氣體泄漏檢測裝置以及化學(xué)試劑供給裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種氣體泄漏檢測裝置以及化學(xué)試劑供給裝置，所述氣體泄漏檢測裝置包括設(shè)置于一排風管道上的加熱器、設(shè)置于所述排風管道出口處的檢測器以及與所述檢測器連接的報警模塊。所述氣體泄漏檢測裝置利用化學(xué)試劑如二氯乙烯受熱產(chǎn)生分解物如氯化氫氣體的特點，通過加熱器加熱排風管道內(nèi)的化學(xué)試劑，通過檢測器檢測排風管道內(nèi)是否存在氯化氫氣體，進而來檢測排風管道內(nèi)是否有二氯乙烯的泄露，有利于提高產(chǎn)品良率。
【專利說明】氣體泄漏檢測裝置以及化學(xué)試劑供給裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種氣體泄漏檢測裝置以及化學(xué)試劑
供給裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體制造工藝主要是進行多次光刻工藝、刻蝕工藝和成膜工藝等，在半導(dǎo)體晶片表面堆疊出有特殊結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體元件。其中，成膜工藝普遍采用熱氧化法、化學(xué)氣相淀積(CVD)工藝，用于形成各種薄膜。其中，熱氧化法主要是爐管熱氧化法，將反應(yīng)氣體通入高溫爐管內(nèi)后，使反應(yīng)氣體和爐內(nèi)的半導(dǎo)體晶片發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，在晶片表面沉積一層薄膜。該工藝用于生長Si02、Si3N4, SiON或多晶硅等。
[0003]以垂直式的沉積爐管為例，通常在爐管中放置多片晶片，通入反應(yīng)氣體例如氧氣、氮氣等，于高溫環(huán)境下在晶片表面生長介質(zhì)膜。在這個過程中，爐管內(nèi)壁會產(chǎn)生一些金屬離子和高分子的聚合物殘留。在進行多次的成膜反應(yīng)之后，爐管內(nèi)壁積聚的金屬離子和高分子聚合物會越積越多，形成大量的殘留物。這些殘留物若不加以去除，則于后續(xù)工藝中很可能由于受熱而成為微粒(particle)的來源，進而影響后續(xù)工藝的良率和產(chǎn)品的穩(wěn)定性。
[0004]為此,業(yè)界常通過爐管清洗劑如二氯乙烯(DCE, Cl2C2H2, Dichloroethylene)對爐管進行清洗，可通過化學(xué)試劑供給裝置向爐管供給二氯乙烯。如圖1所示，現(xiàn)有的化學(xué)試劑供給裝置包括容器10、主管道21、排風管道22以及進氣管道23。所述進氣管道23用于向容器10內(nèi)輸送氮氣。所述主管道21—端伸入至所述容器10中，另一端與一爐管連通。所述排風管道22 —端與所述主管道210連通，另一端與廠務(wù)端的排風總管道連通。所述主管道21上設(shè)有第一閥門21’，所述排風管道22上設(shè)有第二閥門22’。在反應(yīng)進行階段，開啟第一閥門21’，關(guān)閉第二閥門22’，向容器10中注入氮氣，氮氣攜帶二氯乙烯液體通過主管道20進入爐管內(nèi)，對爐管進行清洗，這種方法對金屬，尤其是堿金屬離子，例如鉀、鈉等離子具有較好的去除效果。在反應(yīng)停止階段，關(guān)閉第一閥門21’，打開第二閥門22’，以停止向爐管輸送DCE，此時經(jīng)排風管道22排風。
[0005]然而，在實際生產(chǎn)中發(fā)現(xiàn)，在反應(yīng)進行階段，由于第二閥門22’密閉不嚴，仍會有部分DCE泄漏到排風管道22中，從而減少主管道21中的DCE含量，導(dǎo)致工藝受影響，良率出現(xiàn)問題。因此，如何及時檢驗泄漏的DCE，并根據(jù)出現(xiàn)泄漏DCE的情況中止反應(yīng)，成為亟待解決的問題。
實用新型內(nèi)容
[0006]為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本實用新型提供一種氣體泄漏檢測裝置以及化學(xué)試劑供給裝置。
[0007]本實用新型提供一種氣體泄漏檢測裝置，包含:
[0008]加熱器，設(shè)置于一排風管道上；
[0009]檢測器，設(shè)置于所述排風管道的出口處，用于檢測所述排風管道內(nèi)是否有分解物；以及
[0010]報警模塊，與所述檢測器連接，當所述檢測器檢測到分解物時所述報警模塊啟動報警。
[0011]進一步的，所述氣體泄漏檢測裝置更包含一控制模塊，所述控制模塊與所述報警模塊連接。
[0012]進一步的，所述加熱器環(huán)繞于所述排風管道的外壁。
[0013]本實用新型還提供一種化學(xué)試劑供給裝置，包括容器、主管道、排風管道以及進氣管道，所述進氣管道伸入所述容器中，所述主管道伸入至所述容器中并與一爐管連通，所述排風管道與所述主管道連通，所述化學(xué)試劑供給裝置還包括本實用新型提供的氣體泄漏檢測裝置。
[0014]進一步的，所述化學(xué)試劑供給裝置的主管道上設(shè)有第一閥門。
[0015]進一步的，所述化學(xué)試劑供給裝置的排風管道上設(shè)有第二閥門。
[0016]進一步的，所述主管道和排風管道的材質(zhì)是耐腐蝕性材料。
[0017]進一步的，所述主管道和排風管道的材質(zhì)是聚四氟乙烯。
[0018]進一步的，所述化學(xué)試劑供給裝置的進氣管道上設(shè)置有流量計。
[0019]進一步的，所述的化學(xué)試劑供給裝置是二氯乙烯供給裝置。
[0020]相比于現(xiàn)有技術(shù)，本實用新型的氣體泄漏檢測裝置包括設(shè)置于一排風管道上的加熱器、設(shè)置于所述排風管道出口處的檢測器以及與所述檢測器連接的報警模塊，利用化學(xué)試劑如二氯乙烯受熱產(chǎn)生分解物如氯化氫氣體的特點，通過加熱器加熱排風管道內(nèi)的化學(xué)試劑，通過檢測器檢測排風管道內(nèi)是否存在氯化氫氣體，進而來檢測排風管道內(nèi)是否有二氯乙烯的泄露，有利于提高產(chǎn)品良率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]圖1為現(xiàn)有技術(shù)的化學(xué)試劑供給裝置的示意圖。
[0022]圖2為本實用新型一實施例的化學(xué)試劑供給裝置的示意圖。
【具體實施方式】
[0023]以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳細說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0024]如圖2所示，本實用新型提供一種氣體泄漏檢測裝置，包括:加熱器400、檢測器500以及報警模塊600，所述加熱器400設(shè)置于一排風管道220上，所述檢測器500設(shè)置于所述排風管道220的出口處，所述報警模塊600與所述檢測器500連接，所述檢測器500用于檢測所述排風管道220內(nèi)是否有分解物，當所述檢測器500檢測到分解物時所述報警模塊600啟動報警。所述氣體泄漏檢測裝置利用部分化學(xué)試劑受熱產(chǎn)生分解物如二氯乙烯受熱產(chǎn)生氯化氫的特點，通過加熱器400加熱排風管道220，通過檢測器500檢測排風管道220中是否有分解物，進而判斷排風管道220中是否存在清洗劑如二氯乙烯的泄露。
[0025]所述加熱器400環(huán)繞于所述排風管道220的外壁，用于加熱所述排風管道220內(nèi)的化學(xué)試劑?？梢栽谒雠棚L管道220的外壁設(shè)置一個或多個加熱器400。優(yōu)選方案中，直接在整個排風管道220外均包敷加熱器，可取的最佳的加熱效果。所述加熱器400加熱的溫度可以為100-150攝氏度。
[0026]所述氣體泄漏檢測裝置更包含一控制模塊700，所述控制模塊700與所述報警模塊600連接，當所述報警模塊600啟動報警時，所述控制模塊700停止所述排風管道220的
氣體供應(yīng)。
[0027]本實用新型還提供一種化學(xué)試劑供給裝置，包括容器100、主管道210、排風管道220、進氣管道230以及如上所述的氣體泄漏檢測裝置，所述主管道210 —端伸入至所述容器100中，另一端與一爐管連通，所述排風管道220 —端與所述主管道210連通，所述加熱器400設(shè)置于排風管道220上，所述檢測器500設(shè)置于所述排風管道220的另一端(即出口處)，所述報警模塊600與所述檢測器500連接。
[0028]在所述的化學(xué)試劑供給裝置中，所述主管道210上設(shè)有第一閥門210’，所述排風管道220上設(shè)有第二閥門220’，通過第一閥門210’和第二閥門220’控制主管道210和排風管道220的開啟與關(guān)閉。所述進氣管道230上設(shè)置有流量計(MFC) 230’，通過所述流量計230’控制進氣管道230中的氣體流量。
[0029]由于主管道210和排風管道220時常使用于腐蝕性氣體，優(yōu)選方案中，主管道210和排風管道220采用耐腐蝕性材料制成，例如聚四氟乙烯(Teflon)。
[0030]本實施例中，所述容器100中裝有二氯乙烯液體，通過進氣管道230向容器100中注入載氣如氮氣，氮氣攜帶二氯乙烯液體通過主管道210輸入至爐管中，所述爐管例如用于反應(yīng)生成SiO2, 二氯乙烯(DCE, Cl2C2H2, Dichloroethylene)用于對爐管進行清洗,其對金屬尤其是堿金屬離子，例如鉀、鈉等離子具有較好的去除效果。當然，所述二氯乙烯并不限于清洗爐管，其還可用于晶圓制程中的反應(yīng)氣體等。并且，所述化學(xué)試劑供給裝置也不局限于供給二氯乙烯，其還可以供給其它化學(xué)試劑，只要該化學(xué)試劑受熱產(chǎn)生氣體分解物，均可使用本實用新型的氣體泄漏檢測裝置進行檢測。
[0031]具體地說，在反應(yīng)進行階段，開啟第一閥門210’，關(guān)閉第二閥門220’，通過進氣管道230向容器100中注入氮氣，氮氣攜帶二氯乙烯液體通過主管道210進入爐管內(nèi)，對爐管進行清洗。在反應(yīng)停止階段，關(guān)閉第一閥門210’，打開第二閥門220’，以停止向爐管輸送DCE，此時經(jīng)排風管道220排風。在反應(yīng)進行階段，若由于第二閥門220’密閉不嚴，有部分DCE泄漏到排風管道220中，經(jīng)所述加熱器400加熱后生成分解物，所述檢測器500即可檢測到氯化氫氣體，所述報警模塊600啟動報警。
[0032]綜上所述，本實用新型在排風管道220上增設(shè)加熱器400，并連接檢測器500和報警模塊600。本實用新型利用部分化學(xué)試劑如二氯乙烯受熱產(chǎn)生分解物如氯化氫氣體的特點，通過檢測排風管道內(nèi)是否存在氯化氫氣體，來檢測是否有二氯乙烯的泄露，有利于提高
產(chǎn)品良率。
[0033]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包括這些改動和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種氣體泄漏檢測裝置，其特征在于:所述氣體泄漏檢測裝置包含: 加熱器，設(shè)置于一排風管道上； 檢測器，設(shè)置于所述排風管道的出口處，用于檢測所述排風管道內(nèi)是否有分解物；以及 報警模塊，與所述檢測器連接，當所述檢測器檢測到分解物時所述報警模塊啟動報警。
2.如權(quán)利要求1所述的氣體泄漏檢測裝置，其特征在于:更包含一控制模塊，所述控制模塊與所述報警模塊連接。
3.如權(quán)利要求1所述的氣體泄漏檢測裝置，其特征在于:所述加熱器環(huán)繞于所述排風管道的外壁。
4.一種化學(xué)試劑供給裝置，包括容器、主管道、排風管道以及進氣管道，所述進氣管道伸入所述容器中，所述主管道伸入至所述容器中并與一爐管連通，所述排風管道與所述主管道連通，其特征在于，還包括如權(quán)利要求1至3中任意一項所述的氣體泄漏檢測裝置。
5.如權(quán)利要求4所述的化學(xué)試劑供給裝置，其特征在于:所述主管道上設(shè)有第一閥門。
6.如權(quán)利要求4所述的化學(xué)試劑供給裝置，其特征在于:所述排風管道上設(shè)有第二閥門。
7.如權(quán)利要求4所述的化學(xué)試劑供給裝置，其特征在于:所述主管道和排風管道的材質(zhì)是耐腐蝕性材料。
8.如權(quán)利要求7所述的化學(xué)試劑供給裝置，其特征在于:所述主管道和排風管道的材質(zhì)是聚四氟乙烯。
9.如權(quán)利要求4所述的化學(xué)試劑供給裝置，其特征在于:所述進氣管道上設(shè)置有流量計。
10.如權(quán)利要求4至9中任意一項所述的化學(xué)試劑供給裝置，其特征在于:所述化學(xué)試劑供給裝置是二氯乙烯供給裝置。
【文檔編號】C23C16/455GK203774259SQ201420103472
【公開日】2014年8月13日 申請日期:2014年3月7日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月7日
【發(fā)明者】楊志平 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司