技術(shù)編號:12140501
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種真空電弧放電用的陰極構(gòu)件及使用其的等離子體裝置。背景技術(shù)以往,已知有用于真空電弧放電的各種電極構(gòu)件。例如,在專利文獻(xiàn)1中,記載有利用電弧放電的合金鋼的制造中所使用的石墨電極(graphiteelectrode)。專利文獻(xiàn)1中,關(guān)于所述石墨電極,已提出了通過模擬(simulation)來進(jìn)行性能評估的方法?,F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本專利特開平7-209162號公報發(fā)明內(nèi)容[發(fā)明所要解決的課題]且說,作為用于真空電弧放電的陰極構(gòu)件,有包含玻璃狀碳的陰極構(gòu)件。包含玻璃狀碳的陰極...
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