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一種在鉭噴絲頭表面鍍DLC膜的方法與流程

文檔序號:12415706閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種在鉭噴絲頭表面鍍DLC膜的方法,其特征在于,所述方法包括如下步驟:

(1)將鉭噴絲頭表面拋光至0.02μm以上;

(2)將表面拋光后的鉭噴絲頭清洗并烘干;

(3)用顯微鏡檢測清洗后的鉭噴絲頭,若無任何污染則放入爐內(nèi),用磁控濺射的方法在鉭噴絲頭表面鍍上DLC膜;鍍膜采用的靶材為乙炔,鍍膜條件如下:真空度為5×10-3—8×10-3Pa,溫度180—280℃,濺射時間為1—3h;鍍膜后將鉭噴絲頭冷卻至100℃以下,即得表面鍍DLC膜的鉭噴絲頭。

2.如權利要求1所述的方法,其特征在于,步驟(2)所述的清洗是先將表面拋光后的鉭噴絲頭在濃度為98%的硫酸中,于140℃條件下進行煮酸處理25—35min,然后用清水沖洗后再用去離子水清洗,再在超聲清洗槽里用酒精、丙酮和去離子水依次進行超聲清洗。

3.如權利要求1所述的方法,其特征在于,步驟(3)所述顯微鏡為放大150倍的測量顯微鏡。

4.如權利要求1所述的方法,其特征在于,步驟(3)所述濺射時間為60—80min。

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