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過渡金屬化學氣相沉積微納增材制造裝置與方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11625939

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本發(fā)明涉及金屬化學氣相沉積微納增材制造技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及微納增材制造和基于化學氣相沉積的三維過渡金屬結(jié)構(gòu)3D打印裝置與方法。背景技術(shù)目前,金屬化學氣相沉積技術(shù)在增材制造領(lǐng)域沒有應用,金屬化學氣相沉積在增材制造領(lǐng)域一直存在技術(shù)難題:沉積速度慢,通常沉積速度僅為幾個微米每小時,由于靠近熱源的區(qū)域沉積速度高,遠離熱源的區(qū)域沉積速度低,打印的每層金屬零件厚度不均勻。過渡金屬化學氣相沉積技術(shù)主要是一種將金屬顆粒沉積在基底表面的技術(shù),無法實現(xiàn)金屬顆粒的選擇性沉積,將該技術(shù)應用到3D打印上,是很難實現(xiàn)金屬顆粒...
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