技術(shù)編號：11937641
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及合金材料制造領(lǐng)域，具體涉及一種改性鎢鈮合金靶制備工方法。背景技術(shù)近年來，隨著濺射靶材和濺射技術(shù)的日益發(fā)展，濺射靶材在濺射技術(shù)中起到了越來越重要的作用，濺射靶材的質(zhì)量直接影響到了濺射后的成膜質(zhì)量。濺射靶材主要分為平面靶材和靶材，所述靶材通常由濺射靶材和背管組成，與平面靶相比，靶材的利用率更高且濺射后成膜質(zhì)量更好，在靶材市場具有巨大的發(fā)展?jié)摿?。鎢鈮硬質(zhì)合金具有高強度、高硬度、優(yōu)良的耐磨性、耐熱性以及良好的抗腐蝕性等特點，因此廣泛應(yīng)用于高壓、高轉(zhuǎn)速、高溫、腐蝕性介質(zhì)等工作環(huán)境。就目前而言，鎢...
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