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一種硅片邊角磨光器的制作方法

文檔序號:12162109閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種硅片邊角磨光器,其特征在于:該磨光器包括磨盤,底板,第一電機,第二電機;所述底板上設置滑槽,轉軸穿過所述滑槽,所述磨盤位于滑槽正上方,轉軸一端穿過磨盤中心,另一端穿過位于滑槽內的軸承并與位于底板下方的第一電機連接,所述軸承側面與絲桿固定連接,絲桿另一端與位于底盤左側的第二電機套筒連接。

2.如權利要求1所述的一種硅片邊角磨光器,其特征在于:所述磨盤側面向內凹陷形成一凹槽。

3.如權利要求2所述的一種硅片邊角磨光器,其特征在于:所述凹槽表面進行粗糙處理。

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