本實(shí)用新型涉及一種用于拋光機(jī)的回流棒，屬于拋光設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

目前，半導(dǎo)體器件在失效分析過(guò)程中，需要大量的切片，而切片的制作需要耗費(fèi)大量的時(shí)間進(jìn)行研磨與拋光。在拋光工序時(shí)，需要使用大量的金剛石拋光液，由于離心力的作用，使得拋光液在拋光機(jī)上大量外流，造成巨大的浪費(fèi)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是：克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種用于拋光機(jī)的回流棒，以解決拋光過(guò)程中拋光液外流的技術(shù)問(wèn)題。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：一種用于拋光機(jī)的回流棒，包括回流棒體、固定旋鈕與用于與拋光機(jī)連接的固定座，所述回流棒體通過(guò)固定旋鈕安裝在固定座上，所述固流棒體上設(shè)有用于阻擋并刮取拋光液的回流槽。

進(jìn)一步為了便于刮起拋光液并保證刮取效果，所述回流棒體的回流槽為圓弧型凹槽，且圓弧型凹槽靠近拋光液的一側(cè)的棒體呈薄片狀。

進(jìn)一步，所述回流棒體可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在固定座上，并通過(guò)固定旋鈕固定。

采用了上述技術(shù)方案后，本實(shí)用新型應(yīng)用在拋光機(jī)上，能夠在一定程度上抵消拋光液在離心力作用下的外流，使得拋光液在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)能夠順著回流槽流到轉(zhuǎn)盤內(nèi)側(cè)，避免造成拋光液的大量損失；本實(shí)用新型將回流棒體可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在固定座上，固定座固定在拋光機(jī)上，不使用時(shí)可將回流棒體轉(zhuǎn)動(dòng)至垂直位置，必要時(shí)可以取下。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型應(yīng)用在拋光機(jī)上的使用狀態(tài)圖；

圖中，1、回流棒體，2、固定旋鈕，3、固定座，4、回流槽。

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。

如圖1、圖2所示，一種用于拋光機(jī)的回流棒，包括回流棒體1、固定旋鈕2和用于與拋光機(jī)連接的固定座3，所述回流棒體1通過(guò)固定旋鈕2安裝在固定座3上，所述固流棒體1上設(shè)有用于阻擋并刮取拋光液的回流槽4。

優(yōu)選地，如圖1所示，所述回流棒體1的回流槽4為圓弧型凹槽，且圓弧型凹槽靠近拋光液的一側(cè)的棒體呈薄片狀。

優(yōu)選地，如圖1所示，所述回流棒體1可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在固定座3上，并通過(guò)固定旋鈕2固定。

如圖2所示，實(shí)際使用時(shí)，將本實(shí)用新型安裝在拋光機(jī)上，將回流棒體1放置于拋光液所在轉(zhuǎn)盤上，回流槽4面對(duì)轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)的方向，從而使拋光液被回流棒體1阻擋在回流槽4內(nèi)，并在回流槽4的引導(dǎo)下回流至轉(zhuǎn)盤中。

本實(shí)用新型應(yīng)用在拋光機(jī)上，能夠在一定程度上抵消拋光液在離心力作用下的外流，使得拋光液在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)能夠順著回流槽4流到轉(zhuǎn)盤內(nèi)側(cè)，避免造成拋光液的大量損失；本實(shí)用新型將回流棒體1可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在固定座3上，固定座3固定在拋光機(jī)上，不使用時(shí)可將回流棒體1轉(zhuǎn)動(dòng)至垂直位置，必要時(shí)可以取下。

以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型解決的技術(shù)問(wèn)題、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。