技術總結
本發(fā)明公開了一種在鉭噴絲頭表面鍍DLC膜的方法。該方法包括如下步驟：(1)將鉭噴絲頭表面拋光至0.02μm以上；(2)將表面拋光后的鉭噴絲頭清洗并烘干；(3)用顯微鏡檢測清洗后的鉭噴絲頭，若無任何污染則放入爐內，用磁控濺射的方法在鉭噴絲頭表面鍍上DLC膜；鍍膜采用的靶材為乙炔，鍍膜條件如下：真空度為5×10?3Pa?8×10?3Pa，溫度180—280℃，濺射時間為1—3h；鍍膜后將鉭噴絲頭冷卻至100℃以下，即得表面鍍DLC膜的鉭噴絲頭。

技術研發(fā)人員：蔣坤林;許登峰
受保護的技術使用者：長沙南方鉭鈮有限責任公司
文檔號碼：201611183940
技術研發(fā)日：2016.12.20
技術公布日：2017.05.31