技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種長距離直流伸展電弧等離子體放電的新型結(jié)構(gòu)，包括：真空室(6)，進(jìn)氣管(7)，陰極(8)，陽極(9)，壓縮波紋管(10)和工件(11)組成的直流伸展電弧等離子體放電結(jié)構(gòu)。其特征在于采用壓縮波紋管(10)用于連接陽極(9)和真空室(6)底板，使得在保證真空條件的同時(shí)，可以上下移動(dòng)陽極(9)，調(diào)節(jié)陰陽極間距。該新型結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)在引弧前向上移動(dòng)陽極(9)，減少陰陽極間距，降低擊穿空氣放電的門檻電壓。在直流電弧等離子體放電實(shí)現(xiàn)后，向下移動(dòng)陽極(9)，增大陰陽極間距，實(shí)現(xiàn)大尺寸工件表面的金剛石涂層的制備。

技術(shù)研發(fā)人員：徐健;唐偉忠;張?jiān)讫?br/>受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京沅瀚環(huán)境科技有限公司
文檔號(hào)碼：201621440303
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.26
技術(shù)公布日：2017.08.25