1.一種電子束加熱蒸發(fā)源控制器，其特征在于，所述電子束加熱蒸發(fā)源控制器包括信號(hào)設(shè)定裝置、負(fù)反饋控制器、第一信號(hào)選擇器、數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器、電壓源和乘法器，所述信號(hào)設(shè)定裝置用于輸出電壓設(shè)定數(shù)字信號(hào)和功率設(shè)定數(shù)字信號(hào)，所述第一信號(hào)選擇器用于可選擇地使得所述電壓設(shè)定數(shù)字信號(hào)或所述負(fù)反饋控制器輸出的控制量傳輸至所述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器，所述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器用于將接收的所述電壓設(shè)定數(shù)字信號(hào)或所述負(fù)反饋控制器輸出的控制量轉(zhuǎn)換為對(duì)應(yīng)的設(shè)定電壓，所述電壓源用于根據(jù)所述設(shè)定電壓輸出相對(duì)應(yīng)的輸出電壓，所述乘法器用于輸出與所述電壓源的輸出功率對(duì)應(yīng)的功率數(shù)字信號(hào)，所述負(fù)反饋控制器用于根據(jù)作為其參考輸入量的所述功率設(shè)定數(shù)字信號(hào)和作為其被控制量的功率數(shù)字信號(hào)輸出所述控制量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子束加熱蒸發(fā)源控制器，其特征在于，所述信號(hào)設(shè)定裝置還用于輸出燈絲電流設(shè)定數(shù)字信號(hào)并傳輸至所述第一信號(hào)選擇器，所述電子束加熱蒸發(fā)源控制器還包括電流源，所述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器還用于將所述燈絲電流設(shè)定數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換為對(duì)應(yīng)的燈絲電流設(shè)定電壓，所述電流源用于根據(jù)所述燈絲電流設(shè)定電壓輸出相對(duì)應(yīng)的輸出燈絲電流。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電子束加熱蒸發(fā)源控制器，其特征在于，所述信號(hào)設(shè)定裝置還用于輸出束流設(shè)定數(shù)字信號(hào)，所述電子束加熱蒸發(fā)源控制器還包括電流轉(zhuǎn)換器、第二信號(hào)選擇器和第三信號(hào)選擇器，所述電流轉(zhuǎn)換器用于將其輸入端接收的束流轉(zhuǎn)換為對(duì)應(yīng)的束流數(shù)字信號(hào)，所述第二信號(hào)選擇器和第三信號(hào)選擇器用于使得所述功率設(shè)定數(shù)字信號(hào)和所述功率數(shù)字信號(hào)分別作為所述負(fù)反饋控制器的參考輸入量和被控制量，或使得所述束流設(shè)定數(shù)字信號(hào)和所述束流數(shù)字信號(hào)分別作為所述負(fù)反饋控制器的參考輸入量和被控制量。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電子束加熱蒸發(fā)源控制器，其特征在于，所述信號(hào)設(shè)定裝置還用于輸出溫度設(shè)定數(shù)字信號(hào)并輸出至所述第二信號(hào)選擇器，所述電子束加熱蒸發(fā)源控制器還包括溫度轉(zhuǎn)換器，所述溫度轉(zhuǎn)換器用于將其接收的熱偶輸入信號(hào)轉(zhuǎn)換為對(duì)應(yīng)的溫度數(shù)字信號(hào)并傳輸至所述第三信號(hào)選擇器，所述第二信號(hào)選擇器和第三信號(hào)選擇器還用于使得所述溫度設(shè)定數(shù)字信號(hào)和所述溫度數(shù)字信號(hào)分別作為所述負(fù)反饋控制器的參考輸入量和被控制量。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電子束加熱蒸發(fā)源控制器，其特征在于，所述電子束加熱蒸發(fā)源控制器還包括輸出擴(kuò)展數(shù)字信號(hào)的擴(kuò)展信號(hào)裝置，所述信號(hào)設(shè)定裝置還用于輸出擴(kuò)展設(shè)定數(shù)字信號(hào)，所述第二信號(hào)選擇器和第三信號(hào)選擇器還用于使得所述擴(kuò)展設(shè)定數(shù)字信號(hào)和擴(kuò)展數(shù)字信號(hào)分別作為所述負(fù)反饋控制器的參考輸入量和被控制量。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的電子束加熱蒸發(fā)源控制器，其特征在于，所述負(fù)反饋控制器輸出的控制量為所述電流源的設(shè)定信號(hào)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的電子束加熱蒸發(fā)源控制器，其特征在于，所述負(fù)反饋控制器為PID控制器。
8.根據(jù)權(quán)利要求2至5中任一項(xiàng)所述的電子束加熱蒸發(fā)源控制器，其特征在于，所述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器還用于將與所述電壓源的輸出電壓對(duì)應(yīng)的第一電壓取樣信號(hào)轉(zhuǎn)換為對(duì)應(yīng)的第一電壓顯示數(shù)字信號(hào)，且將與所述電壓源的輸出電流對(duì)應(yīng)的第二電壓取樣信號(hào)轉(zhuǎn)換為對(duì)應(yīng)的第二電壓顯示數(shù)字信號(hào)；其中所述乘法器還用于將所述第一電壓顯示數(shù)字信號(hào)和第二電壓顯示數(shù)字信號(hào)相乘后輸出所述功率數(shù)字信號(hào)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電子束加熱蒸發(fā)源控制器，其特征在于，所述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器還用于將與所述輸出燈絲電流對(duì)應(yīng)的電壓信號(hào)轉(zhuǎn)換為對(duì)應(yīng)的燈絲電流顯示數(shù)字信號(hào)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的電子束加熱蒸發(fā)源控制器，其特征在于，所述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器包括：
輸出計(jì)算單元，用于將所述第一信號(hào)選擇器傳輸?shù)乃鲭妷涸O(shè)定數(shù)字信號(hào)或所述負(fù)反饋控制器輸出的控制量轉(zhuǎn)換為對(duì)應(yīng)的電壓數(shù)字信號(hào)，或?qū)⑺龅谝恍盘?hào)選擇器傳輸?shù)乃鰺艚z電流設(shè)定數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換為燈絲電流數(shù)字信號(hào)；
數(shù)模轉(zhuǎn)換器，用于將所述電壓數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換為所述設(shè)定電壓，或?qū)⑺鰺艚z電流數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換為所述燈絲電流設(shè)定電壓；
模數(shù)轉(zhuǎn)換器，用于將所述第一電壓取樣信號(hào)和第二電壓取樣信號(hào)分別轉(zhuǎn)換為第一電壓實(shí)際數(shù)字信號(hào)和第二電壓實(shí)際數(shù)字信號(hào)，或?qū)⑴c所述輸出燈絲電流對(duì)應(yīng)的電壓信號(hào)轉(zhuǎn)換為對(duì)應(yīng)的燈絲電流實(shí)際數(shù)字信號(hào)；以及
輸入計(jì)算單元，用于將所述第一電壓實(shí)際數(shù)字信號(hào)和第二電壓實(shí)際數(shù)字信號(hào)分別轉(zhuǎn)換為所述第一電壓顯示數(shù)字信號(hào)和第二電壓顯示數(shù)字信號(hào)，或?qū)⑺鰺艚z電流實(shí)際數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換為所述燈絲電流顯示數(shù)字信號(hào)。