技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種改性鎢鈮合金靶制備工方法，制作工藝簡(jiǎn)單，成品質(zhì)量好，綜合性能優(yōu)良，用物理氣相沉積方法使靶材表面金屬化改性，解決鎢鈮合金靶材表面金屬化改性這一難題。

技術(shù)研發(fā)人員：不公告發(fā)明人
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州思創(chuàng)源博電子科技有限公司
文檔號(hào)碼：201610656572
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.12
技術(shù)公布日：2016.12.07