蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置及蒸鍍的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及蒸鍍設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，公開了一種蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置及一種蒸鍍機(jī)。本發(fā)明的蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置，包括：坩堝；所述坩堝的坩堝槽內(nèi)設(shè)置有至少一個沿第一方向的第一導(dǎo)熱隔板，每個所述第一導(dǎo)熱隔板連接于所述坩堝的坩堝壁上；所述坩堝的坩堝槽內(nèi)設(shè)置有至少一個沿第二方向且與每個所述第一導(dǎo)熱隔板固定連接的第二導(dǎo)熱隔板，每個所述第二導(dǎo)熱隔板連接于所述坩堝的坩堝壁上。采用本發(fā)明技術(shù)方案，可以使得熱量在蒸鍍材料中的傳遞路徑縮短，熱量在蒸鍍材料中均勻傳遞，進(jìn)而提高了有機(jī)材料蒸鍍的熱穩(wěn)定性，以保持鍍率的穩(wěn)定及提高有機(jī)材料蒸鍍的良率。
【專利說明】蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置及蒸鍍機(jī)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及蒸鍍設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置及一種蒸鍍 機(jī)。

【背景技術(shù)】
[0002] 有機(jī)發(fā)光二極管（Organic Light-Emitting Diode,簡稱0LED)通過蒸鍍有機(jī)材料 來制作構(gòu)成0LED顯示器件的載流子傳輸層和有機(jī)發(fā)光層。現(xiàn)今的0LED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源分 為點(diǎn)源蒸發(fā)源和線形蒸發(fā)源，由于線形蒸發(fā)源可以提高蒸發(fā)材料利用率，并且可以提高成 膜的均勻性，因此，線性蒸發(fā)源作為一個研究熱點(diǎn)被人們廣泛關(guān)注。在蒸發(fā)源裝置中蒸鍍的 有機(jī)蒸鍍材料主要分兩種，一種是升華型有機(jī)材料，另一種則是融溶型有機(jī)材料。其中，升 華型有機(jī)材料主要是將有機(jī)材料直接加熱，有機(jī)材料升華為氣態(tài)再冷卻于基板上形成有機(jī) 膜層；融溶型有機(jī)材料在加熱后則先融為液態(tài)再升溫為氣態(tài)，最后再冷卻于基板上形成有 機(jī)膜層。
[0003] 如圖1所示，現(xiàn)有的0LED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置，包括盛放有機(jī)材料的坩堝1，對坩 堝1進(jìn)行加熱，實(shí)現(xiàn)坩堝1內(nèi)的有機(jī)材料的蒸鍍，由于對坩堝1加熱僅是對坩堝1四周的坩 堝壁進(jìn)行加熱，坩堝1的結(jié)構(gòu)一般為圖1所示的長條狀，因此，對于坩堝1的坩堝槽內(nèi)的有 機(jī)材料而言，有機(jī)材料本身的導(dǎo)熱性較差，且熱傳導(dǎo)路徑較長，易造成傳熱不均，特別對于 大尺寸的蒸發(fā)源來說，溫度分布不均的現(xiàn)象更明顯，進(jìn)而造成有機(jī)材料的蒸鍍的鍍率穩(wěn)定 性不足及良率降低等問題。
[0004] 現(xiàn)有的蒸發(fā)源的坩堝，易造成蒸鍍材料傳熱不均，進(jìn)而降低蒸鍍材料蒸鍍的良率。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明的目的是提供一種蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置及一種蒸鍍機(jī)，用以提高蒸鍍材料 的傳熱均勻性，進(jìn)而提高有機(jī)材料蒸鍍的良率。
[0006] 本發(fā)明實(shí)施例首先提供一種蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置，包括：
[0007] 坩堝；
[0008] 所述坩堝的坩堝槽內(nèi)設(shè)置有至少一個沿第一方向的第一導(dǎo)熱隔板，每個所述第一 導(dǎo)熱隔板連接于所述坩堝的坩堝壁上；
[0009] 所述坩堝的坩堝槽內(nèi)設(shè)置有至少一個沿第二方向且與每個所述第一導(dǎo)熱隔板固 定連接的第二導(dǎo)熱隔板，每個所述第二導(dǎo)熱隔板連接于所述坩堝的坩堝壁上。
[0010] 在本發(fā)明技術(shù)方案中，由于在坩堝槽內(nèi)設(shè)置有分別沿第一方向和第二方向的多個 第一導(dǎo)熱隔板和多個第二導(dǎo)熱隔板，第一導(dǎo)熱隔板和第二導(dǎo)熱隔板將坩堝槽分隔為多個容 納蒸鍍材料的容置槽，因此可以將坩堝壁的熱量傳遞至與之接觸的蒸鍍材料中，因此，由第 一導(dǎo)熱隔板和第二導(dǎo)熱隔板構(gòu)成的容置槽內(nèi)的蒸鍍材料內(nèi)的傳熱路徑縮短，大大減少了蒸 鍍材料受其本身導(dǎo)熱性能較低的影響，因此，可以大大提高傳熱的均勻性，進(jìn)而提高了蒸鍍 膜的均勻性，提高了有機(jī)材料蒸鍍的良率。 toon] 優(yōu)選的，每個所述第一導(dǎo)熱隔板具有至少一個第一開口槽，所述第一開口槽的開 口朝向所述坩堝槽的槽底；每個所述第二導(dǎo)熱隔板具有至少一個第二開口槽，所述第二開 口槽的開口朝向所述坩堝槽的槽底。
[0012] 由于將一個坩堝槽劃分為多個容置槽，不同的容置槽之間也可能存在受熱不均的 問題，易造成不同容置槽中的蒸鍍材料蒸鍍速率不同，因此，在第一導(dǎo)熱隔板和第二導(dǎo)熱隔 板下部開設(shè)開口槽，使相鄰的容置槽連通，則相鄰的容置槽中的蒸鍍材料可以流通，因此， 進(jìn)一步提高了導(dǎo)熱的均勻性，進(jìn)而提高了鍍膜的均勻性。
[0013] 優(yōu)選的，所述坩堝槽為長條狀坩堝槽，所述第一方向?yàn)殚L條狀坩堝槽的寬度方向， 所述第二方向?yàn)殚L條狀坩堝槽的長度方向；所述第二導(dǎo)熱隔板的數(shù)量為一個且位于所述坩 堝槽中部。
[0014] 該實(shí)施例特別適用于長條狀坩堝槽的坩堝，由于長條狀坩堝槽內(nèi)的蒸鍍材料更易 發(fā)生導(dǎo)熱不均的問題，第二導(dǎo)熱隔板沿長度方向設(shè)置且位于坩堝槽中部，多個第一導(dǎo)熱隔 板平行設(shè)置以形成多個長方體狀的容置槽，第一導(dǎo)熱隔板與第二導(dǎo)熱隔板分別與長條狀坩 堝槽的槽壁導(dǎo)熱連接，因此，可以實(shí)現(xiàn)多個容置槽內(nèi)的蒸鍍材料的傳熱均勻性。
[0015] 第二導(dǎo)熱隔板與第一導(dǎo)熱隔板固定連接，優(yōu)選采用可拆卸連接的形式，優(yōu)選的，所 述第二導(dǎo)熱隔板和至少一個所述第一導(dǎo)熱隔板通過卡槽卡接固定。例如第二導(dǎo)熱隔板上設(shè) 置有卡槽，可以將第一導(dǎo)熱隔板固定于卡槽內(nèi)，又如，第一導(dǎo)熱隔板和第二導(dǎo)熱隔板分別設(shè) 置有相應(yīng)的卡槽，實(shí)現(xiàn)第一導(dǎo)熱板與第二導(dǎo)熱隔板卡接。第一導(dǎo)熱隔板和第二導(dǎo)熱隔板卡 接固定，既可實(shí)現(xiàn)兩者的固定連接，又可方便對坩堝進(jìn)行清洗時的兩者的拆卸。
[0016] 優(yōu)選的，所述第一導(dǎo)熱隔板和所述第二導(dǎo)熱隔板分別為金屬導(dǎo)熱隔板。采用金屬 導(dǎo)熱隔板，既具有較高的熱傳導(dǎo)效率，又防止第一導(dǎo)熱隔板或第二導(dǎo)熱隔板在高溫下可能 與蒸鍍材料發(fā)生反應(yīng)。
[0017] 優(yōu)選的，所述金屬導(dǎo)熱隔板為在蒸鍍條件下不與蒸鍍材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的金屬導(dǎo) 熱隔板，例如，所述金屬導(dǎo)熱隔板的材質(zhì)為不銹鋼或鈦金屬。不銹鋼或鈦金屬不僅具有良好 的導(dǎo)熱性，而且具有良好的耐腐蝕性和易清潔性，可以提高第一導(dǎo)熱隔板和第二導(dǎo)熱隔板 的使用壽命。
[0018] 優(yōu)選的，所述金屬導(dǎo)熱隔板的厚度為2?3厘米。
[0019] 本發(fā)明實(shí)施例還提供一種蒸鍍機(jī)，包括上述任一種蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置。由于上 述任一種蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置可以實(shí)現(xiàn)坩堝槽內(nèi)蒸鍍材料導(dǎo)熱的均勻性，因此，由該蒸鍍 機(jī)蒸鍍的膜具有較高的均勻性，大大提高了鍍膜的良率。
[0020] 優(yōu)選的，所述蒸鍍機(jī)為有機(jī)發(fā)光二極管蒸鍍機(jī)。本發(fā)明的蒸鍍機(jī)特別適用于有機(jī) 發(fā)光二極管蒸鍍機(jī)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0021] 圖1為現(xiàn)有的0LED蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022] 圖2為本發(fā)明第一實(shí)施例提供的蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023] 圖3為本發(fā)明第一實(shí)施例提供的蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024] 圖4為本發(fā)明一實(shí)施例提供的蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置的第一導(dǎo)熱隔板和第二導(dǎo)熱 隔板的裝配過程示意圖。
[0025] 附圖標(biāo)記：
[0026] 1-坩堝 11-第一導(dǎo)熱隔板 12-第二導(dǎo)熱隔板
[0027] 111-第一開口槽 112-第二開口槽 121-卡槽

【具體實(shí)施方式】
[0028] 為了提高提高蒸鍍材料的傳熱均勻性，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源 裝置及一種蒸鍍機(jī)。該技術(shù)方案中，由于在坩堝槽內(nèi)采用多個沿第一方向第一導(dǎo)熱隔板和 多個沿第二方向的第二導(dǎo)熱隔板，第一導(dǎo)熱隔板和第二導(dǎo)熱隔板可以將坩堝壁的熱量進(jìn)行 傳導(dǎo)，因此，由第一導(dǎo)熱隔板和第二導(dǎo)熱隔板構(gòu)成的多個容置槽內(nèi)的蒸鍍材料受熱均勻，大 大減少了蒸鍍材料受其本身導(dǎo)熱性能較低的影響，因此，可以大大提高傳熱的均勻性，進(jìn)而 提高了蒸鍍膜的均勻性，提高了有機(jī)材料蒸鍍的良率。為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn) 更加清楚，以下舉具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0029] 本發(fā)明實(shí)施例首先提供一種蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置，如圖2所示，圖2為本發(fā)明第一 實(shí)施例提供的蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，所述蒸發(fā)源裝置包括：
[0030] 坩堝 1 ;
[0031] 坩堝1的坩堝槽內(nèi)設(shè)置有至少一個沿第一方向的第一導(dǎo)熱隔板11，每個第一導(dǎo)熱 隔板11連接于坩堝1的坩堝壁上；
[0032] 坩堝1的坩堝槽內(nèi)設(shè)置有至少一個沿第二方向且與每個第一導(dǎo)熱隔板11固定連 接的第二導(dǎo)熱隔板12,每個第二導(dǎo)熱隔板12連接于坩堝1的坩堝壁上。
[0033] 在本發(fā)明技術(shù)方案中，由于在?甘禍槽內(nèi)具有多個沿第一方向的第一導(dǎo)熱隔板11 和多個沿第二方向的第二導(dǎo)熱隔板12,第一導(dǎo)熱隔板11和第二導(dǎo)熱隔板12將坩堝槽分隔 為多個容置槽，因此，坩堝壁上的熱量可以通過第一導(dǎo)熱隔板11和第二導(dǎo)熱隔板12傳遞至 位于容置槽內(nèi)的蒸鍍材料中，因此，由第一導(dǎo)熱隔板11和第二導(dǎo)熱隔板12構(gòu)成的多個容置 槽內(nèi)的蒸鍍材料內(nèi)的傳熱路徑大大縮短，大大減少了蒸鍍材料受其本身導(dǎo)熱性能較低的影 響，因此，可以大大提高傳熱的均勻性，進(jìn)而提高了蒸鍍膜的均勻性，提高了有機(jī)材料蒸鍍 的鍍率穩(wěn)定性，并提高有機(jī)材料蒸鍍的良率。圖2所示僅給出了一個第二導(dǎo)熱隔板12,而本 發(fā)明的技術(shù)方案中，第二導(dǎo)熱隔板12的數(shù)量也可以為多個，當(dāng)然第一導(dǎo)熱隔板11的數(shù)量也 可以為一個或多個，第一導(dǎo)熱隔板11和第二導(dǎo)熱隔板12的數(shù)量可以根據(jù)坩堝槽的大小進(jìn) 行設(shè)置。
[0034] 優(yōu)選的，如圖3所示，圖3為本發(fā)明第二實(shí)施例提供的蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置的結(jié)構(gòu) 示意圖，每個第一導(dǎo)熱隔板11具有至少一個第一開口槽111，第一開口槽111的開口朝向坩 堝槽的槽底，每個第二導(dǎo)熱隔板12具有至少一個第二開口槽112,第二開口槽112的開口朝 向坩堝槽的槽底。在圖3中，為了清楚顯示第一導(dǎo)熱隔板11和第二導(dǎo)熱隔板12的構(gòu)造，省 去了面向看圖者一側(cè)的坩堝壁。
[0035] 由于將一個坩堝槽劃分為多個容置槽，不同的容置槽之間也可能存在受熱不均的 問題，易造成不同容置槽中的蒸鍍材料蒸鍍速率不同，因此，在第一導(dǎo)熱隔板11下部開設(shè) 第一開口槽111，在第二導(dǎo)熱隔板12的下部設(shè)置第二開口槽112使相鄰的容置槽連通，則相 鄰的容置槽中的蒸鍍材料可以流通，因此，進(jìn)一步提高了導(dǎo)熱的均勻性，進(jìn)而提高了鍍膜的 均勻性。第一導(dǎo)熱隔板11上第一開口槽111的大小和第二導(dǎo)熱隔板12上第二開口槽112， 可以根據(jù)蒸鍍材料的流動性來設(shè)計。本發(fā)明中第一開口槽ill的體積可以為第一導(dǎo)熱隔板 11體積的5%?10% ;第二開口槽112的體積可以為第二導(dǎo)熱隔板12體積的5%?10%。
[0036] 現(xiàn)有的蒸發(fā)源的設(shè)計時，為了減少傳熱路徑，在較大的外坩堝內(nèi)設(shè)計有多個內(nèi)坩 堝，這樣多個內(nèi)坩堝可以減少傳熱路徑，但是長時間使用，由于各個內(nèi)坩堝溫度不均，使蒸 鍍材料耗用量也分布不均，根據(jù)經(jīng)驗(yàn)表明，在48小時連續(xù)燒機(jī)后，部分內(nèi)坩堝內(nèi)蒸鍍材料 已經(jīng)蒸發(fā)完，而另一部分內(nèi)坩堝內(nèi)的蒸鍍材料幾乎沒有蒸鍍出來，反而有增加的現(xiàn)象，當(dāng)內(nèi) 坩堝內(nèi)的蒸鍍材料發(fā)生以上的分布時，膜厚的均勻度將無法利用溫度的調(diào)整來達(dá)成，使得 機(jī)臺不得不停機(jī)，這樣蒸鍍機(jī)無法連續(xù)長時間運(yùn)行。而本發(fā)明第二實(shí)施例的技術(shù)方案，由于 在第一導(dǎo)熱隔板11上和第二導(dǎo)熱隔板12上分別設(shè)計有第一開口槽111和第二開口槽112， 因此可以使相鄰容置槽內(nèi)蒸鍍材料流通起來，解決了現(xiàn)有的多個內(nèi)坩堝導(dǎo)致的蒸鍍材料消 耗不均的問題，并且由于該蒸發(fā)源可以連續(xù)使用，直至所有的蒸鍍材料蒸鍍完，因此，大大 提高了量產(chǎn)性。若在多個內(nèi)坩堝上分別開孔，雖然蒸鍍材料可以相鄰內(nèi)坩堝之間流通，但是 停止蒸鍍進(jìn)行降溫后，蒸鍍材料固化在相鄰的內(nèi)坩堝之間，造成內(nèi)坩堝難以取出清洗，且多 個內(nèi)坩堝的設(shè)計使得坩堝的制造成本升高。
[0037] 請繼續(xù)參照圖2或圖3所示，優(yōu)選的，所述坩堝槽為長條狀坩堝槽，第一方向?yàn)殚L 條狀坩堝槽的寬度方向，第二方向?yàn)殚L條狀坩堝槽的長度方向；第二導(dǎo)熱隔板12的數(shù)量為 一個且位于坩堝槽中部。
[0038] 該實(shí)施例特別適用于長條狀坩堝槽的坩堝1，由于長條狀坩堝槽內(nèi)的蒸鍍材料更 易發(fā)生導(dǎo)熱不均的問題，一個第二導(dǎo)熱隔板12沿長度方向設(shè)置且位于坩堝槽中部，多個第 一導(dǎo)熱隔板11平行設(shè)置以形成多個長方體狀的容置槽，可以實(shí)現(xiàn)多個容置槽內(nèi)的蒸鍍材 料的傳熱均勻性。例如，長條狀坩堝槽的長度為1450厘米，在設(shè)計時，每相鄰兩個第一導(dǎo)熱 隔板11之間的間距為200?250厘米。
[0039] 第二導(dǎo)熱隔板12與第一導(dǎo)熱隔板11固定連接，優(yōu)選采用可拆卸連接的形式，優(yōu)選 的，如圖4所示，圖4為本發(fā)明一實(shí)施例提供的蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置的第一導(dǎo)熱隔板和第二 導(dǎo)熱隔板的裝配過程示意圖，也請繼續(xù)參照圖2或圖3所示，第一導(dǎo)熱隔板11設(shè)置有卡接 第二導(dǎo)熱隔板12的卡槽121，第二導(dǎo)熱隔板12也設(shè)置有卡接第一導(dǎo)熱隔板11的卡槽121。 第二導(dǎo)熱隔板12和第一導(dǎo)熱隔板11通過卡槽121卡接固定，既可實(shí)現(xiàn)兩者的固定連接，又 可方便對坩堝進(jìn)行清洗時的兩者的拆卸。相對于將第一導(dǎo)熱隔板11與第二導(dǎo)熱隔板12 - 體化固定于坩堝1上，可拆卸的方式具有降低加工難度、降低成本，且易于清洗的優(yōu)勢。在 圖4中，也可看到第一導(dǎo)熱隔板11和第二導(dǎo)熱隔板12分別與坩堝壁連接的位置具有大的 倒角，相當(dāng)于開口槽，提高相鄰容納槽內(nèi)蒸鍍材料的流通性。
[0040] 請繼續(xù)參照圖2或圖3所示，優(yōu)選的，第一導(dǎo)熱隔板11和第二導(dǎo)熱隔板12分別為 金屬導(dǎo)熱隔板。采用金屬導(dǎo)熱隔板，既具有較高的熱傳導(dǎo)效率，又防止第一導(dǎo)熱隔板或第二 導(dǎo)熱隔板在高溫下可能與蒸鍍材料發(fā)生反應(yīng)。
[0041] 優(yōu)選的，所述金屬導(dǎo)熱隔板為在蒸鍍條件下不與蒸鍍材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的金屬導(dǎo) 熱隔板，例如，所述金屬導(dǎo)熱隔板的材質(zhì)為不銹鋼或鈦金屬。不銹鋼或鈦金屬不僅具有良好 的導(dǎo)熱性，而且具有良好的耐腐蝕性和易清潔性，可以提高第一導(dǎo)熱隔板11和第二導(dǎo)熱隔 板12的使用壽命。
[0042] 優(yōu)選的，所述金屬導(dǎo)熱隔板的厚度為2?3厘米。例如，金屬導(dǎo)熱隔板的厚度為2 厘米、2. 3厘米、2. 5厘米、2. 8厘米或3厘米。對第一導(dǎo)熱隔板和第二導(dǎo)熱隔板的厚度進(jìn)行 限定，一方面是為了使得第一導(dǎo)熱隔板和第二導(dǎo)熱隔板具有一定的支撐性，在容納蒸鍍材 料時防止變形，另一方面也考慮到對整個坩堝槽的占用率，第一導(dǎo)熱隔板和第二導(dǎo)熱隔板 的厚度越小，坩堝槽盛放蒸鍍材料的空間越多。
[0043] 本發(fā)明實(shí)施例還提供一種蒸鍍機(jī)，包括上述任一種蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置。由于上 述任一種蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置可以實(shí)現(xiàn)坩堝槽內(nèi)蒸鍍材料導(dǎo)熱的均勻性，因此，由該蒸鍍 機(jī)蒸鍍的膜具有較高的均勻性，大大提高了鍍膜的良率。
[0044] 優(yōu)選的，所述蒸鍍機(jī)為有機(jī)發(fā)光二極管蒸鍍機(jī)。本發(fā)明的蒸鍍機(jī)特別適用于有機(jī) 發(fā)光二極管蒸鍍機(jī)。
[0045] 本發(fā)明中的蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置為線形蒸發(fā)源裝置。
[0046] 對于本發(fā)明中的蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源以及蒸鍍機(jī)來說，特別適合蒸鍍?nèi)谌苄陀袡C(jī)材 料，特別是對于第二實(shí)施例的蒸發(fā)源，由于融溶型有機(jī)材料加熱首先形成流動性的液體，因 此，具有開口槽的第一導(dǎo)熱隔板和第二導(dǎo)熱隔板可以有效使得該液體流通，使得該液體均 勻分布于各個容置槽內(nèi)，提高蒸鍍材料的均熱性，進(jìn)而提高了成膜的均勻性。
[0047] 顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精 神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍 之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1. 一種蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置，其特征在于，包括： 坩堝； 所述坩堝的坩堝槽內(nèi)設(shè)置有至少一個沿第一方向的第一導(dǎo)熱隔板，每個所述第一導(dǎo)熱 隔板連接于所述坩堝的坩堝壁上； 所述坩堝的坩堝槽內(nèi)設(shè)置有至少一個沿第二方向且與每個所述第一導(dǎo)熱隔板固定連 接的第二導(dǎo)熱隔板，每個所述第二導(dǎo)熱隔板連接于所述坩堝的坩堝壁上。
2. 如權(quán)利要求1所述的蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置，其特征在于，每個所述第一導(dǎo)熱隔板具 有至少一個第一開口槽，所述第一開口槽的開口朝向所述坩堝槽的槽底；每個所述第二導(dǎo) 熱隔板具有至少一個第二開口槽，所述第二開口槽的開口朝向所述坩堝槽的槽底。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置，其特征在于，所述坩堝槽為長條狀坩 堝槽，所述第一方向?yàn)殚L條狀坩堝槽的寬度方向，所述第二方向?yàn)殚L條狀坩堝槽的長度方 向；所述第二導(dǎo)熱隔板的數(shù)量為一個且位于所述坩堝槽中部。
4. 如權(quán)利要求3所述的蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置，其特征在于，所述第二導(dǎo)熱隔板和至少 一個所述第一導(dǎo)熱隔板通過卡槽卡接固定。
5. 如權(quán)利要求1或2所述的蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置，其特征在于，所述第一導(dǎo)熱隔板和所 述第二導(dǎo)熱隔板分別為金屬導(dǎo)熱隔板。
6. 如權(quán)利要求5所述的蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置，其特征在于，所述金屬導(dǎo)熱隔板的材質(zhì) 為不銹鋼或鈦金屬。
7. 如權(quán)利要求5所述的蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝置，其特征在于，所述金屬導(dǎo)熱隔板的厚度 為2?3厘米。
8. -種蒸鍍機(jī)，其特征在于，包括如權(quán)利要求1?7任一項所述的蒸鍍機(jī)的蒸發(fā)源裝 置。
9. 如權(quán)利要求8所述的蒸鍍機(jī)，其特征在于，所述蒸鍍機(jī)為有機(jī)發(fā)光二極管蒸鍍機(jī)。
【文檔編號】C23C14/24GK104109834SQ201410277208
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2014年6月19日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月19日
【發(fā)明者】葉嵐凱, 黃俊淞 申請人:合肥鑫晟光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司