技術(shù)編號(hào):11937637
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及電氣控制裝置,具體涉及一種蒸發(fā)源控制器。背景技術(shù)電子束加熱蒸發(fā)源是利用電場(chǎng)作用下高速運(yùn)動(dòng)的電子轟擊蒸發(fā)源使其蒸發(fā)為離子形成束流沉積在樣品表面。由于電子束加熱具有可控制的電流值、可調(diào)整電子束的轟擊面積等優(yōu)點(diǎn),因此電子束加熱蒸發(fā)源控制器已經(jīng)成為實(shí)驗(yàn)物理領(lǐng)域廣泛使用的一種電氣控制裝置。同時(shí)蒸發(fā)源也可以進(jìn)行樣品的加熱,利用高壓的電子轟擊樣品產(chǎn)生熱效應(yīng)來(lái)把樣品加熱到指定的溫度。圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的一種電子束加熱蒸發(fā)源控制器,如圖1所示,電子束加熱蒸發(fā)源控制器100包括電壓輸出裝置110、電流源13...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。