本發(fā)明涉及修整工具和使用了該工具的切削刀具的前端形狀成形方法，將切削刀具的前端形狀成形為希望的形狀。

背景技術(shù)：

作為由形成為格子狀的分割預(yù)定線劃分而在正面上形成有IC、LSI等多個器件的硅晶片(以下，有時簡稱為晶片)，在對其背面進(jìn)行磨削而加工成規(guī)定的厚度之后，通過切削裝置分割成各個器件芯片，分割得到的器件芯片被廣泛用于移動電話、電腦等各種電子設(shè)備中。

在將晶片分割成各個器件芯片時，在切削裝置上安裝的切削刀具沿著分割預(yù)定線對晶片進(jìn)行切削，由此，晶片被分割成各個器件芯片。

近年來，市場上要求電子部件的成本降低，作為用于降低電子部件的成本的對策之一，舉出了如下的方法：使晶片的分割預(yù)定線的寬度變窄而增加從1張晶片能夠生產(chǎn)的器件芯片的個數(shù)。

為此，必須使對晶片進(jìn)行切削的切削刀具的厚度變薄，但是存在如下的問題：當(dāng)厚度變薄時刀具的強(qiáng)度變低，在切削加工中會產(chǎn)生刀具的彎折而導(dǎo)致切削刀具破損。

作為解決該問題的技術(shù)，在日本特開2008-49412號公報中記載了如下的凸形狀切削刀具：將含有磨粒直徑大的磨粒的金屬粘合劑的生片作為中心層，將含有磨粒直徑小的磨粒的金屬粘合劑的生片作為側(cè)面層，在中心層的兩側(cè)粘合側(cè)面層并進(jìn)行燒結(jié)，制成多層構(gòu)造的切削刀具，使該多層構(gòu)造的切削刀具切入修整工具，由此，以機(jī)械方式去除側(cè)面層而使中心層突出，并在切削刀具的前端形成凸部。

通過具有這樣的構(gòu)造的切削刀具，雖然實(shí)際上對加工有貢獻(xiàn)的刀具前端的凸部其刃厚較薄，但由于切削刀具自身具有充足的厚度，所以刀具強(qiáng)度不會降低，能夠防止產(chǎn)生切彎等。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2008-49412號公報

但是，專利文獻(xiàn)1中公開的多層構(gòu)造的切削刀具必須制成具有不同的特性的生片(磨具)并將這些生片粘合、燒結(jié)而制造，操作性差并且在成本方面存在待解決課題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明是鑒于這樣的點(diǎn)而完成的，其目的在于提供修整工具和使用了該工具的切削刀具的前端形狀成形方法，能夠容易地將切削刀具的前端成形為希望的形狀。

根據(jù)技術(shù)方案1所述的發(fā)明，提供一種修整工具，其將切削刀具的前端成形為希望的形狀，其特征在于，在該修整工具中形成有與該希望的形狀為反轉(zhuǎn)形狀的槽。

優(yōu)選在修整工具中，所述與希望的形狀為反轉(zhuǎn)形狀的槽相互平行地形成有多條。

根據(jù)技術(shù)方案3所述的發(fā)明，提供一種切削刀具的前端形狀成形方法，使用技術(shù)方案1所述的修整工具將切削刀具的前端成形為希望的形狀，其特征在于，具有如下步驟：保持步驟，利用卡盤工作臺對該修整工具進(jìn)行吸引保持；以及成形步驟，一邊使該切削刀具高速旋轉(zhuǎn)一邊使其切入該卡盤工作臺所保持的該修整工具的槽中，并使該切削刀具與該卡盤工作臺所保持的該修整工具相對地移動，從而將該切削刀具的前端形狀成形為希望的形狀。

根據(jù)技術(shù)方案4所述的發(fā)明，提供一種切削刀具的前端形狀成形方法，使用技術(shù)方案2所述的修整工具將切削刀具的前端成形為希望的形狀，其特征在于，具有如下步驟：保持步驟，利用卡盤工作臺對該修整工具進(jìn)行吸引保持；修正步驟，一邊使該切削刀具高速旋轉(zhuǎn)一邊使其以比該槽的深度淺的切入深度切入該卡盤工作臺所保持的該修整工具的第1槽中，并使該切削刀具與該卡盤工作臺所保持的該修整工具相對地移動，從而對該切削刀具的前端形狀進(jìn)行修正；以及再修正步驟，以該切入深度使該切削刀具切入與該第1槽不同的第2槽，并使該切削刀具與該卡盤工作臺所保持的該修整工具相對地移動，從而對該切削刀具的前端形狀進(jìn)行再修正，通過變更所切入的槽而多次重復(fù)進(jìn)行該再修正步驟，將該切削刀具的前端成形為希望的形狀。

通過使用本發(fā)明的修整工具對切削刀具進(jìn)行修整，從而不需要制造多層構(gòu)造的切削刀具，能夠?qū)⒁酝鶚?gòu)造的切削刀具的前端成形為希望的形狀，能夠提高操作性并且將切削刀具的成形成本抑制為較低。

附圖說明

圖1是切削裝置的立體圖。

圖2是示出切削刀具相對于主軸的安裝構(gòu)造的分解立體圖。

圖3是本發(fā)明實(shí)施方式的修整工具的立體圖。

圖4是示出將修整工具粘接在劃片帶上的樣子的立體圖，該劃片帶的外周部被安裝在環(huán)狀框架上。

圖5是示出修正步驟和再修正步驟的立體圖。

圖6是對修正步驟和再修正步驟進(jìn)行說明的側(cè)視圖。

圖7的(A)是示出通過第1實(shí)施方式的修整工具對切削刀具的前端形狀進(jìn)行成形的樣子的剖視圖，圖7的(B)是示出所成形的切削刀具的前端形狀的剖視圖。

圖8的(A)～圖8的(C)是示出通過第1實(shí)施方式的修整工具對切削刀具進(jìn)行了修整后的槽的形狀的變化的剖視圖，圖8的(A1)～圖8的(C1)是示出與圖8的(A)～圖8的(C)對應(yīng)的切削刀具的前端形狀的剖視圖。

圖9的(A)是示出通過第2實(shí)施方式的修整工具對切削刀具的前端形狀進(jìn)行成形的樣子的剖視圖，圖9的(B)是成形后的切削刀具前端的剖視圖。

圖10的(A)是示出通過第3實(shí)施方式的修整工具對切削刀具的前端進(jìn)行成形的樣子的剖視圖，圖10的(B)是成形后的切削刀具前端的剖視圖。

標(biāo)號說明

2：切削裝置；8：切削單元；10：切削刀具；12：卡盤工作臺；24：主軸；26：刀具座；30：固定凸緣；36：裝拆凸緣；40：修整工具；42：槽。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)地說明。參照圖1，示出了切削裝置2的立體圖。切削裝置2中，示出了對切削裝置2的各構(gòu)造部分進(jìn)行支承的基座4。在基座4的上方設(shè)置有覆蓋基座的外裝罩6。

在外裝罩6的內(nèi)側(cè)形成有空間，在該空間內(nèi)配置有具有切削刀具10的切削單元8和卡盤工作臺12等。切削單元8通過未圖示的切削單元移動機(jī)構(gòu)在Y軸方向(分度進(jìn)給方向)上移動。

在切削單元8的下方配設(shè)有對晶片等被加工物進(jìn)行保持的卡盤工作臺12。卡盤工作臺12通過未圖示的卡盤工作臺移動機(jī)構(gòu)在X軸方向(加工進(jìn)給方向)上移動，并通過旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)繞與鉛垂方向(Z軸方向)平行的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。

在基座4的前方的角部配置有盒升降機(jī)16。在盒升降機(jī)16的上表面載置有能夠?qū)榷鄠€被加工物11進(jìn)行收納的盒18。盒升降機(jī)16構(gòu)成為能夠升降，其對盒18的高度進(jìn)行調(diào)整以使被加工物11能夠被適當(dāng)?shù)匕岢?搬入。

在外裝罩6的前表面6a配設(shè)有作為用戶界面的觸屏式的監(jiān)視器14。該監(jiān)視器14與上述的切削單元8、切削單元移動機(jī)構(gòu)、卡盤工作臺12、卡盤工作臺移動機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、盒升降機(jī)16等一同與對切削裝置2的各部分進(jìn)行控制的控制器連接。

參照圖2，示出了將切削刀具10安裝在刀具座26上的樣子的分解立體圖，該刀具座26固定在主軸24的前端。切削單元8包含以自由旋轉(zhuǎn)的方式收納在主軸外殼20中的主軸24，刀具座26安裝在主軸24的前端部并通過螺母34固定。

刀具座26由凸臺部28和與凸臺部28形成為一體的固定凸緣30構(gòu)成，在凸臺部28的外周形成有外螺紋32。在固定凸緣30的外周部形成有與切削刀具10抵接而進(jìn)行支承的環(huán)狀的支承面30a。

將刀具座26的凸臺部28插入切削刀具10的安裝孔10a，再將裝拆凸緣36插入到凸臺部28，將固定螺母38與形成在刀具座26的凸臺部28上的外螺紋32螺合而緊固，由此，切削刀具10從兩側(cè)被固定凸緣30的支承面30a和裝拆凸緣36的抵接面夾住而安裝在主軸24的前端部。

優(yōu)選在將切削刀具10安裝在主軸24的前端部之后，通過高速旋轉(zhuǎn)的切削刀具10對保持在卡盤工作臺12上的修整工具(修整板)進(jìn)行切削，由此，將切削刀具10的外周整形為正圓。

參照圖3，示出了本發(fā)明實(shí)施方式的修整工具(修整板)40的立體圖。該修整工具40是將切削刀具10的前端成形為希望的形狀的修整工具，其特征在于在正面40a上互相平行地形成有多條與希望的形狀為反轉(zhuǎn)形狀的槽42。優(yōu)選各槽42的深度相同。

修整工具40由以下方式制造：通過金屬粘合劑、玻璃質(zhì)粘合劑、樹脂粘合劑等將金剛石、CBN(Cubic Boron Nitride：立方氮化硼)等超磨粒和WA(White Alundum：白剛玉)、GC(Green Carborundum：綠色金剛砂)等一般磨粒固定成片狀而形成生片，在對該生片進(jìn)行燒結(jié)之后，通過堅(jiān)硬且具有結(jié)實(shí)的切削刃的切削刀具以規(guī)定的深度對正面40a進(jìn)行切削。

作為這樣的切削刀具的一例，能夠使用通過鍍鎳將金剛石等超磨粒電鑄粘結(jié)在圓盤狀的SUS板(不銹鋼板)的外周部前端的墊圈類型的刀具。

作為代替實(shí)施方式，也可以對修整工具40的正面40a照射對于修整工具40具有吸收性的波長(例如355nm)的功率比較強(qiáng)的激光束而通過燒蝕來形成槽42。在本實(shí)施方式的修整工具40中，槽42的截面形狀為具有規(guī)定的深度和規(guī)定的寬度的長方形。另外，也可以使用軟鋼、SUS等來作為修整工具。

以下，對使用修整工具40將切削刀具10的前端成形為希望的形狀的切削刀具的成形方法進(jìn)行說明。首先，如圖4所示，將修整工具40粘接在劃片帶T上而形成修整工具單元，該劃片帶T的外周部被安裝在環(huán)狀框架F上。

在將該修整工具單元插入到圖1所示的盒18中并從盒18中搬出之后通過搬送單元將其搬送至卡盤工作臺12上，如圖5所示，利用卡盤工作臺12隔著劃片帶T對修整工具40進(jìn)行吸引保持(保持步驟)。

在圖5中，切削刀具10被輪罩44覆蓋，輪罩44的管46與提供純水等切削水的切削水供給源連接。管46與以夾著切削刀具10的方式設(shè)置的切削水噴嘴48連接。但是，在進(jìn)行由修整工具40所進(jìn)行的切削刀具10的前端形狀成形時以不從切削水噴嘴48提供切削水的方式實(shí)施切削刀具的修整。另外，也可以根據(jù)需要提供切削水。

接著，如圖5和圖6所示，一邊使切削刀具10向箭頭R1方向高速旋轉(zhuǎn)一邊使其以比槽42的深度淺的切入深度切入到卡盤工作臺12上所保持的修整工具40的第1槽42中，并在圖6中箭頭X1方向上對保持修整工具40的卡盤工作臺12進(jìn)行加工進(jìn)給，由此，利用切削刀具10對修整工具40進(jìn)行切削，對切削刀具10的前端形狀進(jìn)行修正(修正步驟)。

通過實(shí)施該修正步驟，修整工具40的第1槽42部分被切削而形成除了槽42的前端部分以外具有與切削刀具10的寬度大致相同的寬度的切削槽。切削刀具10的前端部兩側(cè)面被修整工具40稍微切削。

在實(shí)施了修正步驟之后，實(shí)施再修正步驟，以與修正步驟相同的切入深度使切削刀具10切入與第1槽42不同的第2槽42，并在箭頭X1方向上對卡盤工作臺12進(jìn)行加工進(jìn)給，對切削刀具10的前端形狀進(jìn)行再修正。

在圖8的(A)中示出了多次實(shí)施該再修正步驟之后的修整工具40的槽42的形狀。修整工具40除了槽42的前端部分以外被切削刀具10切削，而形成寬度較寬的槽42a。

在圖8的(A1)中示出了此時的切削刀具10的前端形狀，切削刀具10的前端部分的側(cè)面以與槽42a對應(yīng)的方式被削刮，在前端形成有與槽42的形狀對應(yīng)的凸部10b。

在進(jìn)一步地多次重復(fù)進(jìn)行再修正步驟之后，如圖8的(B)所示，修整工具40被切削刀具10切削，而在修整工具40的正面40a附近形成寬度比槽42的寬度寬的槽42b。該再修正步驟結(jié)束后的切削刀具10的形狀成為圖8的(B1)所示的形狀，在前端形成與槽42的形狀對應(yīng)的凸部10b。

在變更槽42而進(jìn)一步地多次重復(fù)進(jìn)行再修正步驟之后，如圖8的(C)所示，修整工具40被切削刀具10切削，而在修整工具40的正面40a附近形成與槽42連接的如圖8的(B)所示的寬度比槽42b小的槽42c。

該再修正步驟結(jié)束后的切削刀具10的前端形狀如圖8的(C1)所示，在切削刀具10的前端形成有與槽42的形狀對應(yīng)的凸部10b。

通過進(jìn)一步地多次重復(fù)進(jìn)行再修正步驟，如圖7的(A)所示，修整工具40的槽42以幾乎不被切削刀具10切削的方式以與原來的槽42的形狀大致對應(yīng)的狀態(tài)殘存。至此，再修正步驟結(jié)束，如圖7的(B)所示，能夠?qū)⑶邢鞯毒?0的前端成形為具有規(guī)定的長度的凸部10b的希望的形狀。

以下，對本發(fā)明實(shí)施例的切削刀具的前端形狀成形方法進(jìn)行說明。

(實(shí)施例1)

切削刀具：#800的金剛石磨粒的樹脂刀具

厚度：0.3mm

修整工具：WA#1000(玻璃質(zhì)粘合劑)

槽寬度：0.1mm

槽深度：0.7mm

(加工條件)

主軸轉(zhuǎn)速：20000rpm

加工進(jìn)給速度：0.5mm/s

切入深度：0.5mm

槽的切削條數(shù)：50條

在按照上述的條件通過修整工具40來對切削刀具10的前端進(jìn)行成形時，能夠在切削刀具10的前端成形出圖7的(B)所示的、具有與槽42的寬度對應(yīng)的0.1mm的寬度并且突出長度為0.5mm的凸部10b。

希望的形狀并不限定為圖7所示的長方形狀，例如當(dāng)通過具有圖9的(A)所示的槽42A的形狀的修整工具40A來對切削刀具10的前端進(jìn)行成形時，如圖9的(B)所示，能夠?qū)⑶邢鞯毒?0A的前端成形為與槽42A的形狀對應(yīng)的凸部10c。

進(jìn)而，作為其他的實(shí)施方式，通過具有圖10的(A)所示的槽形狀42B的修整工具40B來對切削刀具10的前端進(jìn)行成形，由此，能夠?qū)⑶邢鞯毒?0B的前端形狀成形為圖10的(B)所示的凸部10d。

另外，也能夠在比較長的修整工具上形成規(guī)定的形狀的槽，對切削刀具10進(jìn)行切削而通過一次切削將切削刀具10的前端形成為希望的形狀。