一種用于壓緊ito靶材的新型壓緊裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于壓緊ito靶材的新型壓緊裝置，包括安裝于絕緣底座上的條狀壓緊本體，條狀壓緊本體上設(shè)有多個(gè)用于與絕緣底座連接的螺孔，設(shè)條狀壓緊本體上安裝后位于外側(cè)且與絕緣底座相對(duì)的表面為外表面，設(shè)條狀壓緊本體上安裝后靠近ito靶材的側(cè)面為第一側(cè)面，條狀壓緊本體的外表面與第一側(cè)面之間直接連接且為直角。本實(shí)用新型將傳統(tǒng)用于壓緊ito靶材的條狀壓緊體的斜面去掉，改為直角，形成本新型壓緊裝置的條狀壓緊本體，從而消除了條狀壓緊本體與ito靶材之間的臺(tái)階，可有效防止在磁控濺射過(guò)程中產(chǎn)生導(dǎo)電碎屑導(dǎo)致短路，濺射系統(tǒng)在ito靶材的使用壽命周期內(nèi)一直能穩(wěn)定工作。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種用于壓緊i to靶材的新型壓緊裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種磁控濺射工藝中用于壓緊Ho靶材的裝置，具體涉及一種可有效防止濺射過(guò)程中產(chǎn)生導(dǎo)電碎肩導(dǎo)致短路的用于壓緊Ho靶材的新型壓緊裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]Ho靶材就是氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經(jīng)過(guò)一系列的生產(chǎn)工藝加工成型，再高溫氣氛燒結(jié)(1600度，通氧氣燒結(jié))形成的黑灰色陶瓷半導(dǎo)體。Ho靶材用于生產(chǎn)ito薄膜，ito薄膜是利用ito革E材作為原材料，通過(guò)磁控派射把ito革E氣化派渡到玻璃基板或柔性有機(jī)薄膜上形成的薄膜，ito薄膜具有導(dǎo)電性和透光性，厚度一般30納米-200納米。
[0003]在磁控濺射工藝中，需要壓緊裝置將Ho靶材壓緊固定，其中常用的壓緊Ho靶材的裝置為條狀壓緊體。
[0004]如圖1所示，傳統(tǒng)用于壓緊Ho靶材的條狀壓緊體I的外表面(安裝后位于外側(cè)且與絕緣底座5相對(duì)的表面)與安裝后靠近Ho靶材的側(cè)面之間設(shè)有過(guò)渡的斜面3 (也稱(chēng)為倒角)，條狀壓緊體I上設(shè)有用于安裝的螺孔2。如圖2和圖3所示，安裝時(shí)，使用螺桿6將條狀壓緊體I鎖緊在絕緣底座5上，利用條狀壓緊體I壓緊固定住Ho靶材7。ito靶材7為陰極，與陽(yáng)極4之間通過(guò)絕緣底座5隔開(kāi)。條狀壓緊體I一般采用不銹鋼材料，其斜面3與ito革El材7的側(cè)面之間形成臺(tái)階8。
[0005]如圖3所示，在使用過(guò)程中，條狀壓緊體I會(huì)受到一定程度的濺射，濺射的物質(zhì)在ito靶材7與斜面3之間的臺(tái)階8對(duì)應(yīng)的空隙內(nèi)沉積形成膜層，當(dāng)膜層增長(zhǎng)到一定厚度，由于震動(dòng)、重力等作用，膜層脫落掉到Ho靶材7 (陰極)與陽(yáng)極4之間形成導(dǎo)電碎片9，導(dǎo)電碎片9中含有鐵、镲等磁性材料成分，在陰極磁場(chǎng)的作用下可能會(huì)豎立起來(lái)，使ito革El材7(陰極)與陽(yáng)極4之間接觸導(dǎo)致短路，從而導(dǎo)致濺射系統(tǒng)不能正常工作。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]本實(shí)用新型的目的就在于為了解決上述問(wèn)題而提供一種可有效防止磁控濺射過(guò)程中產(chǎn)生導(dǎo)電碎肩導(dǎo)致短路的用于壓緊Ho靶材的新型壓緊裝置。
[0007]本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)上述目的:
[0008]一種用于壓緊Ho靶材的新型壓緊裝置，包括安裝于絕緣底座上的條狀壓緊本體，所述條狀壓緊本體上設(shè)有多個(gè)用于與所述絕緣底座連接的螺孔，設(shè)所述條狀壓緊本體上安裝后位于外側(cè)且與所述絕緣底座相對(duì)的表面為外表面，設(shè)所述條狀壓緊本體上安裝后靠近所述Ho靶材的側(cè)面為第一側(cè)面，所述條狀壓緊本體的外表面與第一側(cè)面之間直接連接且為直角。
[0009]進(jìn)一步，所述條狀壓緊本體在安裝后其外表面與所述Ho靶材齊平，這樣能進(jìn)一步避免導(dǎo)電碎片的形成。
[0010]本實(shí)用新型的有益效果在于:
[0011]本實(shí)用新型將傳統(tǒng)用于壓緊ito靶材的條狀壓緊體的斜面去掉，改為直角，形成本新型壓緊裝置的條狀壓緊本體，從而消除了條狀壓緊本體與Ho靶材之間的臺(tái)階，可有效防止在磁控濺射過(guò)程中產(chǎn)生導(dǎo)電碎肩導(dǎo)致短路，濺射系統(tǒng)在Ho靶材的使用壽命周期內(nèi)一直能穩(wěn)定工作。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1是傳統(tǒng)條狀壓緊體的立體圖；
[0013]圖2是將傳統(tǒng)條狀壓緊體安裝于絕緣底座后的剖視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖3是圖2中右側(cè)結(jié)構(gòu)的局部放大圖；
[0015]圖4是本實(shí)用新型所述用于壓緊Ho靶材的新型壓緊裝置的立體圖；
[0016]圖5是將本實(shí)用新型所述用于壓緊Ho靶材的新型壓緊裝置安裝于絕緣底座后的局部放大圖，與圖3的視角和部位區(qū)域一致。

【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明:
[0018]如圖4和圖5所示，本實(shí)用新型所述用于壓緊Ho靶材7的新型壓緊裝置，包括安裝于絕緣底座5上的條狀壓緊本體10，條狀壓緊本體10上設(shè)有多個(gè)用于與絕緣底座5連接的螺孔11，設(shè)條狀壓緊本體10上安裝后位于外側(cè)且與絕緣底座5相對(duì)的表面為外表面12，設(shè)條狀壓緊本體10上安裝后靠近Ho靶材7的側(cè)面為第一側(cè)面13，條狀壓緊本體10的外表面12與第一側(cè)面13之間直接連接且為直角，條狀壓緊本體10在安裝后其外表面12與Ho靶材7齊平。說(shuō)明:上述直角是相對(duì)概念，從使用安全性角度來(lái)說(shuō)，該直角也可以是微弧形角，如采用小于ImmXlmm的小倒角，這樣不會(huì)在使用過(guò)程中割傷皮膚，不過(guò)這是為了使用安全而采用的常規(guī)結(jié)構(gòu)，不對(duì)本實(shí)用新型的創(chuàng)新設(shè)計(jì)構(gòu)成影響。
[0019]如圖4和圖5所示，使用時(shí)，將螺桿6穿過(guò)條狀壓緊本體10的螺孔11再旋緊于絕緣底座5上，條狀壓緊本體10壓緊ito靶材7的邊部實(shí)現(xiàn)ito靶材7的安裝。圖5中的其它未說(shuō)明部件與圖3中是相同的，見(jiàn)前述【背景技術(shù)】?jī)?nèi)容。
[0020]對(duì)比圖3和圖5可知，條狀壓緊本體10與ito靶材7之間臺(tái)階沒(méi)有了，可有效防止在磁控濺射靶材過(guò)程中產(chǎn)生導(dǎo)電碎肩導(dǎo)致短路，濺射系統(tǒng)在Ho靶材7的使用壽命周期內(nèi)一直能穩(wěn)定工作。
【權(quán)利要求】
1.一種用于壓緊ito靶材的新型壓緊裝置，包括安裝于絕緣底座上的條狀壓緊本體，所述條狀壓緊本體上設(shè)有多個(gè)用于與所述絕緣底座連接的螺孔，其特征在于:設(shè)所述條狀壓緊本體上安裝后位于外側(cè)且與所述絕緣底座相對(duì)的表面為外表面，設(shè)所述條狀壓緊本體上安裝后靠近所述Ho靶材的側(cè)面為第一側(cè)面，所述條狀壓緊本體的外表面與第一側(cè)面之間直接連接且為直角。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于壓緊Ho靶材的新型壓緊裝置，其特征在于:所述條狀壓緊本體在安裝后其外表面與所述Ho靶材齊平。
【文檔編號(hào)】C23C14/35GK204251693SQ201420714864
【公開(kāi)日】2015年4月8日 申請(qǐng)日期:2014年11月25日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月25日
【發(fā)明者】蔡家偉 申請(qǐng)人:重慶鼎祥鋼結(jié)構(gòu)工程有限公司