本實(shí)用新型涉及到一種石墨舟，具體涉及到一種高能效石墨舟領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有的石墨舟承載硅片后在管式PECVD內(nèi)做沉積反應(yīng)，由于原有石墨舟高頻輝光電極是由爐尾（以管式PECVD為參照物）傳導(dǎo)至爐口，從而會(huì)出現(xiàn)高頻電場效應(yīng)爐尾至爐口依次減弱，引起沉積速率不一致，導(dǎo)致色差；其次由于輝光會(huì)產(chǎn)生熱能，高頻電場強(qiáng)產(chǎn)生的熱能就多，導(dǎo)致爐尾溫度和爐口溫度偏差大，從而改變硅片表面鈍化的效果，產(chǎn)生的結(jié)構(gòu)不一致，改變了硅片的結(jié)構(gòu)的統(tǒng)一性。

為了解決以上技術(shù)問題，有必要將現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)行改良，設(shè)計(jì)一種高能效石墨舟，該高能效石墨舟的其中一層的最中心處的一片石墨舟片采用陶瓷片進(jìn)行絕緣處理，使得該層的能量通過此石墨舟片從電極端傳導(dǎo)到舟體另一端，能量按從內(nèi)向外的傳導(dǎo)順序分別傳導(dǎo)給此層舟體的其它石墨片，然后此層其它石墨舟片將能量從另外一端傳導(dǎo)至電極端，而另外一個(gè)舟體的能量則直接從電極端傳導(dǎo)到另一端，舟體兩極能量通過這樣的傳導(dǎo)方式，以便舟體上能量均勻傳導(dǎo)，從而使?fàn)t管內(nèi)的沉積速率相近。由于加了絕緣陶瓷片，改變電場，使電場在整個(gè)石墨舟內(nèi)均勻分布，降低硅片的色差率，提高了硅片表面氮化硅層結(jié)構(gòu)的統(tǒng)一性。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了克服背景技術(shù)中存在的缺陷，本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

一種高能效石墨舟，包括石墨舟舟片、陶瓷環(huán)、陶瓷棒、石墨棒、石墨螺帽和石墨塊，所述石墨舟舟片按一定的間距均勻排列，每兩片石墨舟舟片之間設(shè)置有一個(gè)陶瓷環(huán)，所述石墨舟舟片上均開有用于固定的安裝孔，所述陶瓷棒穿入安裝孔將石墨舟舟片和陶瓷環(huán)連接成一個(gè)整體，在兩塊相鄰的石墨舟舟片和兩根相鄰的陶瓷環(huán)之間構(gòu)成了物料存放空間，所述陶瓷棒的兩端用石墨螺帽擰緊固定，所述石墨舟舟片的兩端與其相鄰的石墨舟舟片間設(shè)置有石墨塊，所述石墨棒穿入石墨舟舟片和石墨塊將石墨舟舟片兩端連接，所述石墨棒的兩端用石墨螺帽固定，所述石墨舟舟片其中一端最中心處的石墨舟舟片的一側(cè)上部設(shè)置有上石墨電極塊，所述石墨舟舟片其中一端最中心處的設(shè)置有上石墨電極塊的石墨舟舟片的下部設(shè)置有下石墨電極塊，所述石墨舟舟片其中一端最中心處設(shè)置有上石墨電極塊和下石墨電極塊的石墨舟舟片的另一側(cè)設(shè)置有陶瓷片，所述陶瓷片設(shè)置在上石墨電極塊和中心處的石墨舟舟片的兩側(cè)。

所述陶瓷片能夠設(shè)置在下石墨電極塊和中心處的石墨舟舟片的兩側(cè)。

優(yōu)選上石墨電極塊和下石墨電極塊的個(gè)數(shù)分別為2個(gè)。

優(yōu)選兩片陶瓷片之間的石墨舟舟片的個(gè)數(shù)為2個(gè)以上。

本實(shí)用新型所涉及的一種高能效石墨舟，該高能效石墨舟的其中一層的最中心處的一片石墨舟片采用陶瓷片進(jìn)行絕緣處理，使得該層的能量通過此石墨舟片從電極端傳導(dǎo)到舟體另一端，能量按從內(nèi)向外的傳導(dǎo)順序分別傳導(dǎo)給此層舟體的其它石墨片，然后此層其它石墨舟片將能量從另外一端傳導(dǎo)至電極端，而另外一個(gè)舟體的能量則直接從電極端傳導(dǎo)到另一端，舟體兩極能量通過這樣的傳導(dǎo)方式，以便舟體上能量均勻傳導(dǎo)，從而使?fàn)t管內(nèi)的沉積速率相近。由于加了絕緣陶瓷片，改變電場，使電場在整個(gè)石墨舟內(nèi)均勻分布，降低硅片的色差率，提高了硅片表面氮化硅層結(jié)構(gòu)的統(tǒng)一性。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。

圖1是本實(shí)用新型一種高能效石墨舟的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型一種高能效石墨舟的一端的結(jié)構(gòu)示意圖；

其中:1、石墨舟舟片；2、陶瓷環(huán)；3、陶瓷棒；4、石墨棒；5、石墨螺帽；6、石墨塊；7、陶瓷片；8、上石墨電極塊；9、下石墨電極塊；10、安裝孔。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)在結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。附圖為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實(shí)用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實(shí)用新型有關(guān)的構(gòu)成。

具體實(shí)施例，請參閱圖1、圖2、一種高能效石墨舟，包括石墨舟舟片、陶瓷環(huán)、陶瓷棒、石墨棒、石墨螺帽和石墨塊，所述石墨舟舟片按一定的間距均勻排列，每兩片石墨舟舟片之間設(shè)置有一個(gè)陶瓷環(huán)，所述石墨舟舟片上均開有用于固定的安裝孔，所述陶瓷棒穿入安裝孔將石墨舟舟片和陶瓷環(huán)連接成一個(gè)整體，在兩塊相鄰的石墨舟舟片和兩根相鄰的陶瓷環(huán)之間構(gòu)成了物料存放空間，所述陶瓷棒的兩端用石墨螺帽擰緊固定，所述石墨舟舟片的兩端與其相鄰的石墨舟舟片間設(shè)置有石墨塊，所述石墨棒穿入石墨舟舟片和石墨塊將石墨舟舟片兩端連接，所述石墨棒的兩端用石墨螺帽固定，所述石墨舟舟片其中一端最中心處的石墨舟舟片的一側(cè)上部設(shè)置有上石墨電極塊，所述石墨舟舟片其中一端最中心處的設(shè)置有上石墨電極塊的石墨舟舟片的下部設(shè)置有下石墨電極塊，所述石墨舟舟片其中一端最中心處設(shè)置有上石墨電極塊和下石墨電極塊的石墨舟舟片的另一側(cè)設(shè)置有陶瓷片，所述陶瓷片設(shè)置在上石墨電極塊和中心處的石墨舟舟片的兩側(cè)。

所述陶瓷片能夠設(shè)置在下石墨電極塊和中心處的石墨舟舟片的兩側(cè)。

優(yōu)選上石墨電極塊和下石墨電極塊的個(gè)數(shù)分別為2個(gè)。

優(yōu)選兩片陶瓷片之間的石墨舟舟片的個(gè)數(shù)為2個(gè)以上。

本實(shí)用新型所涉及的一種高能效石墨舟，石墨舟具有多個(gè)石墨舟舟片1，石墨舟舟片1由陶瓷環(huán)2和石墨棒4、陶瓷棒3連接構(gòu)成舟體，多根陶瓷環(huán)7連接在石墨舟舟片1之間并將石墨舟舟片1排列成上下兩層，上下兩層的石墨舟舟片1通過石墨棒4串聯(lián)一起并構(gòu)成相對(duì)獨(dú)立的舟體，兩塊相鄰的石墨舟舟片1和兩根相鄰的陶瓷環(huán)7間構(gòu)成了物料存放空間，該高能效石墨舟的其中一層的最中心處的一片石墨舟舟片1采用陶瓷片7進(jìn)行絕緣處理，使得該層的能量通過此石墨舟舟片1從電極端傳導(dǎo)到舟體另一端，能量按從內(nèi)向外的傳導(dǎo)順序分別傳導(dǎo)給此層舟體的其它石墨舟舟片1，然后此層其它石墨舟舟片1將能量從另外一端傳導(dǎo)至電極端，而另外一個(gè)舟體的能量則直接從電極端傳導(dǎo)到另一端，舟體兩極能量通過這樣的傳導(dǎo)方式，以便舟體上能量均勻傳導(dǎo)，從而使?fàn)t管內(nèi)的沉積速率相近。由于加了絕緣陶瓷片7，改變電場，使電場在整個(gè)石墨舟內(nèi)均勻分布，降低硅片的色差率，提高了硅片表面氮化硅層結(jié)構(gòu)的統(tǒng)一性。

以上述依據(jù)本專利的理想實(shí)施例為啟示，通過上述的說明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項(xiàng)專利技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項(xiàng)專利的技術(shù)性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定其技術(shù)性范圍。