技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型提供了一種真空爐體及其使用的輔助陽極，真空爐體包括爐體、輔助陽極和陰極，所述陰極設(shè)置在所述爐體內(nèi)部；所述輔助陽極為一筒形結(jié)構(gòu)，筒形結(jié)構(gòu)包括上環(huán)形支架和下環(huán)形支架，所述上環(huán)形支架和下環(huán)形支架之間固定設(shè)置多個條形結(jié)構(gòu)或者多個弧形板結(jié)構(gòu)，多個條結(jié)構(gòu)交錯呈格柵形狀，多個弧形板結(jié)構(gòu)中的至少一個的整個表面上均勻分布多個孔；所述筒形結(jié)構(gòu)與所述陰極的有效濺射區(qū)域的高度差在10cm以內(nèi)，所述筒形結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述爐體的內(nèi)部，與所述陰極相對；所述爐體的底部設(shè)置有多個絕緣墊；所述爐體內(nèi)還設(shè)置有陽極接線柱。本實(shí)用新型的真空爐體及其使用的輔助陽極，濺射時的離化效果好，膜層均勻致密，且陰極放電工作更穩(wěn)定。

技術(shù)研發(fā)人員：張遠(yuǎn)華
受保護(hù)的技術(shù)使用者：森科五金（深圳）有限公司;張遠(yuǎn)華
文檔號碼：201620758776
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.15
技術(shù)公布日：2016.12.28