1.一種改性鎢鈮合金靶制備工方法，該方法包括如下步驟：
（1）制備靶材
采用鎢粉與鈮粉為制作原材料，其各組分質(zhì)量百分比為鎢粉：85%-95%，鈮粉：5%-15%；所述鎢粉純度≥99.99%、粒度為2-3μm，所述鈮粉純度≥99.99%、粒度為3-8μm；
選取上述比例的原材料裝入混料機(jī)，將混料機(jī)轉(zhuǎn)速調(diào)整至1000-1500轉(zhuǎn)/min，開機(jī)正轉(zhuǎn)6-8h后，反轉(zhuǎn)10-15h，之后停機(jī)得粉料備用；
將所得粉料裝入管狀橡膠模套內(nèi)，用冷等靜壓機(jī)進(jìn)行壓制成型，壓力為250-300MPa，壓制20-40分鐘后得靶材坯體備用；
將所得靶材坯體放入燒結(jié)爐中進(jìn)行分階段升溫、保溫?zé)Y(jié)，第一階段：由室溫升至700℃，升溫時(shí)間為5h，爐溫升至700℃后保溫7h；第二階段：由700℃升至1000℃，升溫時(shí)間為4h，爐溫升至1000℃后保溫2h；第三階段：由1000℃升至1250℃，升溫時(shí)間為2h，爐溫升至1250℃后保溫1h；第四階段：由1250℃升至1600℃，升溫時(shí)間為5h，爐溫升至1600℃后保溫2h；第五階段：由1600℃升至1850℃，升溫時(shí)間為2h，爐溫升至2000℃后保溫4h；至此燒結(jié)過程完成后，取出所得金屬坯體，采用循環(huán)水冷使其降至室溫后備用；
將所得冷卻后的金屬坯體加熱升溫至1350℃-1600℃，并保持在此溫度區(qū)間內(nèi)對(duì)其進(jìn)行熱軋?zhí)幚?，將其厚度軋?-100mm后，自然冷卻至室溫，得靶材毛坯；
將所得靶材毛坯的內(nèi)外表面進(jìn)行粗車、細(xì)磨，得到靶材；
（2）改性處理
在物理氣相沉積設(shè)備的鍍膜室裝入金屬或合金陰極靶材，然后將立方氮化硼微粉放入滾筒式沉積臺(tái)；關(guān)閉鍍膜室門，設(shè)定氣相沉積參數(shù)，進(jìn)行物理氣相沉積鍍膜；
將鍍膜后的立方氮化硼微粉在真空熱處理爐中進(jìn)行熱處理，即得到表面金屬化改性的鎢鎳合金靶材。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在所述步驟（2）中，采用的立方氮化硼微粉的費(fèi)氏粒度≤3.0μm；
物理氣相沉積過程的參數(shù)設(shè)定為：預(yù)抽本底真空至3.0×10-3Pa以下，通入工作氣體Ar氣，鍍膜過程中濺射氣壓設(shè)定在1～5Pa；樣品加熱溫度為150～250℃；靶材功率密度范圍為10～25W/cm2；滾筒式沉積臺(tái)的轉(zhuǎn)速為20～35r/min；振動(dòng)系統(tǒng)的振動(dòng)頻率為15～40Hz；鍍膜時(shí)間為5～10h；
所述熱處理是在真空下進(jìn)行的，真空度可控制在1×10-5～1×10-3Pa的范圍內(nèi)，熱處理溫度設(shè)定在500～700℃的范圍內(nèi)，熱處理保溫時(shí)間設(shè)定為50～80min，隨爐冷卻。