一種生物芯片用玻璃基片表面真空蒸鍍設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種生物芯片用玻璃基片表面真空蒸鍍設(shè)備，包括機體，所述機體內(nèi)設(shè)有蒸鍍室，所述蒸鍍室下方設(shè)有蒸發(fā)室，所述蒸發(fā)室下方設(shè)有油浴箱，工件架設(shè)置于蒸鍍室內(nèi)，真空系統(tǒng)由高真空閥、滑閥泵、擴散泵、油增壓泵、機械泵組成，所述電氣控制系統(tǒng)，對上述組件供電和控制，所述設(shè)置于機體外部設(shè)置有控制柜及變壓器。本實用新型所述的一種生物芯片用玻璃基片表面真空蒸鍍設(shè)備，蒸鍍效果好、官能團固定穩(wěn)定、操作方便，且?guī)в凶詣涌販叵到y(tǒng)，減少了人力、物力。
【專利說明】一種生物芯片用玻璃基片表面真空蒸鍍設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種真空蒸鍍設(shè)備，具體的說是涉及一種生物芯片用玻璃基片表面真空蒸鍍設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]醫(yī)藥診斷用生物芯片的制備過程中，為了達到多樣品點檢查的目的，需在生物芯片基片表面修飾上一層高密度官能團的官能團。為了達到這一目的，就產(chǎn)生了真空蒸鍍這一方法。在真空環(huán)境中，將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍，或叫真空鍍膜。蒸鍍是將待成膜的物質(zhì)置于真空中進行蒸發(fā)或升華，使之在工件或基片表面析出的過程。
實用新型內(nèi)容
[0003]實用新型的目的:為了解決現(xiàn)在有技術(shù)的不足，本實用新型提供了一種生物芯片用玻璃基片表面真空蒸鍍設(shè)備。
[0004]技術(shù)方案:一種生物芯片用玻璃基片表面真空蒸鍍設(shè)備，包括機體，所述機體內(nèi)設(shè)有蒸鍍室，所述蒸鍍室下方設(shè)有蒸發(fā)室，所述蒸發(fā)室下方設(shè)有油浴箱，工件架設(shè)置于蒸鍍室內(nèi)，真空系統(tǒng)由高真空閥、滑閥泵、擴散泵、油增壓泵、機械泵組成，所述電氣控制系統(tǒng)，對上述組件供電和控制，所述設(shè)置于機體外部設(shè)置有控制柜及變壓器。
[0005]作為優(yōu)選，所述蒸鍍室和蒸發(fā)室由保護玻璃管道相連。
[0006]作為優(yōu)選，所述油浴箱內(nèi)裝有硅油，且?guī)綔蒯樀淖詣涌販丶訜嵯到y(tǒng)。
[0007]作為優(yōu)選，所述工件架底部有四個滑輪，所述蒸鍍室內(nèi)設(shè)置有卡輪裝置。
[0008]作為優(yōu)選，所述真空系統(tǒng)設(shè)置于機體內(nèi)、蒸鍍室外，真空系統(tǒng)和蒸鍍室之間由管道連接。
[0009]作為優(yōu)選，所述電氣控制系統(tǒng)中連接有所有組件的線路，電源開關(guān)設(shè)置于箱體的前方，風門調(diào)節(jié)旋鈕設(shè)置于箱體頂部，且全由電氣控制系統(tǒng)控制。
[0010]有益效果:本實用新型中的真空蒸鍍設(shè)備，蒸鍍效果好、官能團固定穩(wěn)定、操作方便，且?guī)в凶詣涌販叵到y(tǒng)，減少了人力、物力。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型中真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0013]實施例:
[0014]如圖1、2所示，一種生物芯片用玻璃基片表面真空蒸鍍設(shè)備，包括機體7，所述機體7內(nèi)設(shè)有蒸鍍室8，所述蒸鍍室8下方設(shè)有蒸發(fā)室9，所述蒸發(fā)室9下方設(shè)有油浴箱10，工件架11設(shè)置于蒸鍍室8內(nèi)，真空系統(tǒng)14由高真空閥2、滑閥泵1、擴散泵4、油增壓泵5、機械泵6組成，所述電氣控制系統(tǒng)16，對上述組件供電和控制，所述設(shè)置于機體7外部設(shè)置有控制柜17及變壓器18 ;所述蒸鍍室8和蒸發(fā)室9由保護玻璃管道12相連；所述油浴箱10內(nèi)裝有硅油19，且?guī)綔蒯?0的自動控溫加熱系統(tǒng)21 ;所述工件架11底部有四個滑輪22，所述蒸鍍室8內(nèi)設(shè)置有卡輪裝置23 ;所述真空系統(tǒng)14設(shè)置于機體7內(nèi)、蒸鍍室8外，真空系統(tǒng)14和蒸鍍室8之間由管道15連接；所述電氣控制系統(tǒng)16中連接有所有組件的線路，電源開關(guān)24設(shè)置于箱體的前方，風門調(diào)節(jié)旋鈕13設(shè)置于箱體頂部，且全由電氣控制系統(tǒng)16控制。
[0015]以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當指出:對于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應(yīng)視為本實用新型的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種生物芯片用玻璃基片表面真空蒸鍍設(shè)備，其特征在于:包括機體(7)，所述機體(7)內(nèi)設(shè)有蒸鍍室(8)，所述蒸鍍室(8)下方設(shè)有蒸發(fā)室(9)，所述蒸發(fā)室(9)下方設(shè)有油浴箱(10)，工件架(11)設(shè)置于蒸鍍室⑶內(nèi)，真空系統(tǒng)(14)由高真空閥(2)、滑閥泵⑴、擴散泵(4)、油增壓泵(5)、機械泵(6)組成，還包括電氣控制系統(tǒng)(16)，所述機體(7)外部設(shè)置有控制柜(17)及變壓器(18)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種生物芯片用玻璃基片表面真空蒸鍍設(shè)備，其特征在于:所述蒸鍍室(8)和蒸發(fā)室(9)由保護玻璃管道(12)相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種生物芯片用玻璃基片表面真空蒸鍍設(shè)備，其特征在于:所述油浴箱(10)內(nèi)裝有硅油(19)，且?guī)綔蒯?20)的自動控溫加熱系統(tǒng)(21)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種生物芯片用玻璃基片表面真空蒸鍍設(shè)備，其特征在于，所述工件架(11)底部有四個滑輪(22)，所述蒸鍍室(8)內(nèi)設(shè)置有卡輪裝置(23)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種生物芯片用玻璃基片表面真空蒸鍍設(shè)備，其特征在于:所述真空系統(tǒng)(14)設(shè)置于機體(7)內(nèi)、蒸鍍室(8)外，真空系統(tǒng)(14)和蒸鍍室(8)之間由管道(15)連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種生物芯片用玻璃基片表面真空蒸鍍設(shè)備，其特征在于:所述電氣控制系統(tǒng)(16)中連接有所有組件的線路，電源開關(guān)(24)設(shè)置于箱體的前方，風門調(diào)節(jié)旋鈕(13)設(shè)置于箱體頂部，且全由電氣控制系統(tǒng)(16)控制。
【文檔編號】C23C14/24GK203754798SQ201420039236
【公開日】2014年8月6日 申請日期:2014年1月22日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月22日
【發(fā)明者】朱鵬 申請人:南通天盛新能源科技有限公司