)源包括有設(shè)置在所述第二傳輸腔內(nèi)的內(nèi)板，位于所述第二傳輸腔內(nèi)的所述第三加熱絲一部分纏繞所述內(nèi)板設(shè)置。

在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的蒸發(fā)源中，所述蒸發(fā)源還包括：

第一檢測(cè)器，所述第一檢測(cè)器設(shè)置在所述坩堝位置處，用于檢測(cè)所述坩堝位置處的蒸發(fā)速率，當(dāng)所述第一檢測(cè)器檢測(cè)到所述坩堝位置處的蒸發(fā)速率與預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率不同時(shí)，驅(qū)動(dòng)所述升降機(jī)構(gòu)控制所述坩堝運(yùn)動(dòng)；所述殼體設(shè)置有第一檢測(cè)通道，所述第一檢測(cè)通道和第一傳輸腔連通，所述第一檢測(cè)器設(shè)置在所述第一檢測(cè)通道位置；且所述第一檢測(cè)通道從所述第一傳輸腔向外延伸形成。

同樣地，為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明的另一優(yōu)選實(shí)施例提供了一種蒸發(fā)源，所述蒸發(fā)源包括：

殼體，所述殼體包括相對(duì)設(shè)置的第一端、第二端以及位于所述第一端和第二端之間的傳輸腔；

坩堝，用于放置蒸發(fā)材料，當(dāng)所述蒸發(fā)材料放置于所述坩堝內(nèi)時(shí)，所述蒸發(fā)材料在所述坩堝內(nèi)的表面形成一加熱面，所述坩堝直接固定在所述殼體內(nèi)，且位于所述第二端，所述坩堝和傳輸腔連通；

噴嘴，用于噴射所述蒸發(fā)材料蒸發(fā)所形成的氣體，所述噴嘴設(shè)置在所述第一端，所述噴嘴和傳輸腔連通；

第一加熱絲，用于對(duì)所述加熱面加熱，所述第一加熱絲設(shè)置在所述殼體內(nèi)，且所述第一加熱絲位于所述坩堝和噴嘴之間；

升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)可活動(dòng)的連接在所述殼體上，所述升降機(jī)構(gòu)和第一加熱絲固定連接，所述升降機(jī)構(gòu)通過(guò)和所述殼體的可活動(dòng)連接控制所述第一加熱絲運(yùn)動(dòng)，使得所述第一加熱絲和加熱面兩者的位置產(chǎn)生變化，以改變所述第一加熱絲對(duì)所述蒸發(fā)材料加熱而產(chǎn)生的蒸發(fā)速率。

相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明通過(guò)第一加熱絲對(duì)放置于坩堝內(nèi)蒸發(fā)材料的加熱面進(jìn)行加熱，第一加熱絲位于坩堝和噴嘴之間，以便位于加熱面處的蒸發(fā)材料受熱蒸發(fā)，通過(guò)坩堝、傳輸腔達(dá)到噴嘴向外噴射，從而防止位于坩堝內(nèi)部(位于坩堝內(nèi)且處于加熱面以下的蒸發(fā)材料)的蒸發(fā)材料長(zhǎng)時(shí)間加熱而裂解。

進(jìn)一步的，本發(fā)明殼體上可活動(dòng)的連接有升降機(jī)構(gòu)，通過(guò)升降機(jī)構(gòu)控制坩堝運(yùn)動(dòng)，以改變坩堝和第一加熱絲兩者之間的距離，同時(shí)，使得第一加熱絲和加熱面兩者的位置產(chǎn)生變化，進(jìn)而改變所述第一加熱絲對(duì)所述蒸發(fā)材料加熱而產(chǎn)生的蒸發(fā)速率；具體的是，當(dāng)需要提高蒸發(fā)速率時(shí)，驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)控制坩堝進(jìn)行上升(朝向噴嘴方向運(yùn)動(dòng))運(yùn)動(dòng)，第一加熱絲固定在殼體內(nèi)位置不變，升降機(jī)構(gòu)控制坩堝上升，減小坩堝和第一加熱絲的距離，從而減小第一加熱絲和加熱面之間的距離，使得第一加熱絲為加熱面的加熱效果更好，甚至第一加熱絲通過(guò)加熱面逐漸向坩堝內(nèi)部深入，進(jìn)而深入到蒸發(fā)材料中，這樣進(jìn)一步增加了第一加熱絲和蒸發(fā)材料的加熱面積，從而增加蒸發(fā)材料的蒸發(fā)速率。

而當(dāng)需要降低蒸發(fā)速率時(shí)，驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)控制坩堝下降(遠(yuǎn)離噴嘴的方向運(yùn)動(dòng))運(yùn)動(dòng)，升降機(jī)構(gòu)控制第一加熱絲和坩堝的距離逐漸變大，從而增加第一加熱絲和加熱面之間的距離，使得第一加熱絲為加熱面的加熱效果變差，降低蒸發(fā)材料的蒸發(fā)速率。因此，本發(fā)明通過(guò)升降機(jī)構(gòu)控制坩堝運(yùn)動(dòng)，改變位于坩堝中蒸發(fā)材料所形成的加熱面和第一加熱絲兩者之間距離，控制第一加熱絲為加熱面進(jìn)行加熱的加熱效率，進(jìn)而控制蒸發(fā)材料的蒸發(fā)速率，防止第一加熱絲長(zhǎng)時(shí)間為蒸發(fā)材料進(jìn)行加熱而產(chǎn)生裂解，提高OLED器件的產(chǎn)量和良率，改善OLED器件的性能。

為讓本發(fā)明的上述內(nèi)容能更明顯易懂，下文特舉優(yōu)選實(shí)施例，并配合所附圖式，作詳細(xì)說(shuō)明如下：

【附圖說(shuō)明】

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中一種蒸發(fā)源的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為現(xiàn)有技術(shù)中一種蒸發(fā)源的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明蒸發(fā)源的第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明蒸發(fā)源的第二實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本發(fā)明蒸發(fā)源的第三實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為本發(fā)明蒸發(fā)源的第四實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7為本發(fā)明蒸發(fā)源的第五實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖8為本發(fā)明蒸發(fā)源的第六實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖9為本發(fā)明蒸發(fā)源的第七實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖10為本發(fā)明蒸發(fā)源的第八實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】

以下各實(shí)施例的說(shuō)明是參考附加的圖式，用以例示本發(fā)明可用以實(shí)施的特定實(shí)施例。

這里所公開(kāi)的具體結(jié)構(gòu)和功能細(xì)節(jié)僅僅是代表性的，并且是用于描述本發(fā)明的示例性實(shí)施例的目的。但是本發(fā)明可以通過(guò)許多替換形式來(lái)具體實(shí)現(xiàn)，并且不應(yīng)當(dāng)被解釋成僅僅受限于這里所闡述的實(shí)施例。

在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“中心”、“橫向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括一個(gè)或者更多個(gè)該特征。在本發(fā)明的描述中，除非另有說(shuō)明，“多個(gè)”的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以上。另外，術(shù)語(yǔ)“包括”及其任何變形，意圖在于覆蓋不排他的包含。

在本發(fā)明的描述中，需要說(shuō)明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本發(fā)明中的具體含義。

這里所使用的術(shù)語(yǔ)僅僅是為了描述具體實(shí)施例而不意圖限制示例性實(shí)施例。除非上下文明確地另有所指，否則這里所使用的單數(shù)形式“一個(gè)”、“一項(xiàng)”還意圖包括復(fù)數(shù)。還應(yīng)當(dāng)理解的是，這里所使用的術(shù)語(yǔ)“包括”和/或“包含”規(guī)定所陳述的特征、整數(shù)、步驟、操作、單元和/或組件的存在，而不排除存在或添加一個(gè)或更多其他特征、整數(shù)、步驟、操作、單元、組件和/或其組合。

在圖中，結(jié)構(gòu)相似的單元是以相同標(biāo)號(hào)表示。

下面參考附圖3至10和較佳的實(shí)施例對(duì)本發(fā)明實(shí)施例蒸發(fā)源作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。

如圖3所示，圖3是本發(fā)明蒸發(fā)源的第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖，本發(fā)明第一實(shí)施例的蒸發(fā)源100包括：殼體120、內(nèi)板102、坩堝106、噴嘴101、第一加熱絲108和升降機(jī)構(gòu)107。

其中，所述殼體120包括相對(duì)設(shè)置的第一端121、第二端122以及位于所述第一端121和第二端122之間的傳輸腔103，傳輸腔用于傳輸蒸發(fā)材料105被加熱形成蒸發(fā)氣體。所述傳輸腔103包括相互連通的第一傳輸腔1031和第二傳輸腔1032，所述第一傳輸腔1031靠近所述坩堝106，且直接和所述坩堝106連通；所述第二傳輸腔1032靠近所述噴嘴101，且直接和所述噴嘴101連通。

其中，所述內(nèi)板102設(shè)置在所述第二傳輸腔1032內(nèi)。

其中，所述坩堝106用于放置蒸發(fā)材料105，當(dāng)所述蒸發(fā)材料105放置于所述坩堝106內(nèi)時(shí)，所述蒸發(fā)材料105在所述坩堝106內(nèi)的表面形成一加熱面1051；所述坩堝106設(shè)置在所述殼體120內(nèi)，且位于所述第二端122，所述坩堝106和傳輸腔103連通。

其中，所述噴嘴101用于噴射所述蒸發(fā)材料105蒸發(fā)所形成的氣體，所述噴嘴101設(shè)置在所述第一端121，所述噴嘴101和傳輸腔103連通；噴嘴101和坩堝106之間通過(guò)傳輸腔103連通，坩堝內(nèi)蒸發(fā)材料105受熱形成蒸發(fā)氣體通過(guò)傳輸腔傳103輸?shù)絿娮?01處，并通過(guò)噴嘴101向外噴出。

其中，所述第一加熱絲108用于對(duì)所述加熱面1051加熱，所述第一加熱絲108直接固定在所述殼體120內(nèi)，且所述第一加熱絲108位于所述坩堝106和噴嘴101之間；通過(guò)第一加熱絲108對(duì)放置于坩堝106內(nèi)蒸發(fā)材料105的加熱面1051進(jìn)行加熱，第一加熱絲108位于坩堝106和噴嘴101之間，以便位于加熱面1051處的蒸發(fā)材料105受熱蒸發(fā)，通過(guò)坩堝106、傳輸腔103達(dá)到噴嘴101向外噴射，從而防止位于坩堝106內(nèi)部(位于坩堝內(nèi)且處于加熱面以下的蒸發(fā)材料)的蒸發(fā)材料105長(zhǎng)時(shí)間加熱而裂解。

其中，所述升降機(jī)構(gòu)107可活動(dòng)的連接在所述殼體120上，所述升降機(jī)構(gòu)107和坩堝106固定連接，所述升降機(jī)構(gòu)107通過(guò)和所述殼體120的可活動(dòng)連接控制所述坩堝106運(yùn)動(dòng)，使得所述第一加熱絲108和加熱面1051兩者的位置產(chǎn)生變化，以改變所述第一加熱絲108對(duì)所述蒸發(fā)材料105加熱而產(chǎn)生的蒸發(fā)速率。

進(jìn)一步的，本發(fā)明第一實(shí)施例升降機(jī)構(gòu)107和殼體120的可活動(dòng)連接可以采用滑軌和滑槽配合的方式實(shí)現(xiàn)可活動(dòng)，比如：殼體上設(shè)置有滑槽，升降機(jī)構(gòu)設(shè)置有用于放置到殼體滑槽內(nèi)的滑軌，且升降機(jī)構(gòu)的滑軌可在殼體滑槽內(nèi)滑動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)升降機(jī)構(gòu)和殼體的可活動(dòng)連接。

當(dāng)然，本發(fā)明第一實(shí)施例殼體120和升降機(jī)構(gòu)107也可以采用其他可活動(dòng)連接方式，比如：

殼體和升降機(jī)構(gòu)采用銷(xiāo)釘和銷(xiāo)孔的方式可活動(dòng)連接，具體的，殼體上設(shè)置多個(gè)間隔布置的銷(xiāo)孔，升降機(jī)構(gòu)上設(shè)置用于插入到殼體銷(xiāo)孔內(nèi)的銷(xiāo)釘，通過(guò)調(diào)整銷(xiāo)釘插入到不同位置的銷(xiāo)孔內(nèi)來(lái)實(shí)現(xiàn)升降機(jī)構(gòu)和殼體之間的可活動(dòng)連接。

再比如：殼體和升降機(jī)構(gòu)采用齒輪或齒輪和傳動(dòng)帶配合連接，通過(guò)兩個(gè)或多個(gè)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)升降機(jī)構(gòu)和殼體之間的可活動(dòng)連接。

其中，升降機(jī)構(gòu)107控制坩堝106進(jìn)行上升運(yùn)動(dòng)或下降運(yùn)動(dòng)為：所述升降機(jī)構(gòu)107控制所述坩堝106運(yùn)動(dòng)的方向與所述加熱面1051垂直。當(dāng)然，需要說(shuō)明的是，升降機(jī)構(gòu)107控制坩堝106上升運(yùn)動(dòng)或下降運(yùn)動(dòng)，也可以和加熱面傾斜方向，也就是坩堝運(yùn)動(dòng)方向和加熱面形成有夾角。

本發(fā)明第一實(shí)施例通過(guò)升降機(jī)構(gòu)107控制坩堝106運(yùn)動(dòng)，以改變坩堝106和第一加熱絲108兩者之間的距離，同時(shí)，使得第一加熱絲108和加熱面1051兩者的位置產(chǎn)生變化，進(jìn)而改變所述第一加熱絲108對(duì)所述蒸發(fā)材料105加熱而產(chǎn)生的蒸發(fā)速率。從而，本發(fā)明第一實(shí)施例不僅防止蒸發(fā)材料因長(zhǎng)時(shí)間加熱而裂解，而且便于控制蒸發(fā)速率，進(jìn)一步提高OLED器件的產(chǎn)量和良率，改善OLED器件的性能。

在本發(fā)明第一實(shí)施例中，參見(jiàn)圖3，本發(fā)明第一實(shí)施例蒸發(fā)源對(duì)蒸發(fā)材料的蒸發(fā)具體流程如下：

將蒸發(fā)材105放置于所述坩堝106內(nèi)，第一加熱絲108為處于加熱面1051處的蒸發(fā)材料加熱，以使得加熱面1051處的蒸發(fā)材料105受熱而蒸發(fā)形成蒸發(fā)氣體，并通過(guò)坩堝106、傳輸腔103傳輸至噴嘴101，蒸發(fā)氣體從噴嘴101位置向外噴出。

首先，蒸發(fā)氣體通過(guò)坩堝106到達(dá)傳輸腔103內(nèi)。

然后，根據(jù)蒸發(fā)氣體的速率大小，驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)107控制坩堝106運(yùn)動(dòng)。具體的運(yùn)動(dòng)方式為：

當(dāng)蒸發(fā)速率較小時(shí)，或者預(yù)先設(shè)定一第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率，該第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率能夠保持產(chǎn)量和良率。也就是當(dāng)蒸發(fā)速率小于第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率時(shí)，為了保持產(chǎn)量和良率，提高蒸發(fā)速率。

更具體的是，驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)107控制坩堝106進(jìn)行上升運(yùn)動(dòng)，第一加熱絲108固定在殼體120內(nèi)位置不變，升降機(jī)構(gòu)107控制坩堝106上升，減小坩堝106和第一加熱絲108的距離，比如減小坩堝頂端至第一加熱絲底部的距離，或者減小坩堝中心位置至第一加熱絲中心位置的距離，需要說(shuō)明的是，本發(fā)明實(shí)施例坩堝和第一加熱絲之間距離的變化是相對(duì)于同一位置而言。從而減小第一加熱絲108和加熱面1051之間的距離，比如減小加熱面至第一加熱絲底部的距離，或者減小加熱面至第一加熱絲中心位置的距離，需要說(shuō)明的是，本發(fā)明實(shí)施例加熱面和第一加熱絲之間距離的變化是相對(duì)于同一位置而言。使得第一加熱絲108為加熱面1051的加熱效果更好，甚至第一加熱絲108通過(guò)加熱面1051逐漸向坩堝106內(nèi)部深入，進(jìn)而深入到蒸發(fā)材料105中，這樣進(jìn)一步增加了第一加熱絲108和蒸發(fā)材料105的加熱面積，從而增加蒸發(fā)材料的蒸發(fā)速率以達(dá)到第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率。

當(dāng)蒸發(fā)速率較大，或者說(shuō)蒸發(fā)速率大于第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率時(shí)，為了保持產(chǎn)量和良率，需要降低蒸發(fā)速率。

更具體的是，驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)107控制坩堝106進(jìn)行下降運(yùn)動(dòng)，升降機(jī)構(gòu)107控制第一加熱絲108和坩堝106的距離逐漸變大，從而增加第一加熱絲108和加熱面1051之間的距離，使得第一加熱絲108為加熱面1051的加熱效果變差，降低蒸發(fā)材料的蒸發(fā)速率以降低到第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率。

其提高OLED器件的產(chǎn)量和良率，改善OLED器件的性能。

如圖4所示，圖4是本發(fā)明蒸發(fā)源的第二實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖，本發(fā)明第二實(shí)施例的蒸發(fā)源200包括：殼體220、內(nèi)板202、坩堝206、噴嘴201、第一加熱絲208、升降機(jī)構(gòu)207和第一檢測(cè)器210。

其中，本發(fā)明第二實(shí)施例的坩堝206與本發(fā)明第一實(shí)施例的坩堝106結(jié)構(gòu)相同，本發(fā)明第二實(shí)施例的內(nèi)板202與本發(fā)明第一實(shí)施例的內(nèi)板102結(jié)構(gòu)相同，本發(fā)明第二實(shí)施例的噴嘴201與本發(fā)明第一實(shí)施例的噴嘴101結(jié)構(gòu)相同，本發(fā)明第二實(shí)施例的第一加熱絲208與本發(fā)明第一實(shí)施例的第一加熱絲108結(jié)構(gòu)相同，本發(fā)明第二實(shí)施例的升降機(jī)構(gòu)207與本發(fā)明第一實(shí)施例的升降機(jī)構(gòu)107結(jié)構(gòu)和效果相同，在此不再贅述。

本發(fā)明第二實(shí)施例在第一實(shí)施例的基礎(chǔ)上進(jìn)行的改進(jìn)，本發(fā)明第二實(shí)施例與第一實(shí)施例的區(qū)別在于：本發(fā)明第二實(shí)施例還包括第一檢測(cè)器210。

進(jìn)一步的，本發(fā)明第二實(shí)施例與第一實(shí)施例的區(qū)別還在于：本發(fā)明第二實(shí)施例的殼體220上設(shè)置有第一檢測(cè)通道223，且本發(fā)明第二實(shí)施例的殼體220的第一端221、第二端222、傳輸腔203的第一傳輸腔2031及第二傳輸腔2032分別與本發(fā)明第一實(shí)施例的殼體120的第一端121、第二端122、傳輸腔103的第一傳輸腔1031及第二傳輸腔1032的結(jié)構(gòu)和效果相同，在此不再贅述。

其中，所述第一檢測(cè)器210設(shè)置在所述坩堝206位置處的殼體220上，用于檢測(cè)所述坩堝206位置處的蒸發(fā)速率(在此定義為第一蒸發(fā)速率)；當(dāng)所述第一檢測(cè)器210檢測(cè)到所述坩堝206位置處的第一蒸發(fā)速率與第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率不同時(shí)，驅(qū)動(dòng)所述升降機(jī)構(gòu)207控制所述坩堝206運(yùn)動(dòng)。

具體的，所述第一檢測(cè)器210設(shè)置在所述第一檢測(cè)通道223位置，所述第一檢測(cè)通道223和第一傳輸腔2031連通，且所述第一檢測(cè)通道223從所述第一傳輸腔2031向外延伸形成。

本發(fā)明第二實(shí)施例根據(jù)第一檢測(cè)器210檢測(cè)的第一蒸發(fā)速率和第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率進(jìn)行比對(duì)，當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器210所檢測(cè)的第一蒸發(fā)速率小于第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率時(shí)，為了保持產(chǎn)量和良率，提高蒸發(fā)速率。具體的是，驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)207控制坩堝206進(jìn)行上升運(yùn)動(dòng)，第一加熱絲208固定在殼體220內(nèi)位置不變，升降機(jī)構(gòu)207控制坩堝206進(jìn)行上升運(yùn)動(dòng)，減小坩堝206和第一加熱絲208的距離，比如減小坩堝206頂端至第一加熱絲208底部的距離，或者減小坩堝206中心位置至第一加熱絲208中心位置的距離，需要說(shuō)明的是，本發(fā)明實(shí)施例坩堝和第一加熱絲之間距離的變化是相對(duì)于同一位置而言。從而減小第一加熱絲208和加熱面2051之間的距離，比如減小加熱面2051至第一加熱絲208底部的距離，或者減小加熱面2051至第一加熱絲208中心位置的距離，需要說(shuō)明的是，本發(fā)明實(shí)施例加熱面和第一加熱絲之間距離的變化是相對(duì)于同一位置而言。使得第一加熱絲208為加熱面2051的加熱效果更好，甚至第一加熱絲208通過(guò)加熱面2051逐漸向坩堝206內(nèi)部深入，進(jìn)而深入到蒸發(fā)材料205中，這樣進(jìn)一步增加了第一加熱絲208和蒸發(fā)材料205的加熱面積，從而增加蒸發(fā)材料205的蒸發(fā)速率以達(dá)到第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率。

當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器210所檢測(cè)的第一蒸發(fā)速率大于第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率時(shí)，為了保持產(chǎn)量和良率，需要降低蒸發(fā)速率；具體的是，驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)207控制坩堝206進(jìn)行下降運(yùn)動(dòng)，升降機(jī)構(gòu)207控制第一加熱絲208和坩堝206的距離逐漸變大，從而增加第一加熱絲208和加熱面2051之間的距離，使得第一加熱絲208為加熱面2051的加熱效果變差，降低蒸發(fā)材料205的蒸發(fā)速率以降低到第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率。

其中，第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率為提前設(shè)定的蒸發(fā)速率，其可以根據(jù)具體需求進(jìn)行更改。

綜上可知，本發(fā)明第二實(shí)施例通過(guò)第一檢測(cè)器210對(duì)坩堝206位置處蒸發(fā)速率的檢測(cè)，并及時(shí)反饋到升降機(jī)構(gòu)207，以便升降機(jī)構(gòu)207做出調(diào)整來(lái)控制坩堝206做出相應(yīng)的運(yùn)動(dòng)，從而通過(guò)第一加熱絲208更加及時(shí)、準(zhǔn)確的控制蒸發(fā)材料的蒸發(fā)速率，進(jìn)一步提高OLED器件的產(chǎn)量和良率，改善OLED器件的性能。

在本發(fā)明第二實(shí)施例的蒸發(fā)源中，所述蒸發(fā)源200還包括固定在所述坩堝206內(nèi)的用于為所述蒸發(fā)材料205加熱的第二加熱絲209，當(dāng)蒸發(fā)材料205置于坩堝206內(nèi)時(shí)，蒸發(fā)材料205覆蓋住第二加熱絲209，第二加熱絲209位于加熱面2051內(nèi)。第二加熱絲209用于為坩堝206內(nèi)部的蒸發(fā)材料205進(jìn)行預(yù)加熱。

具體的是，第一加熱絲208為處于加熱面2051處的蒸發(fā)材料205加熱，以使得加熱面2051處的蒸發(fā)材料205受熱而蒸發(fā)；第二加熱絲209為坩堝206內(nèi)部的蒸發(fā)材料205進(jìn)行預(yù)加熱絲，當(dāng)加熱面2051處的蒸發(fā)材料205逐漸被蒸發(fā)，通過(guò)升降機(jī)構(gòu)207控制坩堝206上升，第一加熱絲208保持為蒸發(fā)材料205的加熱面2051位置加熱，由于有第二加熱絲209為坩堝206內(nèi)部的蒸發(fā)材料205進(jìn)行預(yù)加熱，以便第一加熱絲208對(duì)加熱面2051加熱而使得蒸發(fā)材料205蒸發(fā)。

本發(fā)明第二實(shí)施例中，由于第二加熱絲209固定在坩堝206內(nèi)，升降機(jī)構(gòu)207控制坩堝206運(yùn)動(dòng)時(shí)，第二加熱絲209跟隨坩堝206的運(yùn)動(dòng)而運(yùn)動(dòng)。

其中，第二加熱絲209的加熱溫度設(shè)置可以小于第一加熱絲208的加熱溫度，從而使得第二加熱絲209為坩堝206內(nèi)的蒸發(fā)材料205預(yù)加熱效果更好，且不會(huì)使得坩堝206內(nèi)的蒸發(fā)材料205因長(zhǎng)時(shí)間高溫度預(yù)加熱而裂解。需要說(shuō)明的是，第二加熱絲209可以持續(xù)性的為坩堝206內(nèi)的蒸發(fā)材料205預(yù)加熱，也可以間隔性的為坩堝206內(nèi)的蒸發(fā)材料205預(yù)加熱。

在本發(fā)明第二實(shí)施例中，所述蒸發(fā)源還包括第三加熱絲204，所述第三加熱絲204固定在所述傳輸腔203內(nèi)，用于為處于所述傳輸腔203中的氣體加熱，通過(guò)第三加熱絲204對(duì)蒸發(fā)材料205的蒸發(fā)氣體進(jìn)行二次加熱，提高蒸發(fā)源200內(nèi)部的飽和蒸氣壓，使蒸發(fā)材料205所形成的蒸發(fā)氣體從噴嘴201噴出時(shí)更加均勻，且提高蒸發(fā)氣體的溫度，不易在噴嘴201形成結(jié)晶，避免堵塞問(wèn)題。

具體的，所述第三加熱絲204一部分設(shè)置在所述第一傳輸腔2031內(nèi)，所述第三加熱絲204另一部分設(shè)置在所述第二傳輸腔2032內(nèi)。且位于所述第二傳輸腔2032內(nèi)的所述第三加熱絲204一部分纏繞所述內(nèi)板202設(shè)置。

參見(jiàn)圖4，本發(fā)明第二實(shí)施例蒸發(fā)源對(duì)蒸發(fā)材料的蒸發(fā)具體流程是通過(guò)第一檢測(cè)器210安裝在坩堝206位置處，對(duì)坩堝206位置處蒸發(fā)速率進(jìn)行檢測(cè)，根據(jù)檢測(cè)結(jié)果驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)207控制坩堝206運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而控制蒸發(fā)速率。下面對(duì)具體流程進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明：

將蒸發(fā)材料放置于所述坩堝206內(nèi)，第一加熱絲208為處于加熱面2051處的蒸發(fā)材料加熱，以使得加熱面2051處的蒸發(fā)材料受熱而蒸發(fā)形成蒸發(fā)氣體，并通過(guò)坩堝206、傳輸腔203、第一檢測(cè)通道223傳輸至噴嘴201，蒸發(fā)氣體從噴嘴201位置向外噴出。

首先，蒸發(fā)氣體通過(guò)坩堝206到達(dá)傳輸腔203內(nèi)，傳輸腔203內(nèi)的第三加熱絲204為蒸發(fā)氣體進(jìn)行二次加熱，提高蒸發(fā)源200內(nèi)部的飽和蒸氣壓，使蒸發(fā)材料所形成的蒸發(fā)氣體從噴嘴201噴出時(shí)更加均勻，且提高蒸發(fā)氣體的溫度，不易在噴嘴201形成結(jié)晶，避免堵塞問(wèn)題。

然后，蒸發(fā)氣體通過(guò)第一檢測(cè)通道223，位于第一檢測(cè)通道223位置的第一檢測(cè)器210檢測(cè)蒸發(fā)氣體的蒸發(fā)速率，并與第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率進(jìn)行比對(duì)，根據(jù)比對(duì)結(jié)果驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)207控制坩堝206運(yùn)動(dòng)。具體的運(yùn)動(dòng)方式為：

當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器210所檢測(cè)的第一蒸發(fā)速率小于第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率時(shí)，為了保持產(chǎn)量和良率，提高蒸發(fā)速率。更具體的是，驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)207控制坩堝206進(jìn)行上升運(yùn)動(dòng)，第一加熱絲208固定在殼體內(nèi)位置不變，升降機(jī)構(gòu)207控制坩堝206上升，減小坩堝206和第一加熱絲208的距離，從而減小第一加熱絲208和加熱面2051之間的距離，使得第一加熱絲208為加熱面2051的加熱效果更好，甚至第一加熱絲208通過(guò)加熱面2051逐漸向坩堝206內(nèi)部深入，進(jìn)而深入到蒸發(fā)材料中，這樣進(jìn)一步增加了第一加熱絲208和蒸發(fā)材料的加熱面2051積，從而增加蒸發(fā)材料的蒸發(fā)速率以達(dá)到第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率。

當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器210所檢測(cè)的第一蒸發(fā)速率大于第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率時(shí)，為了保持產(chǎn)量和良率，需要降低蒸發(fā)速率；更具體的是，驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)207控制坩堝206進(jìn)行下降運(yùn)動(dòng)，升降機(jī)構(gòu)207控制第一加熱絲208和坩堝206的距離逐漸變大，從而增加第一加熱絲208和加熱面2051之間的距離，使得第一加熱絲208為加熱面2051的加熱效果變差，降低蒸發(fā)材料的蒸發(fā)速率以降低到第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率。

再然后，第一加熱絲208不斷為加熱面2051加熱，使得加熱面2051位置的蒸發(fā)材料逐漸被蒸發(fā)，通過(guò)第二加熱絲209為坩堝206內(nèi)部的蒸發(fā)材料進(jìn)行預(yù)加熱絲，再通過(guò)升降機(jī)構(gòu)207控制坩堝206上升，第一加熱絲208可繼續(xù)為蒸發(fā)材料的加熱面2051位置加熱以保持蒸發(fā)速率，由于有第二加熱絲209為坩堝206內(nèi)部的蒸發(fā)材料進(jìn)行預(yù)加熱，以便第一加熱絲208對(duì)加熱面2051加熱而使得蒸發(fā)材料蒸發(fā)，確保蒸發(fā)材料的蒸發(fā)速率。

因此，本發(fā)明第二實(shí)施例通過(guò)將第一檢測(cè)器210的檢測(cè)結(jié)果及時(shí)反饋到升降機(jī)構(gòu)207，升降機(jī)構(gòu)207控制坩堝206運(yùn)動(dòng)，更加及時(shí)、準(zhǔn)確地改變位于坩堝206中蒸發(fā)材料所形成的加熱面2051和第一加熱絲208兩者之間距離，更加及時(shí)、準(zhǔn)確地控制第一加熱絲208為加熱面2051進(jìn)行加熱的加熱效率，進(jìn)而更加及時(shí)、準(zhǔn)確地控制蒸發(fā)材料的蒸發(fā)速率，防止第一加熱絲208長(zhǎng)時(shí)間為蒸發(fā)材料進(jìn)行加熱而產(chǎn)生裂解，進(jìn)一步提高OLED器件的產(chǎn)量和良率，進(jìn)一步改善OLED器件的性能。

如圖5所示，圖5是本發(fā)明蒸發(fā)源的第三實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖，本發(fā)明第三實(shí)施例的蒸發(fā)源300包括：殼體320、內(nèi)板302、坩堝306、噴嘴301、第一加熱絲308、升降機(jī)構(gòu)307和第二檢測(cè)器311。

本發(fā)明第三實(shí)施例是在本發(fā)明第二實(shí)施例的基礎(chǔ)上進(jìn)行的改進(jìn)，本發(fā)明第三實(shí)施例與本發(fā)明第二實(shí)施例的區(qū)別在于：本發(fā)明第三實(shí)施例的第二檢測(cè)器311設(shè)置在噴嘴301位置處，本發(fā)明第二實(shí)施例中的第一檢測(cè)器設(shè)置在坩堝位置處；本發(fā)明第三實(shí)施例采用第二檢測(cè)器311替代第一檢測(cè)器。

本發(fā)明第三實(shí)施例中內(nèi)板302、坩堝306、噴嘴301、第一加熱絲308、升降機(jī)構(gòu)307、第二加熱絲309、第三加熱絲304分別與本發(fā)明第二實(shí)施例中的內(nèi)板202、坩堝206、噴嘴201、第一加熱絲208、升降機(jī)構(gòu)207、第二加熱絲209、第三加熱絲204結(jié)構(gòu)及效果相同，在此不再贅述。

其中，本發(fā)明第三實(shí)施例殼體320和本發(fā)明第二實(shí)施例殼體220的區(qū)別在于，本發(fā)明第三實(shí)施例的殼體320未設(shè)置有第一檢測(cè)通道。本發(fā)明第三實(shí)施例殼體320的第一端321、第二端322、傳輸腔303的第一傳輸腔3031以及第二傳輸腔3032分別與本發(fā)明第二實(shí)施例殼體的第一端221、第二端222、傳輸腔203的第一傳輸腔2031以及第二傳輸腔2032結(jié)構(gòu)和效果相同，在此不再贅述。

且當(dāng)將蒸發(fā)材料305放置于坩堝306內(nèi)時(shí)，蒸發(fā)材料在坩堝305內(nèi)形成加熱面3051。

具體的，所述第二檢測(cè)器311設(shè)置在所述噴嘴301位置處，用于檢測(cè)所述噴嘴301噴射氣體的速率(在此定義為第二蒸發(fā)速率)；當(dāng)所述第二檢測(cè)器311檢測(cè)到所述噴嘴301噴射氣體的第二蒸發(fā)速率與第二預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率不同時(shí)，驅(qū)動(dòng)所述升降機(jī)構(gòu)307控制所述坩堝306運(yùn)動(dòng)。

本發(fā)明第三實(shí)施例根據(jù)第二檢測(cè)器311檢測(cè)的第二蒸發(fā)速率和第二預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率進(jìn)行比對(duì)，當(dāng)?shù)诙z測(cè)器311所檢測(cè)的第二蒸發(fā)速率小于第二預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率時(shí)，為了保持產(chǎn)量和良率，提高蒸發(fā)速率。更具體的是，驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)307控制坩堝306進(jìn)行上升運(yùn)動(dòng)，第一加熱絲308固定在殼體320內(nèi)位置不變，升降機(jī)構(gòu)307控制坩堝306進(jìn)行上升運(yùn)動(dòng)，減小坩堝306和第一加熱絲308的距離，比如減小坩堝306頂端至第一加熱絲308底部的距離，或者減小坩堝306中心位置至第一加熱絲308中心位置的距離，需要說(shuō)明的是，本發(fā)明實(shí)施例坩堝和第一加熱絲之間距離的變化是相對(duì)于同一位置而言。從而減小第一加熱絲308和加熱面3051之間的距離，比如減小加熱面3051至第一加熱絲308底部的距離，或者減小加熱面3051至第一加熱絲308中心位置的距離，需要說(shuō)明的是，本發(fā)明實(shí)施例加熱面和第一加熱絲之間距離的變化是相對(duì)于同一位置而言。使得第一加熱絲308為加熱面3051的加熱效果更好，甚至第一加熱絲308通過(guò)加熱面3051逐漸向坩堝306內(nèi)部深入，進(jìn)而深入到蒸發(fā)材料中，這樣進(jìn)一步增加了第一加熱絲308和蒸發(fā)材料的加熱面3051積，從而增加蒸發(fā)材料的蒸發(fā)速率以達(dá)到第二預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率。

當(dāng)?shù)诙z測(cè)器311所檢測(cè)的第二蒸發(fā)速率大于第二預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率時(shí)，為了保持產(chǎn)量和良率，需要降低蒸發(fā)速率；具體的是，驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)307控制坩堝306進(jìn)行下降運(yùn)動(dòng)，升降機(jī)構(gòu)307控制第一加熱絲308和坩堝306的距離逐漸變大，從而增加第一加熱絲308和加熱面3051之間的距離，使得第一加熱絲308為加熱面3051的加熱效果變差，降低蒸發(fā)材料的蒸發(fā)速率以降低到第二預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率。

其中，第二預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率為提前設(shè)定的蒸發(fā)速率，其可以根據(jù)具體需求進(jìn)行更改。

同樣，本發(fā)明第三實(shí)施例通過(guò)將第二檢測(cè)器311的檢測(cè)結(jié)果及時(shí)反饋到升降機(jī)構(gòu)307，升降機(jī)構(gòu)307控制坩堝306運(yùn)動(dòng)，更加及時(shí)、準(zhǔn)確地改變位于坩堝306中蒸發(fā)材料所形成的加熱面3051和第一加熱絲308兩者之間距離，更加及時(shí)、準(zhǔn)確地控制第一加熱絲308為加熱面3051進(jìn)行加熱的加熱效率，進(jìn)而更加及時(shí)、準(zhǔn)確地控制蒸發(fā)材料305的蒸發(fā)速率，防止第一加熱絲308長(zhǎng)時(shí)間為蒸發(fā)材料進(jìn)行加熱而產(chǎn)生裂解，進(jìn)一步提高OLED器件的產(chǎn)量和良率，進(jìn)一步改善OLED器件的性能。

另外，由于第二檢測(cè)器311設(shè)置在噴嘴301位置處，噴嘴301位置更靠近基板，當(dāng)控制噴嘴301位置處的蒸發(fā)氣體速率能夠得到更加及時(shí)、準(zhǔn)確的控制，從而使得噴嘴301噴出的蒸發(fā)氣體在基板上成膜更加均勻，效果更好。

參見(jiàn)圖5，本發(fā)明第三實(shí)施例中，蒸發(fā)源對(duì)蒸發(fā)材料的蒸發(fā)具體流程與本發(fā)明第二實(shí)施例中蒸發(fā)源對(duì)蒸發(fā)材料的蒸發(fā)具體流程的區(qū)別在于：本發(fā)明第三實(shí)施例中的蒸發(fā)源通過(guò)位于噴嘴位置的第二檢測(cè)器檢測(cè)蒸發(fā)速率，具體參見(jiàn)本發(fā)明第二實(shí)施例，在此不再贅述。

如圖6所示，圖6是本發(fā)明蒸發(fā)源的第四實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖，本發(fā)明第四實(shí)施例的蒸發(fā)源400包括：殼體420、內(nèi)板402、坩堝406、噴嘴401、第一加熱絲408、升降機(jī)構(gòu)407、第一檢測(cè)器410、第二檢測(cè)器411。

本發(fā)明第四實(shí)施例是在本發(fā)明第二實(shí)施例和第三實(shí)施例的基礎(chǔ)上進(jìn)行的改進(jìn)，本發(fā)明第四實(shí)施例與本發(fā)明第二實(shí)施例的區(qū)別在于：本發(fā)明第四實(shí)施例的蒸發(fā)源400還包括有設(shè)置在噴嘴401位置處的第二檢測(cè)器411，本發(fā)明第二實(shí)施例中未設(shè)置有第二檢測(cè)器。

本發(fā)明第四實(shí)施例中內(nèi)板402、坩堝406、噴嘴401、第一加熱絲408、升降機(jī)構(gòu)407、第二加熱絲409、第三加熱絲404、第一檢測(cè)器410分別與本發(fā)明第二實(shí)施例中的內(nèi)板202、坩堝206、噴嘴201、第一加熱絲208、升降機(jī)構(gòu)207、第二加熱絲209、第三加熱絲204、第一檢測(cè)器210結(jié)構(gòu)及效果相同，在此不再贅述。

以及本發(fā)明第四實(shí)施例殼體420的第一端421、第二端422、傳輸腔403的第一傳輸腔4031以及第二傳輸腔4032分別與本發(fā)明第二實(shí)施例殼體的第一端221、第二端222、傳輸腔203的第一傳輸腔2031以及第二傳輸腔2032結(jié)構(gòu)和效果相同，在此不再贅述。

且當(dāng)將蒸發(fā)材料405放置于坩堝406內(nèi)時(shí)，蒸發(fā)材料在坩堝內(nèi)形成加熱面4051。

本發(fā)明第四實(shí)施例中，當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器410所檢測(cè)的第一蒸發(fā)速率小于第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率，且第二檢測(cè)器411所檢測(cè)的第二蒸發(fā)速率小于第二預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率時(shí)，驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)407控制坩堝406進(jìn)行上升運(yùn)動(dòng)，以提高蒸發(fā)速率，確保產(chǎn)量和良率。

以及當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器410所檢測(cè)的第一蒸發(fā)速率大于第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率，且第二檢測(cè)器411所檢測(cè)的第二蒸發(fā)速率大于第二預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率時(shí)，驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)407控制坩堝406進(jìn)行下降運(yùn)動(dòng)，以降低蒸發(fā)速率。

當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器410的檢測(cè)結(jié)果和第二檢測(cè)器411的檢測(cè)結(jié)果不同時(shí)，以第二檢測(cè)器411的檢測(cè)結(jié)果為準(zhǔn)，由于，第二檢測(cè)器411設(shè)置在噴嘴位置處，這樣就能夠確保從噴嘴位置向外噴出的蒸發(fā)氣體均勻，防止其影響OLED的產(chǎn)量和良率。

進(jìn)一步的，當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器410和第二檢測(cè)器411的檢測(cè)結(jié)果不同時(shí)，發(fā)出第一檢測(cè)器410和第二檢測(cè)器411的檢測(cè)結(jié)果不同的警報(bào)，進(jìn)行提示，以便工作人員對(duì)進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)檢查和維修。

以上僅是本發(fā)明第四實(shí)施例中第一檢測(cè)器410和第二檢測(cè)器411共同工作的一種方式，當(dāng)然，本發(fā)明第四實(shí)施例中第一檢測(cè)器410和第二檢測(cè)器411還可以采用其他工作方式，比如：當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器410和第二檢測(cè)器411的檢測(cè)結(jié)果不同時(shí)，以第一檢測(cè)器410的檢測(cè)結(jié)果為準(zhǔn)。

具體檢測(cè)結(jié)果不同是：第一檢測(cè)器410所檢測(cè)的第一蒸發(fā)速率小于第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率，第二檢測(cè)器411所檢測(cè)的第二蒸發(fā)速率大于第二預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率；或第一檢測(cè)器410所檢測(cè)的第一蒸發(fā)速率大于第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率，第二檢測(cè)器411所檢測(cè)的第二蒸發(fā)速率小于第二預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率。

同樣，本發(fā)明第四實(shí)施例通過(guò)將第一檢測(cè)器410和第二檢測(cè)器411的檢測(cè)結(jié)果及時(shí)反饋到升降機(jī)構(gòu)407，升降機(jī)構(gòu)407控制坩堝406運(yùn)動(dòng)，更加及時(shí)、準(zhǔn)確地改變位于坩堝406中蒸發(fā)材料405所形成的加熱絲4051和第一加熱絲408兩者之間距離，更加及時(shí)、準(zhǔn)確地控制第一加熱絲408為加熱絲4051進(jìn)行加熱的加熱效率，進(jìn)而更加及時(shí)、準(zhǔn)確地控制蒸發(fā)材料405的蒸發(fā)速率，防止第一加熱絲408長(zhǎng)時(shí)間為蒸發(fā)材料405進(jìn)行加熱而產(chǎn)生裂解，進(jìn)一步提高OLED器件的產(chǎn)量和良率，進(jìn)一步改善OLED器件的性能。

另外，由于第一檢測(cè)器410設(shè)置在坩堝406位置處，更靠近蒸發(fā)材料405，當(dāng)控制坩堝406位置處的蒸發(fā)氣體速率能夠得到更加及時(shí)、準(zhǔn)確的控制，從而使得蒸發(fā)材料405產(chǎn)生的蒸發(fā)氣體更加均勻，效果更好。

以及，由于第二檢測(cè)器411設(shè)置在噴嘴位置處，噴嘴位置更靠近基板，當(dāng)控制噴嘴位置處的蒸發(fā)氣體速率能夠得到更加及時(shí)、準(zhǔn)確的控制，從而使得噴嘴噴出的蒸發(fā)氣體在基板上成膜更加均勻，效果更好。

其中，本發(fā)明第四實(shí)施例中蒸發(fā)源對(duì)蒸發(fā)材料的蒸發(fā)具體流程與本發(fā)明第二實(shí)施例中蒸發(fā)源對(duì)蒸發(fā)材料的蒸發(fā)具體流程的區(qū)別在于：本發(fā)明第四實(shí)施例中的蒸發(fā)源通過(guò)位于噴嘴位置的第二檢測(cè)器檢測(cè)蒸發(fā)速率，以及通過(guò)位于第一檢測(cè)通道位置的第一檢測(cè)器檢測(cè)蒸發(fā)速率，兩者共同檢測(cè)，效果更佳。具體流程可參見(jiàn)本發(fā)明第二實(shí)施例，在此不再贅述。

如圖7所示，圖7是本發(fā)明蒸發(fā)源的第五實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖，本發(fā)明第五實(shí)施例的蒸發(fā)源500包括：殼體520、內(nèi)板502、坩堝506、噴嘴501、第一加熱絲508和升降機(jī)構(gòu)507。

其中，所述殼體520包括相對(duì)設(shè)置的第一端521、第二端522以及位于所述第一端521和第二端522之間的傳輸腔503，傳輸腔用于傳輸蒸發(fā)材料被加熱形成蒸發(fā)氣體。所述傳輸腔503包括相互連通的第一傳輸腔5031和第二傳輸腔5032，所述第一傳輸腔5031靠近所述坩堝506，且直接和所述坩堝506連通；所述第二傳輸腔5032靠近所述噴嘴501，且直接和所述噴嘴501連通。

其中，所述內(nèi)板502設(shè)置在所述第二傳輸腔5032內(nèi)。

其中，所述坩堝506用于放置蒸發(fā)材料505，當(dāng)所述蒸發(fā)材料505放置于所述坩堝506內(nèi)時(shí)，所述蒸發(fā)材料505在所述坩堝506內(nèi)的表面形成一加熱面5051；所述坩堝506直接固定在所述殼體520內(nèi)，且位于所述第二端522，所述坩堝506和傳輸腔503連通。

其中，所述噴嘴501用于噴射所述蒸發(fā)材料505蒸發(fā)所形成的氣體，所述噴嘴501設(shè)置在所述第一端521，所述噴嘴501和傳輸腔503連通；噴嘴501和坩堝506之間通過(guò)傳輸腔503連通，坩堝內(nèi)蒸發(fā)材料受熱形成蒸發(fā)氣體通過(guò)傳輸腔503傳輸?shù)絿娮?01處，并通過(guò)噴嘴501向外噴出。

其中，所述第一加熱絲508用于對(duì)所述加熱面5051加熱，所述第一加熱絲508設(shè)置在所述殼體內(nèi)，且所述第一加熱絲508位于所述坩堝506和噴嘴501之間；通過(guò)第一加熱絲508對(duì)放置于坩堝506內(nèi)蒸發(fā)材料的加熱面5051進(jìn)行加熱，第一加熱絲508位于坩堝506和噴嘴501之間，以便位于加熱面5051處的蒸發(fā)材料505受熱蒸發(fā)，通過(guò)坩堝506、傳輸腔503達(dá)到噴嘴501向外噴射，從而防止位于坩堝506內(nèi)部(位于坩堝內(nèi)且處于加熱面以下的蒸發(fā)材料)的蒸發(fā)材料長(zhǎng)時(shí)間加熱而裂解。

其中，所述升降機(jī)構(gòu)507可活動(dòng)的連接在所述殼體520上，所述升降機(jī)構(gòu)507和坩堝506固定連接，所述升降機(jī)構(gòu)507通過(guò)和所述殼體520的可活動(dòng)連接控制所述第一加熱絲508運(yùn)動(dòng)，使得所述第一加熱絲508和加熱面5051兩者的位置產(chǎn)生變化，以改變所述第一加熱絲508對(duì)所述蒸發(fā)材料505加熱而產(chǎn)生的蒸發(fā)速率。

進(jìn)一步的，本發(fā)明優(yōu)選的實(shí)施例升降機(jī)構(gòu)507和殼體520的可活動(dòng)連接可以采用滑軌和滑槽配合的方式實(shí)現(xiàn)可活動(dòng)，比如：殼體上設(shè)置有滑槽，升降機(jī)構(gòu)設(shè)置有用于放置到殼體滑槽內(nèi)的滑軌，且升降機(jī)構(gòu)的滑軌可在殼體滑槽內(nèi)滑動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)升降機(jī)構(gòu)和殼體的可活動(dòng)連接。

當(dāng)然，本發(fā)明第五實(shí)施例殼體和升降機(jī)構(gòu)也可以采用其他可活動(dòng)連接方式，比如：

殼體和升降機(jī)構(gòu)采用銷(xiāo)釘和銷(xiāo)孔的方式可活動(dòng)連接，具體的，殼體上設(shè)置多個(gè)間隔布置的銷(xiāo)孔，升降機(jī)構(gòu)上設(shè)置用于插入到殼體銷(xiāo)孔內(nèi)的銷(xiāo)釘，通過(guò)調(diào)整銷(xiāo)釘插入到不同位置的銷(xiāo)孔內(nèi)來(lái)實(shí)現(xiàn)升降機(jī)構(gòu)和殼體之間的可活動(dòng)連接。

再比如：殼體和升降機(jī)構(gòu)采用齒輪或齒輪和傳動(dòng)帶配合連接，通過(guò)兩個(gè)或多個(gè)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)升降機(jī)構(gòu)和殼體之間的可活動(dòng)連接。

其中，升降機(jī)構(gòu)507控制第一加熱絲508進(jìn)行上升運(yùn)動(dòng)或下降運(yùn)動(dòng)為：所述升降機(jī)構(gòu)507控制所述第一加熱絲508運(yùn)動(dòng)的方向與所述加熱面5051垂直。當(dāng)然，需要說(shuō)明的是，升降機(jī)構(gòu)控制第一加熱絲上升運(yùn)動(dòng)或下降運(yùn)動(dòng)，也可以和加熱面傾斜方向，也就是第一加熱絲運(yùn)動(dòng)方向和加熱面形成有夾角。

本發(fā)明第五實(shí)施例通過(guò)升降機(jī)構(gòu)507控制第一加熱絲508運(yùn)動(dòng)，以改變坩堝506和第一加熱絲508兩者之間的距離，同時(shí)，使得第一加熱絲508和加熱面5051兩者的位置產(chǎn)生變化，進(jìn)而改變所述第一加熱絲508對(duì)所述蒸發(fā)材料505加熱而產(chǎn)生的蒸發(fā)速率。從而，本發(fā)明第五實(shí)施例不僅防止蒸發(fā)材料505因長(zhǎng)時(shí)間加熱而裂解，而且便于控制蒸發(fā)速率，進(jìn)一步提高OLED器件的產(chǎn)量和良率，改善OLED器件的性能。

在本發(fā)明第五實(shí)施例中，本發(fā)明第五實(shí)施例蒸發(fā)源對(duì)蒸發(fā)材料505的蒸發(fā)具體流程如下：

將蒸發(fā)材料505放置于所述坩堝506內(nèi)，第一加熱絲508為處于加熱面5051處的蒸發(fā)材料505加熱，以使得加熱面5051處的蒸發(fā)材料505受熱而蒸發(fā)形成蒸發(fā)氣體，并通過(guò)坩堝506、傳輸腔傳輸至噴嘴501，蒸發(fā)氣體從噴嘴501位置向外噴出。

首先，蒸發(fā)氣體通過(guò)坩堝506到達(dá)傳輸腔503內(nèi)。

然后，根據(jù)蒸發(fā)氣體的速率大小，驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)507控制坩堝506運(yùn)動(dòng)。具體的運(yùn)動(dòng)方式為：

當(dāng)蒸發(fā)速率較小時(shí)，或者預(yù)先設(shè)定一第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率，該第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率能夠保持產(chǎn)量和良率。也就是當(dāng)蒸發(fā)速率小于第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率時(shí)，為了保持產(chǎn)量和良率，提高蒸發(fā)速率。

更具體的是，驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)507控制坩堝506進(jìn)行上升運(yùn)動(dòng)，第一加熱絲508固定在殼體內(nèi)位置不變，升降機(jī)構(gòu)507控制坩堝506上升，減小坩堝506和第一加熱絲508的距離，比如減小坩堝506頂端至第一加熱絲508底部的距離，或者減小坩堝506中心位置至第一加熱絲508中心位置的距離，需要說(shuō)明的是，本發(fā)明實(shí)施例坩堝和第一加熱絲之間距離的變化是相對(duì)于同一位置而言。從而減小第一加熱絲508和加熱面5051之間的距離，比如減小加熱面5051至第一加熱絲508底部的距離，或者減小加熱面5051至第一加熱絲508中心位置的距離，需要說(shuō)明的是，本發(fā)明實(shí)施例加熱面和第一加熱絲之間距離的變化是相對(duì)于同一位置而言。使得第一加熱絲508為加熱面5051的加熱效果更好，甚至第一加熱絲508通過(guò)加熱面5051逐漸向坩堝506內(nèi)部深入，進(jìn)而深入到蒸發(fā)材料505中，這樣進(jìn)一步增加了第一加熱絲508和蒸發(fā)材料505的加熱面5051積，從而增加蒸發(fā)材料505的蒸發(fā)速率以達(dá)到第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率。

當(dāng)蒸發(fā)速率較大，或者說(shuō)蒸發(fā)速率大于第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率時(shí)，為了保持產(chǎn)量和良率，需要降低蒸發(fā)速率。

更具體的是，驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)507控制坩堝506進(jìn)行下降運(yùn)動(dòng)，升降機(jī)構(gòu)507控制第一加熱絲508和坩堝506的距離逐漸變大，從而增加第一加熱絲508和加熱面5051之間的距離，使得第一加熱絲508為加熱面5051的加熱效果變差，降低蒸發(fā)材料505的蒸發(fā)速率以降低到第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率。

其提高OLED器件的產(chǎn)量和良率，改善OLED器件的性能。

如圖8所示，圖8是本發(fā)明蒸發(fā)源的第六實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖，本發(fā)明第六實(shí)施例的蒸發(fā)源600包括：殼體620、內(nèi)板602、坩堝606、噴嘴601、第一加熱絲608、升降機(jī)構(gòu)607和第一檢測(cè)器610。

其中，本發(fā)明第六實(shí)施例的坩堝606與本發(fā)明第五實(shí)施例的坩堝506結(jié)構(gòu)相同，本發(fā)明第六實(shí)施例的內(nèi)板602與本發(fā)明第五實(shí)施例的內(nèi)板502結(jié)構(gòu)相同，本發(fā)明第六實(shí)施例的噴嘴601與本發(fā)明第五實(shí)施例的噴嘴101結(jié)構(gòu)相同，本發(fā)明第六實(shí)施例的第一加熱絲608與本發(fā)明第五實(shí)施例的第一加熱絲508結(jié)構(gòu)相同，本發(fā)明第六實(shí)施例的升降機(jī)構(gòu)607與本發(fā)明第五實(shí)施例的升降機(jī)構(gòu)507結(jié)構(gòu)和效果相同，在此不再贅述。

本發(fā)明第六實(shí)施例在第五實(shí)施例的基礎(chǔ)上進(jìn)行的改進(jìn)，本發(fā)明第六實(shí)施例與第五實(shí)施例的區(qū)別在于：本發(fā)明第六實(shí)施例還包括第一檢測(cè)器610。

進(jìn)一步的，本發(fā)明第六實(shí)施例與第五實(shí)施例的區(qū)別還在于：本發(fā)明第六實(shí)施例的殼體620上設(shè)置有第一檢測(cè)通道623，且本發(fā)明第六實(shí)施例的殼體620的第一端621、第二端622、傳輸腔603的第一傳輸腔6031及第二傳輸腔6032分別與本發(fā)明第五實(shí)施例的殼體520的第一端521、第二端522、傳輸腔503的第一傳輸腔5031及第二傳輸腔5032的結(jié)構(gòu)和效果相同，在此不再贅述。

其中，所述第一檢測(cè)器610設(shè)置在所述坩堝606位置處的殼體上，用于檢測(cè)所述坩堝606位置處的蒸發(fā)速率(在此定義為第一蒸發(fā)速率)；當(dāng)所述第一檢測(cè)器610檢測(cè)到所述坩堝606位置處的第一蒸發(fā)速率與第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率不同時(shí)，驅(qū)動(dòng)所述升降機(jī)構(gòu)607控制所述第一加熱絲608運(yùn)動(dòng)。

具體的，所述第一檢測(cè)器610設(shè)置在所述第一檢測(cè)通道623位置，所述第一檢測(cè)通道623和第一傳輸腔6031連通，且所述第一檢測(cè)通道623從所述第一傳輸腔6031向外延伸形成。

本發(fā)明第六實(shí)施例根據(jù)第一檢測(cè)器610檢測(cè)的第一蒸發(fā)速率和第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率進(jìn)行比對(duì)，當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器610所檢測(cè)的第一蒸發(fā)速率小于第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率時(shí)，為了保持產(chǎn)量和良率，提高蒸發(fā)速率。具體的是，驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)607控制第一加熱絲608進(jìn)行下降運(yùn)動(dòng)，減小坩堝606和第一加熱絲608的距離，比如減小坩堝606頂端至第一加熱絲608底部的距離，或者減小坩堝606中心位置至第一加熱絲608中心位置的距離，需要說(shuō)明的是，本發(fā)明實(shí)施例坩堝和第一加熱絲之間距離的變化是相對(duì)于同一位置而言。從而減小第一加熱絲608和加熱面6051之間的距離，比如減小加熱面6051至第一加熱絲608底部的距離，或者減小加熱面6051至第一加熱絲608中心位置的距離，需要說(shuō)明的是，本發(fā)明實(shí)施例加熱面和第一加熱絲之間距離的變化是相對(duì)于同一位置而言。使得第一加熱絲608為加熱面6051的加熱效果更好，甚至第一加熱絲608通過(guò)加熱面6051逐漸向坩堝606內(nèi)部深入，進(jìn)而深入到蒸發(fā)材料605中，這樣進(jìn)一步增加了第一加熱絲608和蒸發(fā)材料605的加熱面6051積，從而增加蒸發(fā)材料605的蒸發(fā)速率以達(dá)到第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率。

當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器610所檢測(cè)的第一蒸發(fā)速率大于第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率時(shí)，為了保持產(chǎn)量和良率，需要降低蒸發(fā)速率；具體的是，驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)607控制第一加熱絲608進(jìn)行上升運(yùn)動(dòng)，升降機(jī)構(gòu)607控制第一加熱絲608和坩堝606的距離逐漸變大，從而增加第一加熱絲608和加熱面6051之間的距離，使得第一加熱絲608為加熱面6051的加熱效果變差，降低蒸發(fā)材料605的蒸發(fā)速率以降低到第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率。

其中，第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率為提前設(shè)定的蒸發(fā)速率，其可以根據(jù)具體需求進(jìn)行更改。

綜上可知，本發(fā)明第六實(shí)施例通過(guò)第一檢測(cè)器610對(duì)坩堝606位置處蒸發(fā)速率的檢測(cè)，并及時(shí)反饋到升降機(jī)構(gòu)607，以便升降機(jī)構(gòu)607做出調(diào)整來(lái)控制第一加熱絲608做出相應(yīng)的運(yùn)動(dòng)，從而通過(guò)第一加熱絲608更加及時(shí)、準(zhǔn)確的控制蒸發(fā)材料605的蒸發(fā)速率，進(jìn)一步提高OLED器件的產(chǎn)量和良率，改善OLED器件的性能。

在本發(fā)明第六實(shí)施例的蒸發(fā)源中，所述蒸發(fā)源還包括固定在所述坩堝606內(nèi)的用于為所述蒸發(fā)材料605加熱的第二加熱絲609，當(dāng)蒸發(fā)材料置于坩堝606內(nèi)時(shí)，蒸發(fā)材料605覆蓋住第二加熱絲609，第二加熱絲609位于加熱面6051內(nèi)。第二加熱絲604用于為坩堝606內(nèi)部的蒸發(fā)材料605進(jìn)行預(yù)加熱。

具體的是，第一加熱絲608為處于加熱面6051處的蒸發(fā)材料605加熱，以使得加熱面6051處的蒸發(fā)材料605受熱而蒸發(fā)；第二加熱絲604為坩堝606內(nèi)部的蒸發(fā)材料605進(jìn)行預(yù)加熱絲，當(dāng)加熱面6051處的蒸發(fā)材料605逐漸被蒸發(fā)，通過(guò)升降機(jī)構(gòu)607控制坩堝606上升，第一加熱絲608始終為蒸發(fā)材料605的加熱面6051位置加熱，由于有第二加熱絲609為坩堝606內(nèi)部的蒸發(fā)材料605進(jìn)行預(yù)加熱，以便第一加熱絲608對(duì)加熱面6051加熱而使得蒸發(fā)材料605蒸發(fā)。

其中，第二加熱絲609的加熱溫度設(shè)置可以小于第一加熱絲608的加熱溫度，從而使得第二加熱絲609為坩堝606內(nèi)的蒸發(fā)材料605預(yù)加熱效果更好，且不會(huì)使得坩堝606內(nèi)的蒸發(fā)材料605因長(zhǎng)時(shí)間高溫度預(yù)加熱而裂解。需要說(shuō)明的是，第二加熱絲609可以持續(xù)性的為坩堝606內(nèi)的蒸發(fā)材料605預(yù)加熱，也可以間隔性的為坩堝606內(nèi)的蒸發(fā)材料605預(yù)加熱。

在本發(fā)明第六實(shí)施例中，所述蒸發(fā)源600還包括第三加熱絲604，所述第三加熱絲604固定在所述傳輸腔603內(nèi)，用于為處于所述傳輸腔603中的氣體加熱，通過(guò)第三加熱絲604對(duì)蒸發(fā)材料605的蒸發(fā)氣體進(jìn)行二次加熱，提高蒸發(fā)源600內(nèi)部的飽和蒸氣壓，使蒸發(fā)材料605所形成的蒸發(fā)氣體從噴嘴噴出時(shí)更加均勻，且提高蒸發(fā)氣體的溫度，不易在噴嘴形成結(jié)晶，避免堵塞問(wèn)題。

具體的，所述第三加熱絲604一部分設(shè)置在所述第一傳輸腔6031內(nèi)，所述第三加熱絲604另一部分設(shè)置在所述第二傳輸腔6032內(nèi)。且位于所述第二傳輸腔6032內(nèi)的所述第三加熱絲604一部分纏繞所述內(nèi)板602設(shè)置。

參見(jiàn)圖8，本發(fā)明第六實(shí)施例蒸發(fā)源對(duì)蒸發(fā)材料605的蒸發(fā)具體流程是通過(guò)第一檢測(cè)器610安裝在坩堝606位置處，對(duì)坩堝606位置處蒸發(fā)速率進(jìn)行檢測(cè)，根據(jù)檢測(cè)結(jié)果驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)607控制坩堝606運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而控制蒸發(fā)速率。下面對(duì)具體流程進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明：

將蒸發(fā)材料605放置于所述坩堝606內(nèi)，第一加熱絲608為處于加熱面6051處的蒸發(fā)材料605加熱，以使得加熱面6051處的蒸發(fā)材料605受熱而蒸發(fā)形成蒸發(fā)氣體，并通過(guò)坩堝606、傳輸腔603、第一檢測(cè)通道623傳輸至噴嘴601，蒸發(fā)氣體從噴嘴601位置向外噴出。

首先，蒸發(fā)氣體通過(guò)坩堝606到達(dá)傳輸腔603內(nèi)，傳輸腔603內(nèi)的第三加熱絲604為蒸發(fā)氣體進(jìn)行二次加熱，提高蒸發(fā)源內(nèi)部的飽和蒸氣壓，使蒸發(fā)材料605所形成的蒸發(fā)氣體從噴嘴601噴出時(shí)更加均勻，且提高蒸發(fā)氣體的溫度，不易在噴嘴601形成結(jié)晶，避免堵塞問(wèn)題。

然后，蒸發(fā)氣體通過(guò)第一檢測(cè)通道623，位于第一檢測(cè)通道623位置的第一檢測(cè)器610檢測(cè)蒸發(fā)氣體的蒸發(fā)速率，并與第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率進(jìn)行比對(duì)，根據(jù)比對(duì)結(jié)果驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)607控制第一加熱絲608運(yùn)動(dòng)具體的運(yùn)動(dòng)方式為：

當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器610所檢測(cè)的第一蒸發(fā)速率小于第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率時(shí)，為了保持產(chǎn)量和良率，提高蒸發(fā)速率。更具體的是，驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)607控制第一加熱絲608進(jìn)行下降運(yùn)動(dòng)，減小坩堝606和第一加熱絲608的距離，從而減小第一加熱絲608和加熱面6051之間的距離，使得第一加熱絲608為加熱面6051的加熱效果更好，甚至第一加熱絲608通過(guò)加熱面6051逐漸向坩堝606內(nèi)部深入，進(jìn)而深入到蒸發(fā)材料605中，這樣進(jìn)一步增加了第一加熱絲608和蒸發(fā)材料605的加熱面6051積，從而增加蒸發(fā)材料605的蒸發(fā)速率以達(dá)到第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率。

當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器610所檢測(cè)的第一蒸發(fā)速率大于第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率時(shí)，為了保持產(chǎn)量和良率，需要降低蒸發(fā)速率；更具體的是，驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)607控制第一加熱絲608機(jī)進(jìn)行上升運(yùn)動(dòng)，升降機(jī)構(gòu)607控制第一加熱絲608和坩堝606的距離逐漸變大，從而增加第一加熱絲608和加熱面6051之間的距離，使得第一加熱絲608為加熱面6051的加熱效果變差，降低蒸發(fā)材料605的蒸發(fā)速率以降低到第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率。

再然后，第一加熱絲608不斷為加熱面6051加熱，使得加熱面6051位置的蒸發(fā)材料605逐漸被蒸發(fā)，通過(guò)第二加熱絲609為坩堝606內(nèi)部的蒸發(fā)材料605進(jìn)行預(yù)加熱絲，再通過(guò)升降機(jī)構(gòu)607控制第一加熱絲608進(jìn)行下降運(yùn)動(dòng)，第一加熱絲608可繼續(xù)為蒸發(fā)材料605的加熱面6051位置加熱以保持蒸發(fā)速率，由于有第二加熱絲609為坩堝606內(nèi)部的蒸發(fā)材料605進(jìn)行預(yù)加熱，以便第一加熱絲608對(duì)加熱面6051加熱而使得蒸發(fā)材料605蒸發(fā)，確保蒸發(fā)材料605的蒸發(fā)速率。

因此，本發(fā)明第六實(shí)施例通過(guò)將第一檢測(cè)器610的檢測(cè)結(jié)果及時(shí)反饋到升降機(jī)構(gòu)607，升降機(jī)構(gòu)607控制第一加熱絲608運(yùn)動(dòng)，更加及時(shí)、準(zhǔn)確地改變位于坩堝606中蒸發(fā)材料605所形成的加熱面6051和第一加熱絲608兩者之間距離，更加及時(shí)、準(zhǔn)確地控制第一加熱絲608為加熱面6051進(jìn)行加熱的加熱效率，進(jìn)而更加及時(shí)、準(zhǔn)確地控制蒸發(fā)材料605的蒸發(fā)速率，防止第一加熱絲608長(zhǎng)時(shí)間為蒸發(fā)材料605進(jìn)行加熱而產(chǎn)生裂解，進(jìn)一步提高OLED器件的產(chǎn)量和良率，進(jìn)一步改善OLED器件的性能。

如圖9所示，圖9是本發(fā)明蒸發(fā)源的第七實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖，本發(fā)明第七實(shí)施例的蒸發(fā)源700包括：殼體720、內(nèi)板702、坩堝706、噴嘴701、第一加熱絲708、升降機(jī)構(gòu)707和第二檢測(cè)器711。

本發(fā)明第七實(shí)施例是在本發(fā)明第六實(shí)施例的基礎(chǔ)上進(jìn)行的改進(jìn)，本發(fā)明第七實(shí)施例與本發(fā)明第六實(shí)施例的區(qū)別在于：本發(fā)明第七實(shí)施例的第二檢測(cè)器711設(shè)置在噴嘴701位置處，本發(fā)明第六實(shí)施例中的第一檢測(cè)器設(shè)置在坩堝位置處；本發(fā)明第七實(shí)施例采用第二檢測(cè)器711替代第一檢測(cè)器。

本發(fā)明第七實(shí)施例中內(nèi)板702、坩堝706、噴嘴701、第一加熱絲708、升降機(jī)構(gòu)707、第二加熱絲709、第三加熱絲704分別與本發(fā)明第六實(shí)施例中的內(nèi)板602、坩堝606、噴嘴601、第一加熱絲608、升降機(jī)構(gòu)607、第二加熱絲609、第三加熱絲604結(jié)構(gòu)及效果相同，在此不再贅述。

其中，本發(fā)明第七實(shí)施例殼體720和本發(fā)明第六實(shí)施例殼體620的區(qū)別在于，本發(fā)明第七實(shí)施例的殼體720未設(shè)置有第一檢測(cè)通道。本發(fā)明第七實(shí)施例殼體720的第一端721、第二端722、傳輸腔703的第一傳輸腔7031以及第二傳輸腔7032分別與本發(fā)明第六實(shí)施例殼體的第一端621、第二端622、傳輸腔603的第一傳輸腔6031以及第二傳輸腔6032結(jié)構(gòu)和效果相同，在此不再贅述。

且當(dāng)將蒸發(fā)材料705放置于坩堝706內(nèi)時(shí)，蒸發(fā)材料705在坩堝706內(nèi)形成加熱面7051。

具體的，所述第二檢測(cè)器711設(shè)置在所述噴嘴701位置處，用于檢測(cè)所述噴嘴701噴射氣體的速率(在此定義為第二蒸發(fā)速率)；當(dāng)所述第二檢測(cè)器711檢測(cè)到所述噴嘴701噴射氣體的第二蒸發(fā)速率與第二預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率不同時(shí)，驅(qū)動(dòng)所述升降機(jī)構(gòu)707控制所述第一加熱絲708運(yùn)動(dòng)。

本發(fā)明第七實(shí)施例根據(jù)第二檢測(cè)器711檢測(cè)的第二蒸發(fā)速率和第二預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率進(jìn)行比對(duì)，當(dāng)?shù)诙z測(cè)器711所檢測(cè)的第二蒸發(fā)速率小于第二預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率時(shí)，為了保持產(chǎn)量和良率，提高蒸發(fā)速率。更具體的是，驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)707控制第一加熱絲708進(jìn)行下降運(yùn)動(dòng)，減小坩堝706和第一加熱絲708的距離，比如減小坩堝706頂端至第一加熱絲708底部的距離，或者減小坩堝706中心位置至第一加熱絲708中心位置的距離，需要說(shuō)明的是，本發(fā)明實(shí)施例坩堝和第一加熱絲之間距離的變化是相對(duì)于同一位置而言。從而減小第一加熱絲708和加熱面7051之間的距離，比如減小加熱面7051至第一加熱絲708底部的距離，或者減小加熱面7051至第一加熱絲708中心位置的距離，需要說(shuō)明的是，本發(fā)明實(shí)施例加熱面和第一加熱絲之間距離的變化是相對(duì)于同一位置而言。使得第一加熱絲708為加熱面7051的加熱效果更好，甚至第一加熱絲708通過(guò)加熱面7051逐漸向坩堝706內(nèi)部深入，進(jìn)而深入到蒸發(fā)材料705中，這樣進(jìn)一步增加了第一加熱絲708和蒸發(fā)材料705的加熱面7051積，從而增加蒸發(fā)材料705的蒸發(fā)速率以達(dá)到第二預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率。

當(dāng)?shù)诙z測(cè)器711所檢測(cè)的第二蒸發(fā)速率大于第二預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率時(shí)，為了保持產(chǎn)量和良率，需要降低蒸發(fā)速率；具體的是，驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)707控制第一加熱絲708進(jìn)行上升運(yùn)動(dòng)，升降機(jī)構(gòu)707控制第一加熱絲708和坩堝706的距離逐漸變大，從而增加第一加熱絲708和加熱面7051之間的距離，使得第一加熱絲708為加熱面7051的加熱效果變差，降低蒸發(fā)材料705的蒸發(fā)速率以降低到第二預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率。

其中，第二預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率為提前設(shè)定的蒸發(fā)速率，其可以根據(jù)具體需求進(jìn)行更改。

同樣，本發(fā)明第七實(shí)施例通過(guò)將第二檢測(cè)器711的檢測(cè)結(jié)果及時(shí)反饋到升降機(jī)構(gòu)707，升降機(jī)構(gòu)707控制第一加熱絲708運(yùn)動(dòng)，更加及時(shí)、準(zhǔn)確地改變位于坩堝706中蒸發(fā)材料705所形成的加熱面7051和第一加熱絲708兩者之間距離，更加及時(shí)、準(zhǔn)確地控制第一加熱絲708為加熱面7051進(jìn)行加熱的加熱效率，進(jìn)而更加及時(shí)、準(zhǔn)確地控制蒸發(fā)材料705的蒸發(fā)速率，防止第一加熱絲708長(zhǎng)時(shí)間為蒸發(fā)材料705進(jìn)行加熱而產(chǎn)生裂解，進(jìn)一步提高OLED器件的產(chǎn)量和良率，進(jìn)一步改善OLED器件的性能。

另外，由于第二檢測(cè)器711設(shè)置在噴嘴701位置處，噴嘴701位置更靠近基板，當(dāng)控制噴嘴701位置處的蒸發(fā)氣體速率能夠得到更加及時(shí)、準(zhǔn)確的控制，從而使得噴嘴701噴出的蒸發(fā)氣體在基板上成膜更加均勻，效果更好。

參見(jiàn)圖9，本發(fā)明第七實(shí)施例中，蒸發(fā)源對(duì)蒸發(fā)材料的蒸發(fā)具體流程與本發(fā)明第六實(shí)施例中蒸發(fā)源對(duì)蒸發(fā)材料的蒸發(fā)具體流程的區(qū)別在于：本發(fā)明第七實(shí)施例中的蒸發(fā)源通過(guò)位于噴嘴位置的第二檢測(cè)器檢測(cè)蒸發(fā)速率，具體參見(jiàn)本發(fā)明第六實(shí)施例，在此不再贅述。

如圖10所示，圖10是本發(fā)明蒸發(fā)源的第八實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖，本發(fā)明第八實(shí)施例的蒸發(fā)源800包括：殼體820、內(nèi)板802、坩堝806、噴嘴801、第一加熱絲808、升降機(jī)構(gòu)807、第一檢測(cè)器810、第二檢測(cè)器811。

本發(fā)明第八實(shí)施例是在本發(fā)明第六實(shí)施例和第七實(shí)施例的基礎(chǔ)上進(jìn)行的改進(jìn)，本發(fā)明第八實(shí)施例與本發(fā)明第六實(shí)施例的區(qū)別在于：本發(fā)明第八實(shí)施例的蒸發(fā)源800還包括有設(shè)置在噴嘴801位置處的第二檢測(cè)器811，本發(fā)明第六實(shí)施例中未設(shè)置有第二檢測(cè)器。

本發(fā)明第八實(shí)施例中內(nèi)板802、坩堝806、噴嘴801、第一加熱絲808、升降機(jī)構(gòu)807、第二加熱絲809、第三加熱絲804、第一檢測(cè)器810分別與本發(fā)明第六實(shí)施例中的內(nèi)板602、坩堝606、噴嘴601、第一加熱絲608、升降機(jī)構(gòu)607、第二加熱絲609、第三加熱絲604、第一檢測(cè)器610結(jié)構(gòu)及效果相同，在此不再贅述。

以及本發(fā)明第八實(shí)施例殼體820的第一端821、第二端822、傳輸腔803的第一傳輸腔8031以及第二傳輸腔8032分別與本發(fā)明第六實(shí)施例殼體的第一端621、第二端622、傳輸腔603的第一傳輸腔6031以及第二傳輸腔6032結(jié)構(gòu)和效果相同，在此不再贅述。

且當(dāng)將蒸發(fā)材料805放置于坩堝806內(nèi)時(shí)，蒸發(fā)材料805在坩堝806內(nèi)形成加熱面8051。

本發(fā)明第八實(shí)施例中，當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器810所檢測(cè)的第一蒸發(fā)速率小于第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率，且第一檢測(cè)器811所檢測(cè)的第二蒸發(fā)速率小于第二預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率時(shí)，驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)807控制第一加熱絲808進(jìn)行下降運(yùn)動(dòng)，以提高蒸發(fā)速率，確保產(chǎn)量和良率。

以及當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器810所檢測(cè)的第一蒸發(fā)速率大于第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率，且第一檢測(cè)器811所檢測(cè)的第二蒸發(fā)速率大于第二預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率時(shí)，驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)807控制第一加熱絲808進(jìn)行上升運(yùn)動(dòng)，以降低蒸發(fā)速率。

當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器810的檢測(cè)結(jié)果和第一檢測(cè)器811的檢測(cè)結(jié)果不同時(shí)，以第一檢測(cè)器811的檢測(cè)結(jié)果為準(zhǔn)，由于，第一檢測(cè)器811設(shè)置在噴嘴801位置處，這樣就能夠確保從噴嘴801位置向外噴出的蒸發(fā)氣體均勻，防止其影響OLED的產(chǎn)量和良率。

進(jìn)一步的，當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器810和第一檢測(cè)器811的檢測(cè)結(jié)果不同時(shí)，發(fā)出第一檢測(cè)器810和第一檢測(cè)器811的檢測(cè)結(jié)果不同的警報(bào)，進(jìn)行提示，以便工作人員對(duì)進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)檢查和維修。

以上僅是本發(fā)明第八實(shí)施例中第一檢測(cè)器810和第一檢測(cè)器811共同工作的一種方式，當(dāng)然，本發(fā)明第八實(shí)施例中第一檢測(cè)器810和第一檢測(cè)器811還可以采用其他工作方式，比如：當(dāng)?shù)谝粰z測(cè)器810和第一檢測(cè)器811的檢測(cè)結(jié)果不同時(shí)，以第一檢測(cè)器810的檢測(cè)結(jié)果為準(zhǔn)。

具體檢測(cè)結(jié)果不同是：第一檢測(cè)器810所檢測(cè)的第一蒸發(fā)速率小于第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率，第一檢測(cè)器811所檢測(cè)的第二蒸發(fā)速率大于第二預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率；或第一檢測(cè)器810所檢測(cè)的第一蒸發(fā)速率大于第一預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率，第一檢測(cè)器811所檢測(cè)的第二蒸發(fā)速率小于第二預(yù)設(shè)蒸發(fā)速率。

同樣，本發(fā)明第八實(shí)施例通過(guò)將第一檢測(cè)器810和第一檢測(cè)器811的檢測(cè)結(jié)果及時(shí)反饋到升降機(jī)構(gòu)807，升降機(jī)構(gòu)807控制第一加熱絲運(yùn)動(dòng)，更加及時(shí)、準(zhǔn)確地改變位于坩堝806中蒸發(fā)材料805所形成的加熱面8051和第一加熱絲808兩者之間距離，更加及時(shí)、準(zhǔn)確地控制第一加熱絲808為加熱面8051進(jìn)行加熱的加熱效率，進(jìn)而更加及時(shí)、準(zhǔn)確地控制蒸發(fā)材料的蒸發(fā)速率，防止第一加熱絲808長(zhǎng)時(shí)間為蒸發(fā)材料進(jìn)行加熱而產(chǎn)生裂解，進(jìn)一步提高OLED器件的產(chǎn)量和良率，進(jìn)一步改善OLED器件的性能。

另外，由于第一檢測(cè)器810設(shè)置在坩堝位置處，更靠近蒸發(fā)材料，當(dāng)控制坩堝位置處的蒸發(fā)氣體速率能夠得到更加及時(shí)、準(zhǔn)確的控制，從而使得蒸發(fā)材料產(chǎn)生的蒸發(fā)氣體更加均勻，效果更好。

以及，由于第一檢測(cè)器811設(shè)置在噴嘴801位置處，噴嘴801位置更靠近基板，當(dāng)控制噴嘴801位置處的蒸發(fā)氣體速率能夠得到更加及時(shí)、準(zhǔn)確的控制，從而使得噴嘴801噴出的蒸發(fā)氣體在基板上成膜更加均勻，效果更好。

其中，本發(fā)明第八實(shí)施例中蒸發(fā)源對(duì)蒸發(fā)材料的蒸發(fā)具體流程與本發(fā)明第六實(shí)施例中蒸發(fā)源對(duì)蒸發(fā)材料的蒸發(fā)具體流程的區(qū)別在于：本發(fā)明第八實(shí)施例中的蒸發(fā)源通過(guò)位于噴嘴位置的第二檢測(cè)器檢測(cè)蒸發(fā)速率，以及通過(guò)位于第一檢測(cè)通道位置的第一檢測(cè)器檢測(cè)蒸發(fā)速率，兩者共同檢測(cè)，效果更佳。具體流程可參見(jiàn)本發(fā)明第六實(shí)施例，在此不再贅述。

雖然本發(fā)明已以?xún)?yōu)選實(shí)施例揭露如上，但上述優(yōu)選實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以權(quán)利要求界定的范圍為準(zhǔn)。