技術(shù)編號：12162109
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及單晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種硅片邊角磨光器。背景技術(shù)切割后的硅片邊角會有各種毛刺，盡管所占面積很小，如果不做處理可能會影響到后續(xù)的工藝，同時也容易傷人，現(xiàn)有磨光設(shè)備一般都是固定式，位置不能自由移動，這對于較薄的硅片邊角進(jìn)行磨光極不方便，很容易造成硅片裂片。實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題在于克服現(xiàn)有的技術(shù)缺陷，提供一種硅片邊角磨光器。本實用新型所要解決的技術(shù)問題采用以下的技術(shù)方案來實現(xiàn)：一種硅片邊角磨光器，包括磨盤，底板，第一電機(jī)，第二電機(jī)；所述底板上有滑槽，轉(zhuǎn)軸穿過滑...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。