技術(shù)編號(hào)：3327070
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型公開了一種生物芯片用玻璃基片表面真空蒸鍍?cè)O(shè)備，包括機(jī)體，所述機(jī)體內(nèi)設(shè)有蒸鍍室，所述蒸鍍室下方設(shè)有蒸發(fā)室，所述蒸發(fā)室下方設(shè)有油浴箱，工件架設(shè)置于蒸鍍室內(nèi)，真空系統(tǒng)由高真空閥、滑閥泵、擴(kuò)散泵、油增壓泵、機(jī)械泵組成，所述電氣控制系統(tǒng)，對(duì)上述組件供電和控制，所述設(shè)置于機(jī)體外部設(shè)置有控制柜及變壓器。本實(shí)用新型所述的一種生物芯片用玻璃基片表面真空蒸鍍?cè)O(shè)備，蒸鍍效果好、官能團(tuán)固定穩(wěn)定、操作方便，且?guī)в凶詣?dòng)控溫系統(tǒng)，減少了人力、物力。專利說明一種生物芯片用玻璃基...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。