技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種電子束加熱蒸發(fā)源控制器，包括信號(hào)設(shè)定裝置、負(fù)反饋控制器、第一信號(hào)選擇器、數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器、電壓源和乘法器，信號(hào)設(shè)定裝置用于輸出電壓設(shè)定數(shù)字信號(hào)和功率設(shè)定數(shù)字信號(hào)，第一信號(hào)選擇器用于可選擇地使得電壓設(shè)定數(shù)字信號(hào)或負(fù)反饋控制器輸出的控制量傳輸至數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器，數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器用于將接收的電壓設(shè)定數(shù)字信號(hào)或負(fù)反饋控制器輸出的控制量轉(zhuǎn)換為對(duì)應(yīng)的設(shè)定電壓，電壓源用于根據(jù)設(shè)定電壓輸出相對(duì)應(yīng)的輸出電壓，乘法器用于輸出與電壓源的輸出功率對(duì)應(yīng)的功率數(shù)字信號(hào)，負(fù)反饋控制器用于根據(jù)作為其參考輸入量的功率設(shè)定數(shù)字信號(hào)和作為其被控制量的功率數(shù)字信號(hào)輸出所述控制量。本發(fā)明的電子束加熱蒸發(fā)源實(shí)現(xiàn)了恒功率模式。

技術(shù)研發(fā)人員：劉利;郇慶;竺曉山
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國(guó)科學(xué)院物理研究所
文檔號(hào)碼：201510220859
技術(shù)研發(fā)日：2015.05.04
技術(shù)公布日：2016.12.07