技術(shù)編號：3329824
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型公開了一種可持續(xù)供應MO源的裝置，所述包括有MO源氣體儲罐、出氣管、高純載氣管，所述MO源氣體儲罐上連接有出氣管，所述出氣管與高純載氣管的末端相連通后連接在MOCVD設備上，所述MO源氣體儲罐設置在加熱包里，所述MO源氣體儲罐上設置有壓力溫度探頭；將MO源與高純載氣混合到需要的配比濃度，然后加壓存儲在高壓容器中，高壓容器放置在在較高溫度，這樣MO源全部氣化并且不會分解溫度，最后通過管道直接將混合氣輸送到MOCVD設備，通過質(zhì)量流量控制器控制使用量...
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