技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型提供一種防著板，包括多個(gè)防著塊，各防著塊在成膜腔室內(nèi)壁同向拼接設(shè)置，且相鄰防著塊之間形成間隙。所述防著塊包括阻擋部，所述阻擋部位于所述間隙內(nèi)，增加了相鄰防著塊之間的間隙內(nèi)的附著面積，從而減少了穿過防著塊之間間隙到達(dá)成膜腔室內(nèi)壁的等離子體的數(shù)量，從而解決成膜腔室內(nèi)壁的污染問題，延長成膜腔室的使用壽命。而且，相鄰防著塊之間的最小間隙大于或等于預(yù)設(shè)的閾值，能夠保證相鄰防著塊受熱膨脹時(shí)不會(huì)相互干涉。

技術(shù)研發(fā)人員：肖亮;丁冬;張勛澤;樸祥秀;張浩
受保護(hù)的技術(shù)使用者：合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團(tuán)股份有限公司
文檔號(hào)碼：201620728176
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.11
技術(shù)公布日：2016.12.14