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一種輔助氮?dú)庋h(huán)利用的液體氮化爐用裝置的制作方法

文檔序號(hào):11901186閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種輔助氮?dú)庋h(huán)利用的液體氮化爐用裝置,包括雜質(zhì)氣體回收裝置(8)、液體氮化爐主體(11)和吸附膜層(19),其特征在于:所述液體氮化爐主體(11)的下方設(shè)置有防護(hù)層(12),所述液體氮化爐主體(11)的上方安裝有液體氮化爐爐蓋(5),所述液體氮化爐爐蓋(5)的左側(cè)安裝有驅(qū)動(dòng)塊(4),所述液體氮化爐爐蓋(5)的上方安裝有控制器(6),所述控制器(6)的右側(cè)安裝有溫度檢測(cè)控制儀(7),所述液體氮化爐爐蓋(5)的右側(cè)安裝有雜質(zhì)氣體回收裝置(8),所述雜質(zhì)氣體回收裝置(8)的下方設(shè)置有氣體濃度探頭(9),所述液體氮化爐主體(11)的左側(cè)安裝有循環(huán)裝置(17),所述循環(huán)裝置(17)的上方設(shè)置有第一流量控制閥(1)和第二流量控制閥(2),所述循環(huán)裝置(17)的下方設(shè)置有雜質(zhì)氣體收集口(14),所述雜質(zhì)氣體回收裝置(8)的內(nèi)部設(shè)置有防吸附膜層(19),所述防吸附膜層(19)的左側(cè)安裝有過(guò)濾器(18),所述防吸附膜層(19)的下方安裝有出氣管(21),所述出氣管(21)的表面設(shè)置有分類(lèi)區(qū)絲(20),所述過(guò)濾器(18)的輸入端與控制器(6)的輸出端電性連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種輔助氮?dú)庋h(huán)利用的液體氮化爐用裝置,其特征在于:所述氣體濃度探頭(9)的右側(cè)安裝有氣體種類(lèi)傳感器(10),所述氣體種類(lèi)傳感器(10)的輸入端與控制器(6)的輸出端電性連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種輔助氮?dú)庋h(huán)利用的液體氮化爐用裝置,其特征在于:所述液體氮化爐主體(11)的左側(cè)設(shè)置有干燥過(guò)濾網(wǎng)(3)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種輔助氮?dú)庋h(huán)利用的液體氮化爐用裝置,其特征在于:所述循環(huán)裝置(17)通過(guò)氮?dú)庋h(huán)收集管(16)與回流管(15)相連,所述回流管(15)的表面設(shè)置有電子控制閥(13)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種輔助氮?dú)庋h(huán)利用的液體氮化爐用裝置,其特征在于:所述出氣管(21)的右側(cè)安裝有密封用法蘭(22)。

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