技術特征：

技術總結(jié)
本發(fā)明涉及一種氣相沉積設備。本發(fā)明一種制備石墨烯、六角氮化硼等薄膜材料的化學氣相沉積裝置，所述裝置包括兩個獨立的真空腔體——主腔體（1）和副腔體（2）、加熱裝置（3）、測溫裝置、供氣裝置、抽氣裝置、冷凝裝置、傳動裝置（4）、插板閥（5）及硼氮蒸發(fā)源（6）。其中主腔體（1）用于薄膜材料的制備，副腔體（2）用于硼氮源的洗氣。本發(fā)明采用不銹鋼腔壁，使用分子泵+機械泵的抽氣裝置，本底真空可達到10-8mbar，充分減少雜質(zhì)氣體分子對生長過程造成的影響。采用內(nèi)加熱方式，不僅能降低能耗，而且能形成溫度更均勻的恒溫區(qū)，而溫度測量采用直接測量樣品或者充分靠近樣品，從而得到更準確的溫度參數(shù)。設計內(nèi)加熱裝置的移動降溫功能，實現(xiàn)快速降溫，有效減少降溫過程中碳原子的析出。

技術研發(fā)人員：董國材;張祥;唐琪雯
受保護的技術使用者：常州國成新材料科技有限公司
技術研發(fā)日：2016.02.23
技術公布日：2017.08.29