技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種研磨裝置，其能夠防止?jié){液的霧的飛散。研磨裝置(10)具備：保持工件(20)的研磨頭(18)；在表面上粘貼有研磨墊(16)的定盤(12)；將研磨用的漿液供給到研磨墊上的漿液供給部(24)；漿液接收件(26)，其沿著定盤的外周設(shè)置，接收從研磨墊流下的漿液；以及運(yùn)動機(jī)構(gòu)，其使研磨頭(18)和定盤相對運(yùn)動，特征在于，研磨裝置具備成環(huán)狀的漿液飛散防止用罩(34)，該漿液飛散防止用罩在與研磨墊的外周部上表面之間隔開間隙而覆蓋研磨墊的外周部上表面，并且覆蓋漿液接收件的上側(cè)開口部，其中，所述間隙是能夠使從漿液供給部供給到研磨墊上的漿液在研磨墊上向外側(cè)流動的間隙。

技術(shù)研發(fā)人員：宮下忠一;市川大造;瀨下清;大坪正德
受保護(hù)的技術(shù)使用者：不二越機(jī)械工業(yè)株式會社;國立大學(xué)法人九州大學(xué)
文檔號碼：201610481878
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.27
技術(shù)公布日：2017.01.11