技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種能夠持續(xù)進(jìn)行穩(wěn)定的無火花放電的陰極構(gòu)件及使用其的等離子體裝置。等離子體裝置(100)包括真空容器(1)、用于保持基材(21)的保持構(gòu)件(2)、以及安裝于真空容器(1)上的電弧式蒸發(fā)源(3)。電弧式蒸發(fā)源(2)包括朝向基材(21)而配置的陰極構(gòu)件(32)。陰極構(gòu)件(32)包含玻璃狀碳。陰極構(gòu)件(32)的抗熱震性大于7.9。

技術(shù)研發(fā)人員：加藤健治;高橋正人
受保護(hù)的技術(shù)使用者：日新電機(jī)株式會社
文檔號碼：201580038736
技術(shù)研發(fā)日：2015.07.14
技術(shù)公布日：2017.03.22