一種半自動(dòng)硅片拋光的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種半自動(dòng)硅片拋光機(jī)，該拋光機(jī)包括臺(tái)鉆、集漿池、樣品架和水箱。臺(tái)鉆的一端設(shè)有電機(jī)，其另一端設(shè)有鉆頭，其鉆床上設(shè)有托盤，其臺(tái)座上設(shè)有水箱；鉆頭上設(shè)有升降把手，其末端通過(guò)鉆頭連接桿連有樣品架；托盤上設(shè)有集漿池，該集漿池的上端設(shè)有與鉆床連接桿相連的下拋光片；樣品架的上方設(shè)有上拋光片，該上拋光片的兩側(cè)對(duì)稱設(shè)有一組帶壓緊彈簧的調(diào)節(jié)螺母；壓緊彈簧內(nèi)套有固定螺桿，并通過(guò)該固定螺桿與下拋光片相連；樣品架與下拋光片通過(guò)磨片架連接在一起；水箱的底部一側(cè)設(shè)有進(jìn)水管，其內(nèi)設(shè)有水泵，該水泵通過(guò)出水管Ⅰ與磨片架相連；集漿池的底部設(shè)有出水口，該出水口經(jīng)出水管Ⅱ與水箱相通。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便。
【專利說(shuō)明】一種半自動(dòng)娃片拋光機(jī)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及拋光設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種半自動(dòng)硅片拋光機(jī)。

【背景技術(shù)】
[0002]硅片拋光是指利用機(jī)械和化學(xué)的作用除去表面機(jī)械損傷層，進(jìn)一步采用化學(xué)的方法將其處理成雙鏡面，以達(dá)到檢測(cè)要求。目前國(guó)內(nèi)外對(duì)硅片機(jī)械拋光設(shè)備的研宄和制造已趨于成熟，市售有多種硅片拋光機(jī)，工作效率均較高，但均存在結(jié)構(gòu)復(fù)雜，價(jià)格昂貴，維護(hù)費(fèi)用較高等缺點(diǎn)；據(jù)了解有企業(yè)采用傳統(tǒng)的人工研磨法進(jìn)行硅片拋光，存在拋光水平難控制，人為影響因素大，效率低。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便的半自動(dòng)硅片拋光機(jī)。
[0004]為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型所述的一種半自動(dòng)硅片拋光機(jī)，其特征在于:該拋光機(jī)包括臺(tái)鉆、集漿池、樣品架和水箱；所述臺(tái)鉆的一端設(shè)有電機(jī)，其另一端設(shè)有鉆頭，其鉆床上設(shè)有托盤，其臺(tái)座上設(shè)有所述水箱；所述鉆頭上設(shè)有升降把手，其末端通過(guò)鉆頭連接桿連有所述樣品架；所述托盤上設(shè)有所述集漿池，該集漿池的上端設(shè)有與所述鉆床連接桿相連的下拋光片；所述樣品架的上方設(shè)有上拋光片，該上拋光片的兩側(cè)對(duì)稱設(shè)有一組帶壓緊彈簧的調(diào)節(jié)螺母；所述壓緊彈簧內(nèi)套有固定螺桿，并通過(guò)該固定螺桿與所述下拋光片相連；所述樣品架與所述下拋光片通過(guò)磨片架連接在一起；所述水箱的底部一側(cè)設(shè)有進(jìn)水管，其內(nèi)設(shè)有水泵，該水泵通過(guò)出水管I與所述磨片架相連；所述集漿池的底部設(shè)有出水口，該出水口經(jīng)出水管II與所述水箱相通。
[0005]所述樣品架的中心通過(guò)固定螺母與所述上拋光片相連。
[0006]所述臺(tái)鉆上設(shè)有臺(tái)鉆電機(jī)防護(hù)罩。
[0007]所述下拋光片和所述上拋光片均由不同粒度的不銹鋼砂輪組成。
[0008]所述上拋光片上包裹有防塵罩。
[0009]所述樣品架上開有數(shù)個(gè)交錯(cuò)排列并按硅片的大小設(shè)計(jì)而成的固定尺寸的圓形樣片固定孔。
[0010]本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0011]1、本實(shí)用新型采用臺(tái)鉆作為動(dòng)力系統(tǒng)，通過(guò)調(diào)節(jié)固定螺桿上的壓緊彈簧壓力，從而使硅片表面受力均勻，厚度一致。
[0012]2、本實(shí)用新型中下拋光片和上拋光片均由不同粒度的不銹鋼砂輪組成，因此，使用時(shí)，配合相應(yīng)的拋光膏、拋/研磨粉，逐級(jí)拋光可直接將硅片拋成鏡面，省去化學(xué)拋光的部分。
[0013]3、本實(shí)用新型中樣品架上開有數(shù)個(gè)交錯(cuò)排列并按硅片的大小設(shè)計(jì)而成的固定尺寸的圓形樣片固定孔，因此，可同時(shí)進(jìn)行多片拋光。
[0014]4、本實(shí)用新型將傳統(tǒng)的人工研磨改為機(jī)械拋光，不僅可以提高工作效率，節(jié)省生產(chǎn)成本，而且可大大提高硅片的拋光質(zhì)量。
[0015]5、本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、造價(jià)低廉，可有效降低采購(gòu)資金的投入。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。
[0017]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖2為本實(shí)用新型中樣品架的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖中:1 一臺(tái)鉆 2—臺(tái)鉆電機(jī)防護(hù)罩 3—升降把手 4一樣品架5—上拋光片6—固定螺桿7—下拋光片8—集漿池9一出水管I 10—水泵11 一進(jìn)水管 12—出水口 13—出水管II 14一水箱 15—壓緊彈簧16—調(diào)節(jié)螺母。

【具體實(shí)施方式】
[0020]如圖1、圖2所示，一種半自動(dòng)硅片拋光機(jī)，該拋光機(jī)包括臺(tái)鉆1、集漿池8、樣品架4和水箱14。
[0021]臺(tái)鉆I的一端設(shè)有電機(jī)，其另一端設(shè)有鉆頭，其鉆床上設(shè)有托盤，其臺(tái)座上設(shè)有水箱14 ;鉆頭上設(shè)有升降把手3，其末端通過(guò)鉆頭連接桿連有樣品架4 ;托盤上設(shè)有集漿池8，該集漿池8的上端設(shè)有與鉆床連接桿相連的下拋光片7 ;樣品架4的上方設(shè)有上拋光片5，該上拋光片5的兩側(cè)對(duì)稱設(shè)有一組帶壓緊彈簧15的調(diào)節(jié)螺母16 ;壓緊彈簧15內(nèi)套有固定螺桿6，并通過(guò)該固定螺桿6與下拋光片7相連；樣品架4與下拋光片7通過(guò)磨片架連接在一起；水箱14的底部一側(cè)設(shè)有進(jìn)水管11，其內(nèi)設(shè)有水泵10，該水泵10通過(guò)出水管I 9與磨片架相連；集漿池8的底部設(shè)有出水口 12，該出水口 12經(jīng)出水管II 13與水箱14相通。
[0022]其中:
[0023]樣品架4的中心通過(guò)固定螺母與上拋光片5相連。
[0024]臺(tái)鉆I上設(shè)有臺(tái)鉆電機(jī)防護(hù)罩2。
[0025]下拋光片7和上拋光片5均由不同粒度的不銹鋼砂輪組成。
[0026]上拋光片5上包裹有防塵罩。
[0027]樣品架4上開有數(shù)個(gè)交錯(cuò)排列并按硅片的大小設(shè)計(jì)而成的固定尺寸的圓形樣片固定孔。
[0028]使用時(shí)，先根據(jù)硅片直徑選擇合適的樣品架4，通過(guò)鉆頭連接桿固定在鉆頭上，由鉆頭帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，將待拋光硅片放到樣品架4中的圓形樣片固定孔內(nèi)，調(diào)整上拋光片5位置，啟動(dòng)臺(tái)鉆1，旋轉(zhuǎn)升降把手3，壓下上拋光片5進(jìn)行拋光；同時(shí)，水通過(guò)水泵10將水從出水管I 9引入至磨片架，固定在臺(tái)鉆I托盤上的集漿池8可收集硅片拋光時(shí)產(chǎn)生的粉末和水污，沉淀后的水由出水管II 13導(dǎo)入水箱14。結(jié)束后，關(guān)閉臺(tái)鉆1，取出娃片。
【權(quán)利要求】
1.一種半自動(dòng)硅片拋光機(jī)，其特征在于:該拋光機(jī)包括臺(tái)鉆(1)、集漿池(8)、樣品架(4)和水箱(14);所述臺(tái)鉆(I)的一端設(shè)有電機(jī)，其另一端設(shè)有鉆頭，其鉆床上設(shè)有托盤，其臺(tái)座上設(shè)有所述水箱(14);所述鉆頭上設(shè)有升降把手(3)，其末端通過(guò)鉆頭連接桿連有所述樣品架(4);所述托盤上設(shè)有所述集漿池(8)，該集漿池(8)的上端設(shè)有與所述鉆床連接桿相連的下拋光片(7);所述樣品架(4)的上方設(shè)有上拋光片(5)，該上拋光片(5)的兩側(cè)對(duì)稱設(shè)有一組帶壓緊彈簧(15)的調(diào)節(jié)螺母(16);所述壓緊彈簧(15)內(nèi)套有固定螺桿(6)，并通過(guò)該固定螺桿(6)與所述下拋光片(7)相連；所述樣品架(4)與所述下拋光片(7)通過(guò)磨片架連接在一起；所述水箱(14)的底部一側(cè)設(shè)有進(jìn)水管(11 )，其內(nèi)設(shè)有水泵(10)，該水泵(10)通過(guò)出水管I (9)與所述磨片架相連；所述集漿池(8)的底部設(shè)有出水口(12)，該出水口(12)經(jīng)出水管II (13)與所述水箱(14)相通。
2.如權(quán)利要求1所述的一種半自動(dòng)硅片拋光機(jī)，其特征在于:所述樣品架(4)的中心通過(guò)固定螺母與所述上拋光片(5)相連。
3.如權(quán)利要求1所述的一種半自動(dòng)硅片拋光機(jī)，其特征在于:所述臺(tái)鉆(I)上設(shè)有臺(tái)鉆電機(jī)防護(hù)罩(2)。
4.如權(quán)利要求1所述的一種半自動(dòng)硅片拋光機(jī)，其特征在于:所述下拋光片(7)和所述上拋光片(5)均由不同粒度的不銹鋼砂輪組成。
5.如權(quán)利要求1所述的一種半自動(dòng)硅片拋光機(jī)，其特征在于:所述上拋光片(5)上包裹有防塵罩。
6.如權(quán)利要求1所述的一種半自動(dòng)硅片拋光機(jī)，其特征在于:所述樣品架(4)上開有數(shù)個(gè)交錯(cuò)排列并按硅片的大小設(shè)計(jì)而成的固定尺寸的圓形樣片固定孔。
【文檔編號(hào)】B24B41/06GK204262924SQ201420746673
【公開日】2015年4月15日 申請(qǐng)日期:2014年12月3日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月3日
【發(fā)明者】張福海, 蔡延國(guó), 陳兆峰, 征取, 陳英, 王生紅 申請(qǐng)人:亞洲硅業(yè)（青海）有限公司