可持續(xù)供應(yīng)mo源的裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種可持續(xù)供應(yīng)MO源的裝置，所述包括有MO源氣體儲罐、出氣管、高純載氣管，所述MO源氣體儲罐上連接有出氣管，所述出氣管與高純載氣管的末端相連通后連接在MOCVD設(shè)備上，所述MO源氣體儲罐設(shè)置在加熱包里，所述MO源氣體儲罐上設(shè)置有壓力溫度探頭；將MO源與高純載氣混合到需要的配比濃度，然后加壓存儲在高壓容器中，高壓容器放置在在較高溫度，這樣MO源全部氣化并且不會分解溫度，最后通過管道直接將混合氣輸送到MOCVD設(shè)備，通過質(zhì)量流量控制器控制使用量，當(dāng)壓力溫度探頭檢測到壓力下降到報警點時，會自動切換到備用MO源氣體存儲罐進行工作，解決了MO源持續(xù)供應(yīng)麻煩的問題。
【專利說明】可持續(xù)供應(yīng)MO源的裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實用新型涉及一種充裝裝置，尤其一種可持續(xù)供應(yīng)M0源的裝置。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002] M0源即高純金屬有機化合物，或叫化合物半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料，是先進的金屬有機 化學(xué)氣相沉積（簡稱M0CVD)等技術(shù)生長半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料的支撐材料，其優(yōu)異的電學(xué)、光 學(xué)和磁學(xué)等性能，可將半導(dǎo)體和集成電路推向更高的頻率、更快的速度、更低的噪音和更 大的功率。半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料技術(shù)的發(fā)展?fàn)顩r是衡量一個國家電子信息技術(shù)發(fā)展水平的 重要標(biāo)志。在我國M0源已被大量用于LED、太陽能電池、航空航天技術(shù)等多個領(lǐng)域，是一 項高新材料生產(chǎn)技術(shù)。M0源在M0CVD設(shè)備中使用非常特殊，物料在使用時需要保持恒溫 (±0. 1°C)，恒壓（±ltorr)，穩(wěn)定氣體流量（±lsccm)，M0源存儲在鋼瓶(一般稱為鼓泡器） 中，惰性氣體例如氫氣或氮氣，通過深入鋼瓶內(nèi)部的管道進入鼓泡器中，經(jīng)過M0源時產(chǎn)生 鼓泡效應(yīng)，M0源在鼓泡過程中大量蒸發(fā)，形成M0源的飽和蒸汽與惰性氣體混合輸送出來。
[0003] 現(xiàn)有供應(yīng)M0源的技術(shù)存在以下缺點：1. M0源的可燃性，遇到空氣會自燃，在鼓泡 器拆裝是要充分對管道系統(tǒng)進行置換，對管道接頭進行氦質(zhì)譜簡陋，操作過程繁瑣，時間 長，很容易因為操作不當(dāng)而引起火災(zāi)；2.更好新的鼓泡器后，鼓泡器和恒溫水浴槽需要進 行熱交換來達到恒定溫度，所需熱交換的進行時間較長；3.鼓泡器中M0源沒有計量和監(jiān)控 設(shè)備，無法準(zhǔn)確判斷殘余量。因此，解決M0源持續(xù)供應(yīng)麻煩、二次供應(yīng)所需時間較長、無法 準(zhǔn)確判斷殘余量、易引發(fā)火災(zāi)的問題尤為重要。 實用新型內(nèi)容
[0004] 本實用新型提供了一種可持續(xù)供應(yīng)M0源的裝置，通過設(shè)置有加熱包和M0源氣體 儲罐來代替鼓泡器和恒溫浴水槽，將M0源于高純載氣混合到需要的配比濃度，通過管道直 接將混合氣輸送到M0CVD設(shè)備，以解決解決M0源供應(yīng)麻煩、二次供應(yīng)所需時間較長、無法準(zhǔn) 確判斷殘余量、易引發(fā)火災(zāi)的問題。
[0005] 為了解決上述問題，本實用新型提供一種可持續(xù)供應(yīng)M0源的裝置，所述包括有M0 源氣體儲罐、出氣管、高純載氣管，所述M0源氣體儲罐上連接有出氣管，所述出氣管與高純 載氣管的末端相連通后連接在M0CVD設(shè)備上，所述M0源氣體儲罐設(shè)置在加熱包里，所述M0 源氣體儲罐上設(shè)置有壓力溫度探頭。
[0006] 進一步改進在于：所述M0源氣體儲罐的右側(cè)設(shè)置有備用M0源氣體儲罐，防止M0 源氣體儲罐中M0源不夠無法工作。
[0007] 進一步改進在于：所述出氣管和高純載氣管的末端上設(shè)置有質(zhì)量流量控制器，控 制混合氣體輸送到M0CVD設(shè)備中的使用量。
[0008] 進一步改進在于：所述出氣管上設(shè)置有減壓閥。
[0009] 本實用新型的有益效果是：1. M0源濃度根據(jù)客戶要求直接配比，使用時不存在濃 度變化問題。
[0010] 2.對于一些固體M0源，也同樣適用本方法。
[0011] 3. M0CVD設(shè)備節(jié)省了壓力控制器、恒溫水浴槽及鼓泡器，設(shè)備成本下降，設(shè)備內(nèi)部 空間增加。
[0012] 4.通過直接更換儲存氣瓶，完全能夠達到穩(wěn)定供應(yīng)目的。
[0013] 5.通過對儲罐的壓力進行監(jiān)控能夠有效監(jiān)測M0源狀態(tài)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014] 圖1是本實用新型的示意圖。
[0015] 其中：1-M0源氣體儲罐，2-出氣管，3-高純載氣管，4-加熱包，5-壓力溫度探頭， 6_質(zhì)量流量控制器，7-減壓閥，8-高壓容器。

【具體實施方式】
[0016] 為了加深對本實用新型的理解，下面將結(jié)合實施例對本實用新型作進一步詳述， 該實施例僅用于解釋本實用新型，并不構(gòu)成對本實用新型保護范圍的限定。
[0017] 如圖1所示，本實施例提供了一種可持續(xù)供應(yīng)M0源的裝置，所述包括有M0源氣體 儲罐1、出氣管2、高純載氣管3,所述M0源氣體儲罐1上連接有出氣管2,所述出氣管2與 高純載氣管3的末端相連通后連接在M0CVD設(shè)備上，所述M0源氣體儲罐1設(shè)置在加熱包4 里，所述M0源氣體儲罐1上設(shè)置有壓力溫度探頭5。所述M0源氣體儲罐1的右側(cè)設(shè)置有備 用M0源氣體儲罐，防止M0源氣體儲罐中M0源不夠無法工作。所述出氣管2和高純載氣管 3的末端上設(shè)置有質(zhì)量流量控制器6,控制混合氣體輸送到M0CVD設(shè)備中的使用量。所述出 氣管2上設(shè)置有減壓閥7,用來控制出氣管2中的壓力。
[0018] 將M0源與高純載氣混合到需要的配比濃度，然后加壓存儲在高壓容器8中，高壓 容器8放置在在較高溫度，這樣M0源全部氣化并且不會分解溫度，最后通過管道直接將混 合氣輸送到M0CVD設(shè)備，通過質(zhì)量流量控制器6控制使用量。加熱包4用來控制溫度和加 熱，出氣管2和高純載氣管3具有保溫的作用。當(dāng)壓力溫度探頭5檢測到壓力下降到報警 點時，會自動切換到備用M0源氣體存儲罐進行工作。所述M0源氣體儲罐1可同時對三組 M0CVD設(shè)備進行輸氣。
【權(quán)利要求】
1. 一種可持續(xù)供應(yīng)MO源的裝置，其特征在于：包括有MO源氣體儲罐（1 )、出氣管（2)、 高純載氣管（3)，所述M0源氣體儲罐（1)上連接有出氣管（2)，所述出氣管（2)與高純載氣 管（3 )的末端相連通后連接在M0CVD設(shè)備上，所述M0源氣體儲罐（1)設(shè)置在加熱包（4 )里， 所述M0源氣體儲罐（1)上設(shè)置有壓力溫度探頭（5 )。
2. 如權(quán)利要求1所述的可持續(xù)供應(yīng)M0源的裝置，其特征在于：所述M0源氣體儲罐（1) 的右側(cè)設(shè)置有備用M0源氣體儲罐，防止M0源氣體儲罐中M0源不夠無法工作。
3. 如權(quán)利要求1所述的可持續(xù)供應(yīng)M0源的裝置，其特征在于：所述出氣管（2)和高純 載氣管（3)的末端上設(shè)置有質(zhì)量流量控制器（6)，控制混合氣體輸送到M0CVD設(shè)備中的使用 量。
4. 如權(quán)利要求1所述的可持續(xù)供應(yīng)M0源的裝置，其特征在于：所述出氣管（2)上設(shè)置 有減壓閥（7)。
【文檔編號】C23C16/455GK203846102SQ201420204366
【公開日】2014年9月24日 申請日期:2014年4月25日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月25日
【發(fā)明者】俞冬雷, 武利曙, 徐昕 申請人:安徽亞格盛電子新材料有限公司