技術(shù)總結(jié)
一種用于通過等離子體增強的原子層沉積(PEALD)在基材上形成氮化鋁基膜的方法，所述方法包括：(a)形成至少一層氮化鋁(AlN)單層和(b)形成至少一層氧化鋁(AlO)單層，其中步驟(a)和(b)連續(xù)交替進行以形成層疊體。步驟(a)和(b)在層疊體的總厚度超過10nm，優(yōu)選5nm前停止。

技術(shù)研發(fā)人員：芝英一郎
受保護的技術(shù)使用者：ASMIP控股有限公司
文檔號碼：201610715876
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.24
技術(shù)公布日：2017.03.08