技術(shù)總結(jié)
一種熱絲化學(xué)氣相沉積爐進(jìn)出氣氣路裝置及方法，屬于熱絲化學(xué)氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域。圓柱形腔體的上側(cè)頂角部位沿45度角焊接進(jìn)氣擋板，進(jìn)氣擋板與腔室頂角部形成一個(gè)密閉的進(jìn)氣室，氣擋板分布有進(jìn)氣孔，進(jìn)氣室連接進(jìn)氣口，圓柱形腔體的真空腔室內(nèi)的底部連接電極柱、抽氣室，抽氣室連接升降主軸和抽氣口，升降主軸連接基片臺(tái)，電極柱連接熱絲，抽氣室有抽氣室壁，抽氣室與升降主軸之間有間縫隙。本發(fā)明可以解決熱絲化學(xué)氣相沉積設(shè)備沉積腔室中反應(yīng)氣體分布不均勻的問題，同時(shí)也不易產(chǎn)生粉塵、顆粒掉落到沉積基體表面。

技術(shù)研發(fā)人員：李衛(wèi)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：廊坊西波爾鉆石技術(shù)有限公司
文檔號(hào)碼：201610528450
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.06
技術(shù)公布日：2016.12.07