技術(shù)編號：11937670
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種熱絲化學(xué)氣相沉積爐進(jìn)出氣氣路裝置及方法，屬于熱絲化學(xué)氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)上世紀(jì)80年代初，歐美日等發(fā)達(dá)國家掀起了化學(xué)氣相沉積合成金剛石膜新材料的研究，到90年代，從理論上基本上摸清了化學(xué)氣相沉積金剛石膜的生長機(jī)制，進(jìn)入21世紀(jì)，無論從沉積技術(shù)，加工技術(shù)還是應(yīng)用方面都取得了極大的進(jìn)展。這期間，人們開發(fā)了熱絲CVD法，直流等離子CVD法，射頻等離子CVD法，微波等離子CVD法，直流電弧等離子CVD法，火焰燃燒CVD法，甚至激光CVD法等，經(jīng)過20多年的發(fā)展，就其產(chǎn)業(yè)化規(guī)模和影響力...
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