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銅銦鎵硒靶材金屬化層的制備方法與流程

文檔序號(hào):11429014閱讀:372來(lái)源:國(guó)知局

本發(fā)明涉及一種銅銦鎵硒靶材的制備方法。



背景技術(shù):

銅銦鎵硒是薄膜太陽(yáng)能電池光吸收層材料,具有抗輻射能力強(qiáng),工作性能穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn),在制備銅銦鎵硒薄膜過(guò)程中,需要銅銦鎵硒靶材與銅背靶良好接觸,實(shí)現(xiàn)良好的導(dǎo)電、導(dǎo)熱效果。目前能夠?qū)崿F(xiàn)靶材與金屬連接的常見(jiàn)工藝有釬焊法,熔焊法。對(duì)于銅銦鎵硒靶材來(lái)說(shuō),由于這種靶材脆性大,易于揮發(fā),熔焊法不適用;而釬焊法焊接無(wú)機(jī)非金屬靶材時(shí)需要靶面金屬化,以適合用常規(guī)的釬料焊接。目前常用的金屬化工藝有銀漿燒結(jié)法、蒸發(fā)法、濺射法、噴涂法等,這些工藝形成的金屬化層與基體結(jié)合作用較弱,不能形成冶金結(jié)合,導(dǎo)電、導(dǎo)熱能力差,不能滿足太陽(yáng)能電池鍍膜所要求的工藝條件,鍍出的膜厚度均勻性和成分均勻性差。要實(shí)現(xiàn)靶材與金屬化層的冶金結(jié)合,需要靶材與金屬化層的元素相互擴(kuò)散,達(dá)到一體化的目的。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

針對(duì)所提到的問(wèn)題,本發(fā)明提供了一種銅銦鎵硒靶材金屬化層的制備方法,步驟包括:

1)按重量份數(shù)比為8~10:23~26:7~9選取銅、銦、鎵原料,破碎成粗粉,混合均勻;

2)將破碎后的粗粉進(jìn)行氣流磨制,制得粉末,所述粉末粒度為4.5~5.5μm;

3)將氣流磨制后的混合粉末裝入反應(yīng)釜中,抽真空后向反應(yīng)釜內(nèi)充入氬氣,所述氬氣的壓強(qiáng)為0.3~0.5mpa,流量為30~40cc/min;

4)將所述反應(yīng)釜升溫至300~400℃,保溫1~3h;

5)將所述反應(yīng)釜升溫至600~800℃,保溫2~4h;

6)將所述反應(yīng)釜升溫至900~1100℃,保溫3~5h;

7)冷卻所述反應(yīng)釜至80~100℃,得到銅銦鎵合金;

8)將所述銅銦鎵合金與硒粉分別裝入石英管的兩端,并對(duì)石英管進(jìn)行抽真空操作,真空度達(dá)到1×10-1~1×10-4后封閉石英管;

9)采用管式爐對(duì)裝有銅銦鎵合金一端加熱至1050~1100℃,并保持溫度;

10)管式爐加熱裝有銅銦鎵合金一端的同時(shí)加熱裝有硒粉一端,所述硒粉一端升溫至400~450℃,保溫20~30min,然后加熱至500~550℃,保溫6~9h,然后加熱至800℃,并保持溫度;

11)將裝有銅銦鎵合金一端降溫至800℃,使銅銦鎵與硒在800℃下反應(yīng)20~30h;

12)關(guān)閉管式爐,停止加熱,冷卻至室溫,得到銅銦鎵硒合金錠;

13)將所述銅銦鎵硒合金錠破碎成直徑為1~3mm的合金塊,置于球磨機(jī)內(nèi)以300~500r/min的轉(zhuǎn)速球磨0.5~1h,再過(guò)100目以上篩,獲得銅銦鎵硒粉末;

14)將厚度為8~13mm的石墨墊板置于熱壓爐模具的下壓頭上,然后將厚度為18~23mm的銅片放在石墨墊板上,在所述銅片的一面加工出深度為12~15mm的凹槽,所述凹槽位于所述銅片的中心部,所述凹槽的面積不小于銅片面積的2/3;

15)將步驟13制得的銅銦鎵硒粉末放入凹槽內(nèi),再放入上壓頭;

16)將熱壓爐模具放入熱壓爐中進(jìn)行熱壓燒結(jié),將所述熱壓爐升溫至300~400℃,保溫1~3h,將所述熱壓爐升溫至500~600℃,保溫2~5h,將所述熱壓爐升溫至650~700℃,保衛(wèi)0.5~1.2h;

17)將靶材從熱壓爐中取出。

優(yōu)選方案是:采用氫爆破碎銅、銦、鎵原料。

優(yōu)選方案是:?jiǎn)钨|(zhì)銅、銦、鎵、硒為是純度99.999%的5n銅、5n銦、5n鎵和5n硒。

優(yōu)選方案是:所述升溫速率為90~100℃/h。

優(yōu)選方案是:所述反應(yīng)釜為一體式完全封閉結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選方案是:所述反應(yīng)釜以角速度0.8度/秒搖擺運(yùn)動(dòng)。

本發(fā)明提供的新型銅銦鎵硒靶材金屬化層制備方法具有如下優(yōu)點(diǎn):

1、導(dǎo)電、導(dǎo)熱性能好,由于獲得的金屬化層與靶材基體形成冶金結(jié)合,靶材基體與金屬化層結(jié)合率接近100%,界面電阻非常低,而且能有效將熱從靶面導(dǎo)出;

2、成本低,與靶材制備過(guò)程同步,大大降低生產(chǎn)成本。

具體實(shí)施方式

下面對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明,以令本領(lǐng)域技術(shù)人員參照說(shuō)明書文字能夠據(jù)以實(shí)施。

應(yīng)當(dāng)理解,本文所使用的諸如“具有”、“包含”以及“包括”術(shù)語(yǔ)并不配出一個(gè)或多個(gè)其它元件或其組合的存在或添加。

實(shí)施例1

本實(shí)施例提供了一種銅銦鎵硒靶材金屬化層的制備方法,步驟包括:

1)按重量份數(shù)比為8:23:7選取銅、銦、鎵原料,采用氫爆破碎成粗粉,混合均勻,單質(zhì)銅、銦、鎵、硒為是純度99.999%的5n銅、5n銦、5n鎵和5n硒;

2)將破碎后的粗粉進(jìn)行氣流磨制,制得粉末,所述粉末粒度為4.5μm;

3)將氣流磨制后的混合粉末裝入反應(yīng)釜中,抽真空后向反應(yīng)釜內(nèi)充入氬氣,所述氬氣的壓強(qiáng)為0.3mpa,流量為30cc/min,所述反應(yīng)釜為一體式完全封閉結(jié)構(gòu),所述反應(yīng)釜以角速度0.8度/秒搖擺運(yùn)動(dòng);

4)將所述反應(yīng)釜升溫至300℃,保溫1h;

5)將所述反應(yīng)釜升溫至600℃,保溫2h;

6)將所述反應(yīng)釜升溫至900℃,保溫3h;

7)冷卻所述反應(yīng)釜至80℃,得到銅銦鎵合金;

8)將所述銅銦鎵合金與硒粉分別裝入石英管的兩端,并對(duì)石英管進(jìn)行抽真空操作,真空度達(dá)到1×10-1~1×10-4后封閉石英管;

9)采用管式爐對(duì)裝有銅銦鎵合金一端加熱至1050℃,升溫速率為90℃/h,并保持溫度;

10)管式爐加熱裝有銅銦鎵合金一端的同時(shí)加熱裝有硒粉一端,所述硒粉一端升溫至400℃,保溫20min,然后加熱至500℃,保溫6h,然后加熱至800℃,并保持溫度;

11)將裝有銅銦鎵合金一端降溫至800℃,使銅銦鎵與硒在800℃下反應(yīng)20h;

12)關(guān)閉管式爐,停止加熱,冷卻至室溫,得到銅銦鎵硒合金錠;

13)將所述銅銦鎵硒合金錠破碎成直徑為1mm的合金塊,置于球磨機(jī)內(nèi)以300r/min的轉(zhuǎn)速球磨0.5h,再過(guò)100目以上篩,獲得銅銦鎵硒粉末;

14)將厚度為8mm的石墨墊板置于熱壓爐模具的下壓頭上,然后將厚度為18mm的銅片放在石墨墊板上,在所述銅片的一面加工出深度為12mm的凹槽,所述凹槽位于所述銅片的中心部,所述凹槽的面積不小于銅片面積的2/3;

15)將步驟13制得的銅銦鎵硒粉末放入凹槽內(nèi),再放入上壓頭;

16)將熱壓爐模具放入熱壓爐中進(jìn)行熱壓燒結(jié),將所述熱壓爐升溫至300℃,保溫1h,將所述熱壓爐升溫至500℃,保溫2h,將所述熱壓爐升溫至650℃,保衛(wèi)0.5h;

17)將靶材從熱壓爐中取出。

金屬化層與靶材基體形成冶金結(jié)合,靶材基體與金屬化層結(jié)合率大于98%,能有效將熱從靶面導(dǎo)出。

實(shí)施例2

本實(shí)施例提供了一種銅銦鎵硒靶材金屬化層的制備方法,步驟包括:

1)按重量份數(shù)比為10:26:9選取銅、銦、鎵原料,采用氫爆破碎成粗粉,混合均勻,單質(zhì)銅、銦、鎵、硒為是純度99.999%的5n銅、5n銦、5n鎵和5n硒;

2)將破碎后的粗粉進(jìn)行氣流磨制,制得粉末,所述粉末粒度為5.5μm;

3)將氣流磨制后的混合粉末裝入反應(yīng)釜中,抽真空后向反應(yīng)釜內(nèi)充入氬氣,所述氬氣的壓強(qiáng)為0.5mpa,流量為40cc/min,所述反應(yīng)釜為一體式完全封閉結(jié)構(gòu),所述反應(yīng)釜以角速度0.8度/秒搖擺運(yùn)動(dòng);

4)將所述反應(yīng)釜升溫至400℃,保溫3h;

5)將所述反應(yīng)釜升溫至800℃,保溫4h;

6)將所述反應(yīng)釜升溫至1100℃,保溫5h;

7)冷卻所述反應(yīng)釜至100℃,得到銅銦鎵合金;

8)將所述銅銦鎵合金與硒粉分別裝入石英管的兩端,并對(duì)石英管進(jìn)行抽真空操作,真空度達(dá)到1×10-1~1×10-4后封閉石英管;

9)采用管式爐對(duì)裝有銅銦鎵合金一端加熱至1100℃,升溫速率為100℃/h,并保持溫度;

10)管式爐加熱裝有銅銦鎵合金一端的同時(shí)加熱裝有硒粉一端,所述硒粉一端升溫至450℃,保溫30min,然后加熱至550℃,保溫9h,然后加熱至800℃,并保持溫度;

11)將裝有銅銦鎵合金一端降溫至800℃,使銅銦鎵與硒在800℃下反應(yīng)30h;

12)關(guān)閉管式爐,停止加熱,冷卻至室溫,得到銅銦鎵硒合金錠;

13)將所述銅銦鎵硒合金錠破碎成直徑為3mm的合金塊,置于球磨機(jī)內(nèi)以500r/min的轉(zhuǎn)速球磨1h,再過(guò)100目以上篩,獲得銅銦鎵硒粉末;

14)將厚度為13mm的石墨墊板置于熱壓爐模具的下壓頭上,然后將厚度為18~23mm的銅片放在石墨墊板上,在所述銅片的一面加工出深度為15mm的凹槽,所述凹槽位于所述銅片的中心部,所述凹槽的面積不小于銅片面積的2/3;

15)將步驟13制得的銅銦鎵硒粉末放入凹槽內(nèi),再放入上壓頭;

16)將熱壓爐模具放入熱壓爐中進(jìn)行熱壓燒結(jié),將所述熱壓爐升溫至400℃,保溫3h,將所述熱壓爐升溫至600℃,保溫2~5h,將所述熱壓爐升溫至700℃,保衛(wèi)1.2h;

17)將靶材從熱壓爐中取出。

金屬化層與靶材基體形成冶金結(jié)合,靶材基體與金屬化層結(jié)合率大于98.5%,能有效將熱從靶面導(dǎo)出。

盡管本發(fā)明的實(shí)施方案已公開(kāi)如上,但其并不僅僅限于說(shuō)明書和實(shí)施方式中所列運(yùn)用,它完全可以被適用于各種適合本發(fā)明的領(lǐng)域,對(duì)于熟悉本領(lǐng)域的人員而言,可容易地實(shí)現(xiàn)另外的修改,因此在不背離權(quán)利要求及等同范圍所限定的一般概念下,本發(fā)明并不限于特定的細(xì)節(jié)。

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