1.一種熱絲化學(xué)氣相沉積爐進(jìn)出氣氣路裝置，其特征在于圓柱形腔體的上側(cè)頂角部位沿45度角焊接進(jìn)氣擋板，進(jìn)氣擋板與腔室頂角部形成一個密閉的進(jìn)氣室，氣擋板分布有進(jìn)氣孔，進(jìn)氣室連接進(jìn)氣口，圓柱形腔體的真空腔室內(nèi)的底部連接電極柱、抽氣室，抽氣室連接升降主軸和抽氣口，升降主軸連接基片臺，電極柱連接熱絲，抽氣室有抽氣室壁，抽氣室與升降主軸之間有間縫隙。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種熱絲化學(xué)氣相沉積爐進(jìn)出氣氣路裝置，其特征在于氣擋板上沿中間水平方向均勻地鉆幾十個小孔作為進(jìn)氣孔；進(jìn)氣孔的數(shù)量大于2。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種熱絲化學(xué)氣相沉積爐進(jìn)出氣氣路裝置，其特征在于進(jìn)氣室為進(jìn)氣管道，進(jìn)氣管道安裝在圓柱形腔體的頂部，進(jìn)氣管道上分布有進(jìn)氣孔，進(jìn)氣孔的數(shù)量大于2，進(jìn)氣口連接進(jìn)氣管道。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種熱絲化學(xué)氣相沉積爐進(jìn)出氣氣路裝置，其特征在于進(jìn)氣孔包括第一進(jìn)氣孔和第二進(jìn)氣孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種熱絲化學(xué)氣相沉積爐進(jìn)出氣氣路裝置，其特征在于在沉積腔室底部，電極柱和升降主軸之間焊接一個金屬罩作為抽氣室壁，在抽氣室壁下面的沉積腔室底部上開口作為抽氣口，抽氣室壁與沉積腔室底部形成抽氣室，抽氣室與升降主軸的間縫隙就成為了一個均勻出氣的抽氣通道。
6.一種熱絲化學(xué)氣相沉積爐進(jìn)出氣氣路方法，其特征在于含有以下步驟；
在化學(xué)氣相沉積爐腔室中安裝進(jìn)氣室和抽氣室作為緩沖，從進(jìn)氣室上均勻分布的進(jìn)氣孔進(jìn)氣，從抽氣室與升降主軸間縫隙出氣；
在腔室頂角部位沿45度角焊接一塊金屬板作為進(jìn)氣擋板，形成一個環(huán)狀的進(jìn)氣室；
在沉積腔室底部、電極柱和升降主軸之間焊接一個抽氣罩，抽氣罩與沉積腔室底部、升降主軸之間形成的空間；
在進(jìn)氣室擋板上沿中間水平方向均勻地鉆的幾十個小孔作為進(jìn)氣孔；
還包括如下步驟；
在腔室外壁上開口作為外部進(jìn)氣口，在進(jìn)氣擋板上沿中間水平方向均勻地鉆幾十個小孔作為進(jìn)氣孔；
在沉積腔室底部，電極柱和升降主軸之間焊接一個金屬罩作為抽氣室壁，在抽氣室壁下面的沉積腔室底部上開口作為抽氣口，抽氣室壁與沉積腔室底部形成抽氣室，抽氣室與升降主軸間縫隙就成為了一個均勻出氣的抽氣通道。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種熱絲化學(xué)氣相沉積爐進(jìn)出氣氣路方法，其特征在于外部氣體首先通過進(jìn)氣口進(jìn)入腔室上部的進(jìn)氣室，緩沖后通過幾十個進(jìn)氣孔流動到熱絲上方，最后從抽氣室與升降主軸間縫隙進(jìn)入抽氣室，緩沖后從抽氣口被抽到沉積腔室外。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種熱絲化學(xué)氣相沉積爐進(jìn)出氣氣路方法，其特征在于進(jìn)氣室和抽氣室體積遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于進(jìn)氣孔和抽氣縫，從而使進(jìn)氣和出氣非常均勻。