本發(fā)明涉及上下掩膜板校準(zhǔn)的技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種石英晶體振蕩器真空濺射鍍膜掩膜板的校準(zhǔn)裝置及方法。

背景技術(shù)：

石英晶體振蕩器是一種高精度和高穩(wěn)定度的振蕩器，被廣泛應(yīng)用于遠(yuǎn)程通信、衛(wèi)星通信、移動電話系統(tǒng)、全球定位系統(tǒng)（gps）、導(dǎo)航、遙控、航空航天、高速計(jì)算機(jī)、精密計(jì)測儀器及消費(fèi)類民用電子產(chǎn)品中。因其具有頻率穩(wěn)定度高這一特點(diǎn),故在電子技術(shù)領(lǐng)域中一直占有重要的地位。近年來，隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，對石英晶體振蕩器的尺寸、質(zhì)量、穩(wěn)定性不斷的提出新的要求。隨著石英晶體振蕩器的尺寸的減小，以及通信產(chǎn)業(yè)的快速普及，生產(chǎn)石英晶體振蕩器的實(shí)際問題也愈發(fā)明顯。

目前有一種掩膜板包括上掩膜板（1）和下掩膜板（2），如圖1所示，上掩膜板（1）的外邊緣為上邊框，下掩膜板（2）的外邊緣為下邊框，上邊框和下邊框的一側(cè)邊均開設(shè)有兩個v形槽（3），且上邊框和下邊框上均開設(shè)有邊緣孔（4），上掩膜板（1）和下掩膜板（2）的中部均開設(shè)有呈陣列的孔，石英晶片在真空濺射鍍膜時，需將石英晶片夾在上掩膜板（1）的孔和下掩膜板（2）的孔之間，隨后才能進(jìn)行真空鍍膜，實(shí)現(xiàn)石英晶片上下表面的鍍膜。因此必須保證上掩膜板（1）的孔和下掩膜板（2）的孔對齊，否成會影響鍍膜質(zhì)量，對齊操作是將上下掩膜板的兩個臨邊平齊。目前的校準(zhǔn)方法主要采用人工在高倍顯微鏡下進(jìn)行目測校準(zhǔn)，由于產(chǎn)品電極尺寸要求小，人工在操作過程中需要非常精準(zhǔn)的將上下掩膜板對齊，此過程難度較大，且需要技術(shù)熟練員工操作，總之，現(xiàn)有技術(shù)存在準(zhǔn)確性差、重復(fù)性不好等缺點(diǎn)，會對電極帶來錯位等缺陷，嚴(yán)重影響產(chǎn)品質(zhì)量以及生產(chǎn)效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，提供一種結(jié)構(gòu)緊湊、提高校準(zhǔn)效率、減輕勞動強(qiáng)度、操作簡單的石英晶體振蕩器真空濺射鍍膜掩膜板的校準(zhǔn)裝置及方法。

本發(fā)明的目的通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：一種石英晶體振蕩器真空濺射鍍膜掩膜板的校準(zhǔn)裝置，它包括底板、定位板和校正板，所述的定位板固定于底板的頂部，定位板縱向設(shè)置，定位板的右端面上由前往后順次布置有四個定位柱，定位柱截面呈三角形，所述的底板的頂表面上且位于定位板的右側(cè)設(shè)置有凹槽、第一腰形孔和第二腰形孔，凹槽內(nèi)設(shè)置有電磁鐵，腰形孔縱向設(shè)置，所述校正板放置于底板上且遮蓋腰形孔和電磁鐵，校正板的邊緣上設(shè)置有兩個v形卡槽，v形卡槽分別卡于位于定位板前側(cè)的兩個定位柱上，v形卡槽的夾角大于定位柱頂角，它還包括第一定位桿和第二定位桿，第一定位桿的下端部貫穿校正板且抵于第一腰形孔內(nèi)，第二定位桿的下端部穿過校正板且抵于第二腰形孔內(nèi)，定位桿的外徑小于腰形孔的寬度。

所述的定位板經(jīng)螺釘螺紋連接于底板上。

所述的第一腰形孔位于第二腰形孔的后側(cè)。

所述的校正板為矩形狀。

所述的裝置校準(zhǔn)石英晶體振蕩器真空濺射鍍膜掩膜板的方法，它包括以下步驟：

s1、待校準(zhǔn)下掩膜板的工裝：將待校準(zhǔn)下掩膜板平放置于底板頂表面且放置于校正板的后側(cè)，并將待校準(zhǔn)下掩膜板的v形槽分別卡于位于定位板后側(cè)的定位柱上，從而實(shí)現(xiàn)了待校準(zhǔn)下掩膜板的工裝；

s2、待校準(zhǔn)上掩膜板的工裝：將待校準(zhǔn)上掩膜板平放置于步驟s1中待校準(zhǔn)下掩膜板的頂表面，并將待校準(zhǔn)上掩膜板的v形槽分別卡于位于定位板后側(cè)的定位柱上，從而實(shí)現(xiàn)了待校準(zhǔn)上掩膜板的工裝；

s3、待校準(zhǔn)上下掩膜板的校準(zhǔn)：先將電磁鐵斷電，電磁鐵與校正板分離，再同時向后推動第一定位桿和第二定位桿，第一定位桿沿著第一腰形孔移動，第二定位桿沿著第二腰形孔移動，此時校正板同時靠在待校準(zhǔn)上掩膜板和待校準(zhǔn)下掩膜板的前邊上，從而保證待校準(zhǔn)上下掩膜板各對應(yīng)邊的平齊，進(jìn)一步的實(shí)現(xiàn)了待校準(zhǔn)上下掩膜板的校準(zhǔn)。

本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)：本發(fā)明結(jié)構(gòu)緊湊、提高校準(zhǔn)效率、減輕勞動強(qiáng)度、操作簡單。

附圖說明

圖1為掩膜板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為圖2的a-a剖視圖；

圖4為圖2的b-b剖視圖；

圖5為底板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中，1-上掩膜板，2-下掩膜板，3-v形槽，4-邊緣孔，5-底板，6-定位板，7-校正板，8-定位柱，9-第一腰形孔，10-第二腰形孔，11-電磁鐵，12-v形卡槽，13-第一定位桿，14-第二定位桿，15-螺釘，16-待校準(zhǔn)下掩膜板，17-待校準(zhǔn)上掩膜板。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進(jìn)一步的描述，本發(fā)明的保護(hù)范圍不局限于以下所述：

如圖2~5所示，一種石英晶體振蕩器真空濺射鍍膜掩膜板的校準(zhǔn)裝置，它包括底板5、定位板6和校正板7，所述的定位板6固定于底板5的頂部，定位板6經(jīng)螺釘15螺紋連接于底板5上，定位板6縱向設(shè)置，定位板6的右端面上由前往后順次布置有四個定位柱8，定位柱8截面呈三角形，所述的底板5的頂表面上且位于定位板6的右側(cè)設(shè)置有凹槽、第一腰形孔9和第二腰形孔10，第一腰形孔9位于第二腰形孔10的后側(cè)，凹槽內(nèi)設(shè)置有電磁鐵11，腰形孔縱向設(shè)置。當(dāng)電磁鐵11得電后，電磁鐵11將底板5吸住；當(dāng)電磁鐵11斷電后，電磁鐵11與底板5分離。

所述校正板7為矩形狀，校正板7由金屬材料構(gòu)成，校正板7放置于底板5上且遮蓋腰形孔和電磁鐵11，校正板7的邊緣上設(shè)置有兩個v形卡槽12，v形卡槽12分別卡于位于定位板6前側(cè)的兩個定位柱8上，v形卡槽12的夾角大于定位柱8頂角。它還包括第一定位桿13和第二定位桿14，第一定位桿13的下端部貫穿校正板7且抵于第一腰形孔9內(nèi)，第二定位桿14的下端部穿過校正板7且抵于第二腰形孔10內(nèi)，定位桿的外徑小于腰形孔的寬度。

所述的裝置校準(zhǔn)石英晶體振蕩器真空濺射鍍膜掩膜板的方法，它包括以下步驟：

s1、待校準(zhǔn)下掩膜板的工裝：將待校準(zhǔn)下掩膜板16平放置于底板5頂表面且放置于校正板7的后側(cè)，并將待校準(zhǔn)下掩膜板16的v形槽3分別卡于位于定位板6后側(cè)的定位柱8上，v形槽3的底部與定位柱8的頂尖重合，從而實(shí)現(xiàn)了待校準(zhǔn)下掩膜板16的工裝；

s2、待校準(zhǔn)上掩膜板的工裝：將待校準(zhǔn)上掩膜板17平放置于步驟s1中待校準(zhǔn)下掩膜板16的頂表面，并將待校準(zhǔn)上掩膜板17的v形槽3分別卡于位于定位板6后側(cè)的定位柱8上，v形槽3的底部與定位柱8的頂尖重合，從而實(shí)現(xiàn)了待校準(zhǔn)上掩膜板17的工裝；

s3、待校準(zhǔn)上下掩膜板的校準(zhǔn)：先將電磁鐵11斷電，電磁鐵11與校正板7分離，再同時向后推動第一定位桿13和第二定位桿14，第一定位桿13沿著第一腰形孔9移動，第二定位桿14沿著第二腰形孔10移動，校正板7向后移動，此時校正板7同時靠在待校準(zhǔn)上掩膜板17和待校準(zhǔn)下掩膜板16的前邊上，從而保證待校準(zhǔn)上下掩膜板各對應(yīng)邊的平齊，進(jìn)一步的實(shí)現(xiàn)了待校準(zhǔn)上下掩膜板的校準(zhǔn)，校準(zhǔn)后將待校準(zhǔn)上下掩膜板連接為一體即可，隨后從底板上取下，為下一次校準(zhǔn)做準(zhǔn)備，具有重復(fù)性好的特點(diǎn)。此外本裝置相比采用人工在高倍顯微鏡下進(jìn)行目測校準(zhǔn)，校準(zhǔn)效率更高，減少了人工校準(zhǔn)帶來的誤差，校準(zhǔn)更加準(zhǔn)確，還降低了工人的勞動強(qiáng)度。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種石英晶體振蕩器真空濺射鍍膜掩膜板的校準(zhǔn)裝置，它包括底板（5）、定位板（6）和校正板（7），定位板（6）固定于底板（5）的頂部，定位板（6）縱向設(shè)置，定位柱（8）截面呈三角形，校正板（7）放置于底板（5）上且遮蓋腰形孔和電磁鐵（11），校正板（7）的邊緣上設(shè)置有兩個V形卡槽（12），它還包括第一定位桿（13）和第二定位桿（14），第一定位桿（13）的下端部貫穿校正板（7）且抵于第一腰形孔（9）內(nèi)，第二定位桿（14）的下端部穿過校正板（7）且抵于第二腰形孔（10）內(nèi)，定位桿的外徑小于腰形孔的寬度；它還公開了校準(zhǔn)方法。本發(fā)明的有益效果是：結(jié)構(gòu)緊湊、提高校準(zhǔn)效率、減輕勞動強(qiáng)度、操作簡單。

技術(shù)研發(fā)人員：李萬輝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東晶銳康晶體（成都）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.28
技術(shù)公布日：2017.08.29