技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種不使用光纖的光程切換器，而使用多個(gè)光傳感器能夠測(cè)定晶圓膜厚的研磨裝置，該研磨裝置具備：具有配置于研磨臺(tái)(3)中不同位置的多個(gè)頂端(34a、34b)的投光光纖(34)；按照波長(zhǎng)分解來(lái)自晶圓W的反射光，并測(cè)定各波長(zhǎng)的反射光強(qiáng)度的分光器(26)；具有配置于研磨臺(tái)(3)中不同位置的多個(gè)頂端(50a、50b)的受光光纖50)；以及生成表示反射光的強(qiáng)度與波長(zhǎng)的關(guān)系的分光波形的處理部(27)。處理部(27)根據(jù)分光波形確定膜厚。

技術(shù)研發(fā)人員：金馬利文
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社荏原制作所
文檔號(hào)碼：201610382395
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.01
技術(shù)公布日：2016.12.21