技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種過渡金屬化學(xué)氣相沉積微納增材制造裝置與方法，屬于金屬化學(xué)氣相沉積微納增材制造技術(shù)領(lǐng)域。混合氣體瓶通過氣體開關(guān)閥與氣體流量計(jì)相連，氣體流量計(jì)與反應(yīng)室噴頭相連，過渡金屬絲通過過渡金屬絲支撐架與反應(yīng)室噴頭內(nèi)壁相連，反應(yīng)室噴頭外壁通過反應(yīng)室環(huán)形熱電偶與控溫箱相連，沉積基底通過沉積室與三聯(lián)動(dòng)工作臺(tái)相連，可移動(dòng)式軟蓋板放置在沉積室的頂部，沉積室外壁通過沉積室環(huán)形熱電偶與控溫箱相連。優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)新穎，使用靈活方便，便于操作，實(shí)現(xiàn)金屬微納尺度低成本、高精度、高效率增材制造，能夠?qū)崿F(xiàn)化學(xué)氣相沉積中的金屬顆粒按照預(yù)定軌跡沉積，易于實(shí)現(xiàn)打印微納過渡金屬復(fù)雜三維形狀的零部件。

技術(shù)研發(fā)人員：吳文征;耿鵬;葉穩(wěn)立;隋航;蔣吉利;劉巍;趙繼
受保護(hù)的技術(shù)使用者：吉林大學(xué)
文檔號(hào)碼：201610807912
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.07
技術(shù)公布日：2016.12.07